STM-2 USB薄膜蒸着速度/膜厚モニター

小型で低価格、しかも高性能

STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。小型でシンプルな構成のため、STM-2のセットアップと操作は容易かつ効率的に行えます。.

優れたパフォーマンス

STM-2は業界で最も正確な、USB電源供給型の薄膜モニタです。1秒あたり10回測定でき、1測定あたり0.037Åの分解能を達成します (密度1)。

設置が容易で柔軟

STM-2には、QCMセンサ/フィードスルーをWindows® PCに接続するのに必要なものすべてが付属しています。付属のBNCケーブルをフィードスルーからSTM-2に簡単に接続した後、標準ミニUSBケーブル (付属) を使用してSTM-2をPCに接続します。外部発振器または電源は必要ありません。

STM-2には内部発信器が含まれており、STM-2が水晶振動子から1 m (40インチ)以内にある場合であれば、シンプルかつ費用対効果の高い設置が可能です。STM-2をフィードスルーからもっと離さなければならない用途の場合には、INFICON®発信器キットを使用できます。

STM-2のソフトウェア

STM-2にはLabVIEW®ソフトウェアが付属しており、シンプルな操作とデータロギングが可能です。Windowsソフトウェアも付属しており、最大で8つのSTM-2を同時に操作し、データロギングが行えます(それぞれのSTM-2にはUSBポートからの電源供給が必要)。


ご注意ください:STM-2 WindowsアプリケーションソフトウェアまたはSTM-2 LabVIEWアプリケーションソフトウェアを適切に機能させるためには、SMDPサーバをインストールする必要があります。

機能

  • 低価格の装置
  • USB接続
  • 内部発振器
  • 1秒あたり10回測定する高精度
  • 外部発振器に対応
  • ソフトウェア付属

仕様

タイプ STM-2
センサー入力 One
互換センサー Non-shuttered single QCM sensor
センサー入力 Female BNC
測定周波数範囲 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
周波数分解能 ±0.03 Hz at 6 MHz
測定間隔 0.10 s
参照周波数安定性 ±2 ppm
膜厚・蒸着レートの分解能/測定値 ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
膜厚表示分解能 1 Å (display on software only)
インターフェース USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc)
サイズ 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.)
重量 57 g (2 oz.)
コンピューターの要件 Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2

部品番号

STM-2
部品番号 品目
STM-2 STM-2 USB薄膜蒸着レート/膜厚モニター

アクセサリ

名前 説明
前面搭載シングルセンサー 前面搭載シングルセンサー
Cool Drawerシングルセンサー Cool Drawerシングルセンサー
UHVベーク可能センサー UHVベーク可能センサー
ALDセンサー ALDセンサー
スパッタリングセンサー スパッタリングセンサー
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子
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