SQM-160薄膜蒸着モニター

SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。2個のセンサー入力を標準装備し、さらにオプションで4個センサー入力を追加できます。2系統のレコーダ出力で、アナログの速度と膜厚信号を取り出すことができます。

センサ入力は異なる材料に対して割り当てることができ、大規模システムでは蒸着を正確に制御するため平均化されます。またデュアルセンサ用に構成することもできます。速度サンプリングモードでは、シャッター付きのセンサーにより、高速度プロセスでのセンサーの寿命を延ばします。速度表示は 0.1/sまたは 0.01/sを選択できます。さらに、周波数や質量表示も選択することができます。SQM-160は、4個のリレー出力によって、 ソースまたはセンサーシャッター、信号時間、膜厚のセットポイント、そして信号振動子の故障を制御します。デジタル入力は、スタート /ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号を受け取ります。

機能

  • 標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
  • 蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
  • 高分解能オプション:毎秒10回読み取りで0.03Hz
  • RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション

仕様

タイプ SQM-160 Standard Resolution SQM-160 High Resolution
QCMセンサー入力 Standard: 2; optional: 4 Standard: 2; optional: 4
測定周波数範囲 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
周波数分解能(1) ± 0.30 Hz ± 0.03 Hz
厚さおよび速度分解能/測定(2) ± 0.37 Å ± 0.037 Å
測定間隔 0.10 to 2.0 s (adjustable) 0.10 to 2.0 s (adjustable)
測定フィルター 1 to 20 readings 1 to 20 readings
保存フィルム 99 99
アナログ出力 Two 0 to 5 VDC, rate & thickness Two 0 to 5 VDC, rate & thickness
デジタル入力/出力 Four inputs, four relay outputs Four inputs, four relay outputs
通信インターフェース

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

電源 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CEコンプライアンス

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

ハウジング/マウンティング

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

重量 2.7 Kg (6 lbs) 2.7 Kg (6 lbs)
Windowsソフトウェア (付属)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

(1) 0.10秒の測定間隔を実現するための分解能
(2)Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.10 秒

SQM-160_OrderChart_2013_web-01.png

アクセサリ

名前 説明
前面搭載シングルセンサー 前面搭載シングルセンサー
前面搭載デュアルセンサー 前面搭載デュアルセンサー
Cool Drawerシングルセンサー Cool Drawerシングルセンサー
Cool Drawerデュアルセンサー Cool Drawerデュアルセンサー
低プロファイルデュアルセンサー 低プロファイルデュアルセンサー
UHVベーク可能センサー UHVベーク可能センサー
スパッタリングセンサー スパッタリングセンサー
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
部品番号 品目
782-900-008 SQM-160またはCI-100装置1台用19インチラックマウントキット
782-900-014 SQM-160またはCI-100装置2台用19インチラックマウントキット
782-502-096-G1 USB Option Bd Assy Spare
782-502-097-G1 Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160
Oscillator kits (発振器およびケーブルを含む)
783-500-109-10 3 m (10 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、3 m (10 ft.) BNCケーブル
783-500-109-25 7.6 m (25 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、7.6 m (25 ft.) BNCケーブル
783-500-109-50 15.2 m (50 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、15.2 m (50 ft.) BNCケーブル
783-500-109-75 22.8 m (75 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、22.8 m (75 ft.) BNCケーブル
Oscillator Only (ケーブルは含まない)
783-500-013 OSC-100 発振器のみ (ケーブルなし)
Cables
782-902-011 15.2 cm (6 in.) BNC ケーブル、オス/メス
782-902-012-10 3 m (10 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-25 7.6 m (25 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-50 15.2 m (50 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-75 22.8 m (75 ft.) BNCケーブル、オス/メス

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子
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