STM-2XM 2-チャネル速度/膜厚モニター

多くの用途で簡単操作

STM-2XMは精度と柔軟なプログラミング、および容易な操作を組み合わせた低価格の2チャネルの速度/膜厚モニタです。

STM-2XMはシンプルなプロセスから複雑なプロセスに対応する5つの操作モードを備えています。  たとえば、シンプルなプロセスの場合、シンプルなモードを使用して1つだけのシングルセンサを監視します。同時蒸着監視には合金モードを使用します。独立したモードによって、STM-2XMは2つの完全に別のモニターとして機能します。

2つのセンサ入力によって、2つのシングルセンサ、または1つのデュアル水晶振動子センサを使用可能です。1秒あたり10回測定でき、1測定あたり0.037Åの分解能を達成します (密度1)。

多数の機能

STM-2XMは8つのプログラム可能なデジタル入力、 8つのプログラム可能なデジタル出力、4つのアナログ出力を備えており、通常はより高価な装置でのみ可能な統合レベルを実現します。

プログラム可能な機能としては、シャッター遅延、時間/電力監視、速度サンプリングが含まれます。これらすべての機能を使用することで、きわめて

機能

  • 2つの計測チャンネル
  • 速度、速度逸脱、膜圧の4つのアナログ出力
  • 8つのプログラム可能デジタル入力
  • 8つのプログラム可能デジタル出力
  • 1秒あたり10回読み込む高精度
  • 質量および膜厚を表示
  • 同時蒸着監視機能

標準的なアプリケーション

  • シングル/デュアルセンサーモニタリング
  • 同時蒸着監視

仕様

タイプ STM-2XM
互換センサー Single/shuttered single or dual QCM sensor
センサー入力 Two
測定周波数範囲 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
周波数分解能 ±0.03 MHz at 6 MHz
参照周波数安定性 ±2 ppm
膜厚・蒸着レートの分解能/測定値 ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
測定間隔 0.10 s
保存フィルム 15
デジタルモード Thickness/Mass
デジタル入力 Eight
デジタル出力 Eight
アナログ出力 Four
アナログ出力定格 0 to +/-10 V, 10 mA
リレー定格 Up to 48 V (dc) • V (ac), 2A
電源の要件 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA

部品番号

STM-2XM
部品番号 品目
STM-2XM-G1 STM-2XMモニター、米国用電源コード
STM-2XM-G2 STM-2XMモニター、ヨーロッパ用電源コード

アクセサリ

名前 説明
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
前面搭載シングルセンサー 前面搭載シングルセンサー
前面搭載デュアルセンサー 前面搭載デュアルセンサー
Cool Drawerシングルセンサー Cool Drawerシングルセンサー
Cool Drawerデュアルセンサー Cool Drawerデュアルセンサー
低プロファイルデュアルセンサー 低プロファイルデュアルセンサー
UHVベーク可能センサー UHVベーク可能センサー
ALDセンサー ALDセンサー
スパッタリングセンサー スパッタリングセンサー
部品番号 品目
783-014-008 ラックマウントキット - 48.3 cm (19 in.) ラックに1つのSTM-2XM装置をマウント
783-014-009 デュアルマウントキット - 48.3 cm (19 in.) ラックに2つのSTM-2XM装置をマウント
Oscillator kits (発振器およびケーブルを含む)
783-500-109-10 3 m (10 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、3 m (10 ft.) BNCケーブル
783-500-109-25 7.6 m (25 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、7.6 m (25 ft.) BNCケーブル
783-500-109-50 15.2 m (50 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、15.2 m (50 ft.) BNCケーブル
783-500-109-75 22.8 m (75 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、22.8 m (75 ft.) BNCケーブル
Oscillator Only (ケーブルは含まない)
783-500-013 OSC-100 発振器のみ (ケーブルなし)
Cables
782-902-011 15.2 cm (6 in.) BNC ケーブル、オス/メス
782-902-012-10 3 m (10 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-25 7.6 m (25 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-50 15.2 m (50 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-75 22.8 m (75 ft.) BNCケーブル、オス/メス

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子
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