スパッタリングセンサー

INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別に設計されています。センサー本体と冷却チューブは金メッキのベリリウム銅で、スパッタリング環境において最高の冷却効果を発揮します。センサーヘッドに組み込まれた磁石が、スパッタリングシステムで発生する高エネルギーの自由電子を外部磁場でそらせることにより、過熱を防ぎます。後方搭載の振動子ホルダー設計により、システムからセンサーヘッドを取り外さなくても、振動子の交換を簡単に行えます。

機能

  • 金メッキされたベリリウム銅センサー本体と冷却チューブが冷却効果を最大化
  • 磁石により自由電子をモニター振動子からそらす
  • 水チューブは曲げられて取り付けが簡単、センサー交換も柔軟に行える
  • 振動子挿入は背面から行うので、取り替えが簡単

仕様

タイプ Sputtering Sensor
水なしでの最高ベークアウト温度 105°C
最小水流での最大動作等温環境温度 400° C
サイズ (最大外形) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空気および同軸長 Standard 30 in. (76.2 cm)
振動子交換 Rear-loading
マウンティング Customer supplied
設置の要件  
フィードスルー

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

その他

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

水流率 Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料  
本体およびホルダー Au plated Be-Cu
スプリング、電気接点 Au plated Be-Cu
水チューブ Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
コネクター 304 Stainless steel
絶縁体 99% Al2O3
ワイヤー Teflon® insulated copper
はんだ Cadmium free silver and indium alloys
振動子 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁石 ALNICO 5 Alloy
オプションのシャッターアセンブリー750-005-G1仕様:  
温度 130° C
1インチボルトとUltra-Torr (圧力継手) 端末部:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
マウンティング 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40溶接末端:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
マウンティング Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

部品番号

Sputtering Sensor
部品番号 品目
750-618-G1 スパッタリングセンサー (センサーのみ、フィードスルーは含まない)

アクセサリ

名前 説明
QCMセンサーフィードスルー QCMセンサーフィードスルー
Sputtering Sensor
部品番号 品目
750-005-G1 スパッタリングセンサー用空気式シャッターアセンブリー (シャッターアセンブリーのみ、センサーは付属しない)
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

Sputtering Sensor
部品番号 品目
007-023 セラミック固定器具
007-049 Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007 固定器具スプリング (振動子保持用)
007-047 Front Cover, Sputtering Sensor
007-009 DET, MAGNET
070-0440 Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442 保持リング (シャッターアセンブリーのシャフトに取り付け)
070-0441 Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044 テフロンねじ (リーフスプリング用)
082-029-P1 SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2 COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2 SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4 カップリング (ベローズアセンブリーに取り付ける)
750-169-P4 空気式シャッターアセンブリー用ベローズアセンブリー
750-174-P2 メス同軸
750-175-P1 絶縁体 (リーフスプリングの下)
750-188-P3 リーフスプリング
008-007 Crystal Snatcher
750-619-G1 スパッタリングヘッド本体、同軸コネクター含む
750-626-P1 Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12 真空内ケーブル、15.2 cm (6 in.)
007-252 真空内ケーブル、30.5 cm (12 in.)
321-039-G11 真空内ケーブル、61.0 cm (24 in.)
007-044 真空内ケーブル、78.1 cm (30.75 in.)
007-059 真空内ケーブル、91.4 cm (36 in.)
007-061 真空内ケーブル、121.9 cm (48 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G13 真空内ケーブル、154.2 cm (60 in.) - ModeLockコントローラーが必要
321-039-G14 真空内ケーブル、182.9 cm (72 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G15 真空内ケーブル、3.5 m (137.8 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
321-039-G16 真空内ケーブル、4 m (157.5 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
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