QMG 700質量分析器


QMG 700のいくつかの変位は2018年1月31日に終了します

  • 質量範囲1024 amu~2048 amu 
  • 質量範囲16 amu~340 amu 
  • イオンオプティクスシステム 
  • QMG 725システム

検出限界を超える優れた安定性と改善された分析半導体製造技術の急速な発展は、迅速で信頼性の高い分析ソリューションに基づいています。製造現場でもラボでも、INFICON QMG 700 Analytical Mass Spectrometerを選べば、検出の問題を克服し、お客様のプロセスをイノベーションの新たなレベルへと高めることができます。QMG 700は、モジュラー設計で、比類ない性能と柔軟性を提供します。競争力をQMG 700によって強化し、高水準の計測機能を実現してください。

 

 

幅広いイオンソース、質量フィルタおよびRF電源オプションから選択して、QMG 700をお客様固有の用途に合わせてカスタマイズすることができます。QMG 700は、9桁以上ものダイナミックレンジとppbレベルの検出限界を持ち、超高真空計測の理想的な機器となっています。QMG 700は、その質量範囲全体にわたって単位分解能を提供します。低質量ではさらに高い分解能を誇ります。この機器は、ヘリウムと重水素の分離など、アイソトープ分析を含む最も難しい計測についても優れたオプションとなっています。QMG 700を使用してお客様のプロセスをコントロールし、クリティカルな計測を保護できる、QMG 700の優れた長期安定性をご信頼ください。

 

INFICONの40年以上にわたる質量分析法における卓越した経験を通して、QMG 700がガス分析への次の投資として最適の選択肢であることをお約束します。一貫した精度で正確な結果を得るため、INFICON QMG 700と当社の全世界におよぶアプリケーションサポートご活用ください。

機能

  • 質量範囲オプション 1-2048 amu
  • 9 decade以上のダイナミックレンジ
  • 極めて高速の測定速度0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 全質量範囲にわたる高い分解能質量1、2、および3と明確にppb範囲内で分離可能

  • 10以上のさまざまなイオンソースとイオンオプティクスの組み合わせ
  • 不連続または連続のダイノードエレクトロンマルチプライヤーオプション
  • 正と負のイオンおよび中性粒子の分析にイオンカウントプリアンプが利用できます。
  • 入出力オプション: 8アナログ入力/出力、および32デジタル入力/出力
  • 柔軟でユーザーが使いやすいインターフェースを備えた強力なソフトウェア

標準的なアプリケーション

  • ガス放出質量分析器
  • 終点の検出
  • 蒸着物質監視
  • 二次的イオン質量分析器

仕様

タイプ QMA 400 QMA 410 QMA 430
質量範囲 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
センサー長 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
ロッド直径 8 mm 16 mm 8 mm
ロッド物質 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
フランジ DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
検出器タイプ Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
最大動作圧力(FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
最大動作圧力(EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
感度 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
検出可能な最小粒子圧力 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
分解能(調整可能) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
部分圧比率 < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
最大動作温度センサー 150 °C 150 °C 150 °C
最高ベークアウト温度 400 °C 400 °C 400 °C
最大動作温度電子機器 40 °C 40 °C 40 °C
測定速度 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
電源 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA400は 以下の質量範囲にご利用いただけます。 1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu.                        

 QMA 400 の仕様は、512 amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。

 

(2) QMA 410は 以下の質量範囲にご利用いただけます。1-16amu、1-128amu、1-340amu。

QMA 410 の仕様は; amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。

 

部品番号

QMA 430
部品番号 品目
490-913 QMA 430 with Grid Ion Source
490-943 QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT
友人へ送信