SQC-310薄膜蒸着コントローラー

連続または同時蒸着プロセスの高精度なコントロール

高度な電子回路、改善された表示、手ごろな価格のINFICON SQC-310シリーズは、競合製品の薄膜コントローラでは見られない特長をお届けします。順次蒸着(SQC-310)または同時蒸着(SQC-310C)から、用途に合わせて理想的なモデルをお選びいただけます。

 

機能

  • 明るいカラーLCDディスプレー –英語、中国語に対応
  • 標準RS-232およびUSB (RS-232とイーサーネットはオプション)
  • [Quick Setup]メニューからセットアップと操作を容易に行える。状況に合わせて機能が調整される6つのプッシュボタンと、パラメーター設定が行いやすいノブを装備
  • Windows®プログラムによる開発、テスト、およびプロセスのダウンロードが可能。計測データはPCにロギングして、プロセス分析と品質管理を行える
  • 特に低蒸着速度で正確なプロセスコントロール。毎秒10回の読み取りで±0.03 Hzの分解能
  • 100までのプロセス、1,000までレイヤー、50までのフィルムを保管できる容量
  • シングルまたはマルチセンサーで原料物質を監視し、正確な原料配分を把握

仕様

タイプ SQC-310 SQC-310C
測定    
QCM入力 2 (4 optional) 4
測定頻度範囲 Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
周波数分解能(1) ± 0.012 Hz ± 0.012 Hz
厚さおよび速度分解能/測定(2) ±0.015 Å ±0.015 Å
周波数安定性 ± 2 ppm total, 0 to 50C ± 2 ppm total, 0 to 50C
測定間隔 0.10 to 1.0 s (adjustable) 0.10 to 1.0 s (adjustable)
蒸着速度表示 0.01 Å/sec 0.01 Å/sec
コントロール    
保管 100 processes, 1000 layers, 50 films 100 processes, 1000 layers, 50 films
コントロール出力 2 (4 optional) 4
出力信号 ± 0 to 10 VDC, 15 bits ± 0 to 10 VDC, 15 bits
デジタル入力/リレー 8/8 (16/16 optional) 16/16
デジタル入力 5 VDC non-isolated 5 VDC non-isolated
リレー SPST Form 1A, 30V, 2A max SPST Form 1A, 30V, 2A max
インターフェース Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
リモート電源コントロール Optional (IPN 782-900-017) Optional (IPN 782-900-017)
表示部    
タイプ 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
グラフ Rate, deviation, power or full screen numeric Rate, deviation, power or full screen numeric
一般    
電源 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
コンプライアンス CE, RoHS CE, RoHS
Windows®ソフトウェア Included Included
ハウジング/マウンティング 5 1/4” half-rack 5 1/4” half-rack
(1) 0.25秒の測定間隔を実現するための分解能
(2)Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.25 秒

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アクセサリ

名前 説明
前面搭載シングルセンサー 前面搭載シングルセンサー
前面搭載デュアルセンサー 前面搭載デュアルセンサー
Cool Drawerシングルセンサー Cool Drawerシングルセンサー
Cool Drawerデュアルセンサー Cool Drawerデュアルセンサー
低プロファイルデュアルセンサー 低プロファイルデュアルセンサー
UHVベーク可能センサー UHVベーク可能センサー
スパッタリングセンサー スパッタリングセンサー
CrystalSix®センサー CrystalSix®センサー
Crystal 12®センサー Crystal 12®センサー
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
RSH-600 回転式センサー RSH-600 回転式センサー
部品番号 品目
782-900-017 ハンドヘルド電源コントロール、10フィート (3 m) コイルケーブル
782-900-007 フルラックエクステンダー- 1台のSQC-310またはComposer Eliteを19インチラックに取り付け (ブランクオフ含む)
782-900-016 ラックアダプター- SQC-310装置2台を19インチラックにマウント
782-502-097-G1 Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160
782-502-096-G2 USB Option Card, Tested, SQC-310/SQM-160
Oscillator kits (発振器およびケーブルを含む)
783-500-109-10 3 m (10 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、3 m (10 ft.) BNCケーブル
783-500-109-25 7.6 m (25 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、7.6 m (25 ft.) BNCケーブル
783-500-109-50 15.2 m (50 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、15.2 m (50 ft.) BNCケーブル
783-500-109-75 22.8 m (75 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、22.8 m (75 ft.) BNCケーブル
Oscillator Only (ケーブルは含まない)
783-500-013 OSC-100 発振器のみ (ケーブルなし)
Cables
782-902-011 15.2 cm (6 in.) BNC ケーブル、オス/メス
782-902-012-10 3 m (10 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-25 7.6 m (25 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-50 15.2 m (50 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-75 22.8 m (75 ft.) BNCケーブル、オス/メス

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子
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