Transpector® CPM 3コンパクトプロセスモニター

 

急速なフィールド準備プロセスの監視システム

 

性能、信頼性、汎用性

 

INFICON Transpector CPMは、10年以上の間の半導体産業の市場をリードする残留ガス分析器(RGA)プロセス監視システムでした。今回、Transpector CPM 3は、新しいセンサと電子回路を、現場で実証されたポンプとインレットシステムに統合することにより、業界トップの測定速度と感度を実現しました。Transpector CPM 3は、ALD、CVD、PVD、Etchなど、新しくかつ確立された半導体プロセスの理想のRGAプロセス監視です。


 

Transpector CPM 3は、最後まで証明された費用対効果をパートナーに提供します。

  • 業界をリードする測定技術
  • 強固で適応可能なアーキテクチャ
  • 簡単なメンテナンス
  • 上質な製品サポート

機能

  • ALD、Etch、CVD、300 mm Degasの残留ガス分析器によりリアルタイムプロセスの監視と分析が可能になります
  • ポイントあたり1.8 msのALDレディ(セカンドあたり555ポイント)測定速度
  • もっとも需要のあるCVDおよびEtchアプリケーションの現場の実績で証明された耐久性と信頼性
  • アプリケーション統合—Transpector CPMは、FabGuardソフトウェアと統合し、INFICONの世界クラスのアプリケーション専門家によりサポートされており、強力なプロセス監視と診断ツールになります。
  • コンパクトサイズ—半導体機器の生産に簡単に統合できます
  • 最大3個の圧力吸入口と表面積を減らしたHeexblock™ ぶより、表面の反応と応答時間を最小化します
  • キャパシタンスダイアフラムゲージ(CDG)—CDGでは、ユーザーがプロセス圧力を監視し、圧力のエクスカーションからシステムを自動的に保護できます
  • 自動較正—センサー間とツール間のチャンバー一致の長期間データ安定性と正確性を保証

仕様

タイプ 100 AMU CPM 200 AMU CPM 300 AMU CPM
分解能 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height 1 amu wide @ 10% peak height
合計圧力範囲¹ 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr 5E-7 - 1E-3 Torr
合計圧力精度² +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr +/- 25% 1E-6 - 1E-3 Torr
最大イオンソース動作圧力³ 1E-3 Torr 1E-3 Torr 1E-3 Torr
通常の動作圧力⁴ 2E-4 Torr 2E-4 Torr 2E-4 Torr
システム動作圧力 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm 1E-8 Torr - 1.2 atm
感度(低排出) > 4E-6 Amps/Torr > 2E-6 Amps/Torr > 1E-6 Amps/Torr
感度(高排出) > 2E-5 Amps/Torr > 1E-5 Amps/Torr > 5E-6 Amps/Torr
検出可能な最小粒子圧力⁵ 1E-13 Torr 2E-13 Torr 4E-13 Torr
最大データ率 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec) 1.8 ms/point (555 points/sec)
量感度⁶ < 5 ppm < 10 ppm < 100 ppm
ゼロブラスト⁷ < 2 ppm < 25 ppm < 200 ppm
検出限界⁸ < 1 ppm < 2 ppm < 4 ppm
リニア⁹ +/- 20% +/- 20% +/- 20%
最小バックグラウンド圧力 1E-8 Torr 1E-8 Torr 1E-8 Torr
最大センサおよび吸気口温度 °C 150 150 150

1 合計圧力レンズを使用した低放射状態のイオンソース圧力

2 低放射状態の合計圧力の正確性

3 低放射状態の最大イオンソース動作圧力

4 2x10-4 イオンソースのTorrはおよそ1x10を生産します-5 四重極領域のTorr

5 EMと1sの滞留時間によるイオンソースのMDPP

6 41 AMUの質量40の貢献

7 2 AMUの0ブラスト貢献

8 空気中のクリプトンが最小限検出可能な凝結@1sの滞留時間

9 1 Torrの開口部またはそれ以下向け。通常のオリフィス圧力の0.1~2倍の低放射状態における線形性

消耗品

100 AMU CPM
部品番号 品目
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 交換用Cリング
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4 Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6 Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7 360 mtorr HexBlocオリフィス (120ミクロン)
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2 Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3 Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
200 AMU CPM
部品番号 品目
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 交換用Cリング
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4 Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6 Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7 360 mtorr HexBlocオリフィス (120ミクロン)
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2 Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3 Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
部品番号 品目
059-0196 NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400 交換用Cリング
070-1042 O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1 CPM Replacement Diaphragm Kit
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4 Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G6 Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7 360 mtorr HexBlocオリフィス (120ミクロン)
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2 Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3 Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
961-707-G1 Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1 Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2 Filament Kit CPM Coated
964-711-G1 Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2 Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1 Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2 Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

スペア部品

100 AMU CPM
部品番号 品目
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 交換用Cリング
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3 Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1 スペアのHexBlockオリフィスガスケット (5個パック)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
200 AMU CPM
部品番号 品目
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 交換用Cリング
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3 Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1 スペアのHexBlockオリフィスガスケット (5個パック)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
300 AMU CPM
部品番号 品目
032-0079 Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400 交換用Cリング
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
922-204-G1 Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3 Capillary, CPM, 3 m
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-417-G1 Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1 スペアのHexBlockオリフィスガスケット (5個パック)
923-723-G2 2 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1 CPM Cable Box Assembly
964-403-P1 CPM Manifold Heater
964-603-G2 CPM Controller Box
964-720-G1 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2 CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3 CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4 CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
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