回転式フィードスルーISO-KF / ISO-K

INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。

利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。

利点

  • 高トルク伝達用
  • FPMシャフトシールとボールベアリング付き
  • 2011/65/EU RoHS 準拠

仕様

タイプ FRH016-H FRH025-H FRH040-H FRH063-H
真空接続 DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-KF
フィードスルー/シール FPM FPM FPM FPM
シャフト測定 mm Ø5 Ø8 Ø12 Ø20
トルク伝達 nm 1.5 6 25 100
回転速度 (1) RPM 1500 1000 750 500
真空下のアイドリング トルク N•cm ≤ 3 ≤ 4 ≤ 5 ≤ 10
真空下の始動トルク N•cm ≤ 6 ≤ 8 ≤ 10 ≤ 20
シャフトロード真空側        
半径方向力 N 60 150 250 500
軸方向力 N 30 50 60 100
サービスライフ Revolutions 20 000 000 20 000 000 20 000 000 10 000 000
リーク量、静電気 mbar•L/s 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar
使用温度 °C 50 50 50 50
ベークアウト温度 °C 110 110 110 110
接ガス材料 stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM
重量 kg 0.1 0.2 0.6 2

(1) 製品寿命が短縮されても構わない場合、その回転を、(2) DN63 ISO-Kに該当する

最大2つの要因によって増加させることが可能です:
発送された製品中にセンタリングリングが含まれていない、CR アルミニウム部品 No. 212-251 / FPM ステンレススチール部品 No. 212-281。

部品番号

FRH016-H
部品番号 品目
214-300 FRH016-H Rotary feedthrough DN 16 ISO-KF
FRH025-H
部品番号 品目
214-302 FRH025-H Rotary feedtrough DN 25 ISO-KF
FRH040-H
部品番号 品目
214-304 FRH040-H Rotary feedtrough DN 40 ISO-KF
214-347 FRH040-H Rotary feedtrough DN 40 ISO-KF
FRH063-H
部品番号 品目
214-306 FRH063-H Rotary feedthrough DN 63 ISO-K
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