回転式/直線状モーションフィードスルー ISO-KF

INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。

利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。

利点

  • 2つのFPMシャフトシール
  • ダイレクトプッシュ/プルとロータリーアクチュエーション
  • ロッキングリングとオプションの回転防止デバイス
  • 2011/65/EU RoHS 準拠
  • Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF

仕様

タイプ FCH016-H FCH025-H FCH040-H
真空接続 DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF
フィードスルー/シール FPM FPM FPM
シャフト接続 M 3 / Ø5mm M 4 / Ø8mm M 6 / Ø12mm
移動量 mm 50 100 150
シャフトロード      
最大移動量での半径方向力 N 10 15 30
ねじりトルク N•m 2 8 20
リーク量、静電気 mbar•L/s 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-8 mbar ... 1bar 1 x 10-8 mbar ... 1bar 1 x 10-8 mbar ... 1bar
使用温度 °C 50 50 50
ベークアウト温度 °C 110 110 110
接ガス材料 stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082
重量 kg 0.1 0.2 0.3

部品番号

FCH016-H
部品番号 品目
214-320 FCH016-H Rotary/linear motion feedthroug
214-072 Anti-rotation device DN 16
FCH025-H
部品番号 品目
214-322 FCH025-H Rotary/linear motion feedthroug
214-073 Anti-rotation device DN 25
214-349 FCH025-H Rotary/linear motion feedthroug
FCH040-H
部品番号 品目
214-324 FCH040-H Rotary/linear motion feedthroug
214-074 Anti-rotation device DN 40
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