回転式フィードスルーCF

INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。

利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。

利点

  • シール済みベロー
  • オールメタルバージョン
  • 非常に困難な真空の必要条件を満たすために
  • 2011/65/EU RoHS 準拠
  • FRU DN 16 - DN 40.gif

仕様

タイプ FRU016-H FRU040-N FRU040-L
真空接続 DN 16 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F
フィードスルー/シール bellow bellow bellow
シャフト接続 mm 4 8 12
トルク伝達      
ダイナミック N•m 0.4 4 10
動的、300 ℃ N•m 0.2 2 2
静電気 N•m 0.2 3 5
回転数 RPM 200 1000 500
最大トルク RPM ­ 500 300
シャフトロード真空側      
半径方向力 N 10 60 100
軸方向力 N 5 20 30
サービスライフ Revolutions 1 000 000 2 000 000 1 000 000
目盛分割 degree 10
真空気密性 mbar•L/s 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11
圧力 (絶対圧力) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
使用温度 °C 300 300 300
ベークアウト温度 °C 300 300 300
接ガス材料 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 304L/1.4306, 304/1.4301, 303/1.4305
重量 kg 0.3 1.5 3

部品番号

FRU016-H
部品番号 品目
214-310 FRU016-H Rotary feedthrough DN 16 CF-F
FRU040-N
部品番号 品目
214-312 FRU040-N Rotary feedthrough DN 40 CF-F
FRU040-L
部品番号 品目
214-314 FRU040-L Rotary feedthrough DN 40 CF-F
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