Transpector® MPH残留ガス分析器

 

プロセスの問題を除去

歩留まりを向上させ、アップタイムを最大化する、比類のないパフォーマンス

シリコンウェハの価格と、最終製品への要求は上昇し続けているので、廃棄されるウェハのコストはこれまでになく高くつくようになっています。それで、プロセスを理解し、欠陥をモニタリングすることは、半導体製造センターにおいてますます優先度が高くなっています。Transpector MPHガス分析システムは、ガス分析アプリケーションすべてに対し、業界をリードするパフォーマンスによって、プロセスの問題を除去し、チップの歩留まりを最大化して、ツールのダウンタイムを最小限にします。総所有コストが少なくなり、平均故障間隔が長くなるため、Transpector MPHは、市場のどの残留ガス分析器(RGA) よりも、最終的な収益を高くすることができます。

INFICONでは、ガス分析プロセスコントロール装置における専門知識を活用して、業界トップのデータ収集速度を持ち、検出可能な最小粒子圧力が小さく、S/N比の優れたRGAを開発しました。このすべてを、INFICON Transpectorガス分析器に期待できる信頼性を少しも損なうことなく達成したのです。

機能

  • アナログスキャンおよび選択ピーク時の最速データ取得時間1.8 ms
  • TCP/IPイーサーネット接続
  • デュアルフィラメント
  • 現場で交換可能な光電子増倍管
  • 陽極、陰極およびリペラーフィラメントをまとめたキット
  • 短いセンサーにより設置フットプリントを最小化
  • 9桁のダイナミックレンジ
  • < 2E-15 Torr (100 amu)のMDPP
  • S/N比の向上
  • 交換可能なセンサーと電子回路
  • センサーはクリーンルーム環境で組み立て、試験が行われ、二重の袋に入れられている
  • RoHSコンプライアント

仕様

タイプ MPH100F MPH100M MPH200F MPH200M MPH300F MPH300M
センサー長 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質量範囲 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu 300 amu 300 amu
検出器タイプ FC FC/EM FC FC/EM FC FC/EM
感度 (FC) 6E-4 A/Torr 6E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 5E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr 4E-4 A/Torr
感度 (EM) NA 500 A/Torr NA 500 A/Torr NA 250 A/Torr
検出可能な最小粒子圧力(4) 3E-13 Torr 2E-15 Torr 4E-13 Torr 3E-15 Torr 5E-13 Torr 4E-15 Torr
センサー動作最高温度(FC) 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C 200°C
センサー動作最高温度(EM) NA 150°C NA 150°C NA 150°C
フィラメントタイプオプション (1) Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir Y2O3/Ir
フィラメントタイプオプション (2) Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten Tungsten
分解能 (全質量範囲にわたるもの) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3) <1 amu wide (3)
温度係数 <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C <1% of peak height/°C
ポイントごとの最大データ率 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms 1.8 ms
ゼロブラスト (@質量2) <5 ppm <5 ppm <65 ppm <65 ppm <100 ppm <100 ppm
最大動作圧力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
最高ベークアウト温度 300 300 300 300 300 300
パワー入力 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1)一般用途向け

(2)ハロゲン環境向け

(3)ピーク高さの10%

(4) 滞留時間4秒

アクセサリ

MPH100F
部品番号 品目
961-021-G1 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ
961-021-G2 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G3 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、30フィート (9m) 延長ケーブル
961-021-G4 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ
961-021-G5 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G6 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、230Vフィート (9m) 延長ケーブル
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長ケーブル-15フィート (4.5m)
600-1429-P1 電源延長ケーブル-30フィート (9m)
961-417-G1 イーサーネットルーター4ポート、プッシュボタンWi-Fi付き
961-418-G1 イーサーネットスイッチ8ポート
961-702-G1 Piraniインターロックキット
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPHアングルバルブキット、電気空気式4 V(DC) (ヒーター含む)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH100M
部品番号 品目
961-021-G1 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ
961-021-G2 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G3 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、30フィート (9m) 延長ケーブル
961-021-G4 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ
961-021-G5 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G6 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、230Vフィート (9m) 延長ケーブル
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長ケーブル-15フィート (4.5m)
600-1429-P1 電源延長ケーブル-30フィート (9m)
961-417-G1 イーサーネットルーター4ポート、プッシュボタンWi-Fi付き
961-418-G1 イーサーネットスイッチ8ポート
961-702-G1 Piraniインターロックキット
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPHアングルバルブキット、電気空気式4 V(DC) (ヒーター含む)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200F
部品番号 品目
961-021-G1 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ
961-021-G2 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G3 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、30フィート (9m) 延長ケーブル
961-021-G4 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ
961-021-G5 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G6 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、230Vフィート (9m) 延長ケーブル
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長ケーブル-15フィート (4.5m)
600-1429-P1 電源延長ケーブル-30フィート (9m)
961-417-G1 イーサーネットルーター4ポート、プッシュボタンWi-Fi付き
961-418-G1 イーサーネットスイッチ8ポート
961-702-G1 Piraniインターロックキット
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPHアングルバルブキット、電気空気式4 V(DC) (ヒーター含む)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH200M
部品番号 品目
961-021-G1 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ
961-021-G2 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G3 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、30フィート (9m) 延長ケーブル
961-021-G4 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ
961-021-G5 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G6 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、230Vフィート (9m) 延長ケーブル
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長ケーブル-15フィート (4.5m)
600-1429-P1 電源延長ケーブル-30フィート (9m)
961-417-G1 イーサーネットルーター4ポート、プッシュボタンWi-Fi付き
961-418-G1 イーサーネットスイッチ8ポート
961-702-G1 Piraniインターロックキット
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPHアングルバルブキット、電気空気式4 V(DC) (ヒーター含む)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300F
部品番号 品目
961-021-G1 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ
961-417-G1 イーサーネットルーター4ポート、プッシュボタンWi-Fi付き
961-021-G2 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G3 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、30フィート (9m) 延長ケーブル
961-021-G4 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ
961-021-G5 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G6 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、230Vフィート (9m) 延長ケーブル
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長ケーブル-15フィート (4.5m)
600-1429-P1 電源延長ケーブル-30フィート (9m)
961-418-G1 イーサーネットスイッチ8ポート
961-702-G1 Piraniインターロックキット
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPHアングルバルブキット、電気空気式4 V(DC) (ヒーター含む)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V
MPH300M
部品番号 品目
961-021-G1 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ
961-416-P1 スペアMPH加熱ジャケット
961-021-G2 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G3 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、30フィート (9m) 延長ケーブル
961-021-G4 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ
961-021-G5 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) 230Vプラグ、15フィート (4.5m) 延長ケーブル
961-021-G6 MPH電源80 - 250 VAC / 4フィート (1.2m) USプラグ、230Vフィート (9m) 延長ケーブル
600-1190-P8 Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15 ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1 電源延長ケーブル-15フィート (4.5m)
600-1429-P1 電源延長ケーブル-30フィート (9m)
961-417-G1 イーサーネットルーター4ポート、プッシュボタンWi-Fi付き
961-418-G1 イーサーネットスイッチ8ポート
961-702-G1 Piraniインターロックキット
914-024-G1 Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1 MPHアングルバルブキット、電気空気式4 V(DC) (ヒーター含む)
961-029-G1 HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2 HEATING JACKET KIT 230V

スペア部品

MPH100F
部品番号 品目
961-H1FAS MPH100 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
961-H1FBS MPH100 FC Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H10S MPH電子回路ボックス、100 AMU FCまたはEM/FC (MPH100F, MPH100M) w/イーサーネット
961-700-G1 被コートイリジウムフィラメントキット
961-700-G2 タングステンフィラメントキット
961-701-G1 被コートイリジウムフィラメントイオン源
961-701-G2 タングステンフィラメントイオン源
961-416-P1 スペアMPH加熱ジャケット
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 スペアのヒーター電源ケーブル120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH延長キット
961-022-G1 スペアOリング・ナットキット
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH100M
部品番号 品目
961-H1MAS EM Sensor, Yttria Coated Filament, MPH10
961-H1MBS MPH100 EM Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H10S MPH電子回路ボックス、100 AMU FCまたはEM/FC (MPH100F, MPH100M) w/イーサーネット
961-700-G1 被コートイリジウムフィラメントキット
961-700-G2 タングステンフィラメントキット
961-701-G1 被コートイリジウムフィラメントイオン源
961-701-G2 タングステンフィラメントイオン源
961-2428-G2 光電子増倍管交換キット
961-416-P1 スペアMPH加熱ジャケット
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 スペアのヒーター電源ケーブル120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH延長キット
961-205-G2 MPH HPR延長キット
961-022-G1 スペアOリング・ナットキット
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH200F
部品番号 品目
961-H2FAS FC Sensor, Yttria Coated Filament, MPH20
961-H2FBS MPH200 FC Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H20S MPH200 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-700-G1 被コートイリジウムフィラメントキット
961-700-G2 タングステンフィラメントキット
961-701-G1 被コートイリジウムフィラメントイオン源
961-701-G2 タングステンフィラメントイオン源
961-416-P1 スペアMPH加熱ジャケット
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 スペアのヒーター電源ケーブル120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH延長キット
961-022-G1 スペアOリング・ナットキット
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH200M
部品番号 品目
961-H2MAS EM Sensor, Yttria Coated Filament, MPH20
961-H2MBS MPH200 EM Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H20S MPH200 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-700-G1 被コートイリジウムフィラメントキット
961-700-G2 タングステンフィラメントキット
961-701-G1 被コートイリジウムフィラメントイオン源
961-701-G2 タングステンフィラメントイオン源
961-2428-G2 光電子増倍管交換キット
961-416-P1 スペアMPH加熱ジャケット
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 スペアのヒーター電源ケーブル120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH延長キット
961-205-G2 MPH HPR延長キット
961-022-G1 スペアOリング・ナットキット
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH300F
部品番号 品目
961-H3FAS MPH300 FC Sensor with Y2O3/Ir Filaments
961-H3FBS MPH300 FC Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H30S MPH300 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-700-G1 被コートイリジウムフィラメントキット
961-700-G2 タングステンフィラメントキット
961-701-G1 被コートイリジウムフィラメントイオン源
961-701-G2 タングステンフィラメントイオン源
961-416-P1 スペアMPH加熱ジャケット
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 スペアのヒーター電源ケーブル120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH延長キット
961-022-G1 スペアOリング・ナットキット
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
MPH300M
部品番号 品目
961-H3MAS EM Sensor, Yttria Coated Filament, MPH30
961-H3MBS MPH300 EM Sensor w/ Tungsten Filaments
MP-H30S MPH300 Electronics Box w/ Ethernet Comm
961-700-G1 被コートイリジウムフィラメントキット
961-700-G2 タングステンフィラメントキット
961-701-G1 被コートイリジウムフィラメントイオン源
961-701-G2 タングステンフィラメントイオン源
961-2428-G2 光電子増倍管交換キット
961-416-P1 スペアMPH加熱ジャケット
914-407-P1 Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1 スペアのヒーター電源ケーブル120 VAC
600-1117-P2 Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1 Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1 Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2 MPH延長キット
961-205-G2 MPH HPR延長キット
961-022-G1 スペアOリング・ナットキット
074-5007-G1 Gas Analysis Product Manuals on CD
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