VSA100A差動圧力から周囲圧力

 

INFICON真空スイッチVSA100Aは、真空システムでの安全なスイッチとして使用できます。例えば、6mbar以下の空気圧のパージガスが入った真空システムをベントする際に、ガス供給を自動で停止させます。差圧が6 mbarになると、大気圧以下3 mbarの切り替え圧力モードに戻り、弾力性のあるダイアフラムが、切り替え接点をアクティブにします。これは補助装置に直接切り替えるために使用できます。

利点

  • リーズナブルで信頼性の高い真空スイッチ
  • 長寿命
  • 堅牢な設計
  • 統合が簡単
  • IP 44保護

標準的なアプリケーション

  • ロードロックチャンバーのコントロール
  • 真空システムの安全な停止
  • VSA100A dimensions

仕様

タイプ VSA100A
切り替え圧力 mbar 6 ±2 (below atmosphere)
バックスイッチング mbar 3 ±2 (below atmosphere)
動作圧力 (絶対圧) bar <2
ヘリウム透過 mbar•L/s <10-6
リークレート mbar•L/s <5 x 10-8
温度  
動作 °C 0 ... +85
保存 °C -20 ... +85
スイッチングコンタクト (切替接点、金メッキ)  
最大電圧 24
最大電流 mA 30 (24 V(dc)) / 100 (24 V(ac))
最小負荷 mA 1
電気コネクタ cable, bare wire
ケーブル長、標準 m (ft.) 3 (9.9)
真空接続 DN 16 ISO-KF
保護タイプ IP 44
取付け方向 vertical (standing)
内部容積 cm³ (in.³) 2 (0.122)
接ガス材料 stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon)
重量 g 315
技術ノート: ダイアフラムで使用されている材質(EPDM)のため、真空スイッチVSA100Aは、プロセスガスが大量のヘリウムを含んでいるような用途には適していません。ヘリウムのダイアフラム漏出率は-6 mbar l/sです。

部品番号

VSA100A
部品番号 品目
399-001 VSA100A
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