水晶モニター振動子

INFICON の振動子は正確さと信頼度を100%テストされています

振動子の質と寿命は蒸着速度や膜厚計測の正確性だけでなく、コントロールプロセスを上手く完成させることにも影響します。INFICONの水晶振動子には証明済みの品質と、幅広い原材料、作業、工場において何百万回とプロセスを成功させてきた信頼の実績があります。

当社の6MHz振動子はINFICONコントローラとモニターにお使えいただけます。当社の5MHz振動子は5MHz機器のみに使え、いくつかのINFICONの機器と互換性がありません。6MHzと5MHZの振動子は、ゴールド、シルバーまたは合金の電極を揃え、ニーズに応じてさまざまな種類のセットをご用意します。

NFICONのクリーンルーム水晶振動子パッケージは、パッケージから振動子を直接、小分けにすることが可能で、作業者の手間と汚染リスクを最小化します。振動子パッケージをさらにクリーンルーム用に適応させ、紙やフォームの梱包材を排除し、簡単にパッケージを積み上げ保管できるようにしました。

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機能

  • 5および6 MHz
  • 金、銀(高温ロードでのプロセス用)、そしてストレス減のアルミ合金(誘電材料と半導体プロセスでのオプティカルコーティング用)
  • 3つの便利なパッケージオプション: クリーンルーム適応ディスペンサー、フラットパックディスペンサーとコンパクトボックス
  • あなた仕様のサイズと周波数に製造されるカスタマイズ振動子

部品番号

INFICON Crystals
部品番号 品目
6 MHz INFICON Crystals 直径0.550インチ(14 mm)、パッケージ当たり10振動子
008-010-G10 6MHzの金(クリーンルーム適応ディスペンサー)
008-009-G10 6MHzの銀(クリーンルーム適応ディスペンサー)
750-679-G1 6 MHz合金(クリーンルーム適応ディスペンサー)
750-1000-G10 6MHzの金(フラットパックカローセルディスペンサー)
750-1001-G10 6MHz銀(フラットパックカローセルディスペンサー)
750-1002-G10 6MHz合金(フラットパックカローセルディスペンサー)
SPC-1093-G10 6 MHz金(コンパクトボックス)
750-1014-G10 6 MHz銀(コンパクトボックス)
750-1015-G10 6 MHz合金(コンパクトボックス)
SPC-1157-G10 6MHzの金、熱衝撃、クリーンルーム適応ディスペンサー
SPC-1194-G10 6 MHz金、熱衝撃、フラットパックカローセルディスペンサー
5 MHz INFICON Crystals 直径0.550インチ(14 mm)、パッケージ当たり10振動子
750-225-G2 5 MHzの金(クリーンルーム適応ディスペンサー)
750-226-G2 5 MHzの銀(クリーンルーム適応ディスペンサー)
750-678-G1 5 MHz合金(クリーンルーム適応ディスペンサー)
750-1005-G10 5 MHz金(フラットパックカローセルディスペンサー)
750-1006-G10 5 MHz銀(フラットパックカローセルディスペンサー)
750-1007-G10 5 MHz合金(フラットパックカローセルディスペンサー)
750-1016-G10 5 MHz金(コンパクトボックス)
750-1017-G10 5 MHz銀(コンパクトボックス)
750-1018-G10 5 MHz合金(コンパクトボックス)
6 MHz Crystals 直径0.550インチ(14 mm)、パッケージ当たり10振動子
Maxtek Crystals
部品番号 品目
0.550 in. (14 mm) Diameter ほとんどのセンサーとの互換性あり(INFICON、Maxtek、Sigma、Syconなど)
103200-2 6 MHz振動子、金、5個入りボックス
103204 5 MHz振動子、金、5個入りボックス
103220 6 MHz振動子、金、10個入りカローセル
103221 6 MHz振動子、銀、10個入りカローセル
103240 6 MHz振動子、アルミ合金、10個入りカローセル
103222 5 MHz振動子、金、10個入りカローセル
103223 5 MHz振動子、銀、10個入りカローセル
0.550 in. (14mm) Dia - Balzers Balzersセンサーとの互換性
103207 5 MHz振動子、銀、Balzers パターン、5個入りボックス
103224 5 MHz振動子、金、Balzers パターン、10個入りカローセル
0.490 in. (12.5 mm) Diameter UlvacとSloanセンサーとの互換性
186201 5 MHz 0.490インチ振動子、金、カローセル10
186200 5 MHz 12.5 mm(0.490インチ)振動子、銀、カローセル10
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