中真空計用のPSG55x ATM

 

INFICONのピラニ標準ゲージ(PSG55x)は、姉妹品のPCG55xおよびPSG50xと同様に、利用できる最も先進的なデジタルピラニ技術を採用しています。コンパクトなサイズとさまざまな機能を組み合わせた堅牢なセンサ設計によって、低真空から高真空範囲の計測に最適な製品です。

利点

  • 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン (PSG550)、ニッケル(PSG552)フィラメントまたは完全セラミックコーティング(PSG554)センサーユニットが選択可能
  • ディスプレイ、セットポイント、デジタルインターフェースのオプション
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • 交換が容易なプラグアンドプレイセンサーエレメントとオンボード較正データ – 高い再現性と所有コスト減を保証
  • 選択可能な出力信号と様々なプラグバージョンにより、統合が容易
  • さまざまな方向で取り付け可能 ― ツール設計における開発の自由度が向上
  • すべてのバージョンで診断ポートを装備
  • CE、EN、UL、CSA、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  •  真空圧の計測
  •  真空システム内の安全回路
  •  一般的な真空計測と低真空から高真空までの範囲のコントロール

ニュース

NEW! EtherCATデジタルインターフェースが利用可能になりました!

  • PSG55x_Massbilder Varianten.png

仕様

タイプ PSG550 Tungsten PSG552 Nickel PSG554 ceramic coated
測定範囲 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
精度 (N2)      
5×10-4 ~ 1×10-3 mbar % of reading ±50 ±50 ±50
1×10-3 ~ 100 mbar % of reading ±15 ±15 ±15
100 ~ 1000 mbar % of reading ±50 ±50 ±50
再現性 (N2)      
1×10-3 ~ 100 mbar % of reading ±2 ±2 ±2
許容圧力 bar (absolute) ≤5 ≤5 ≤5
最大圧力 bar (absolute) 10 10 10
許容温度      
使用温度 (周囲) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
保存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
ベークアウト (フランジにおいて) °C ≤80 ≤80 ≤80
ベークアウト ロングチューブ使用時 °C ≤250 ≤250 ≤250
供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
消費電力      
フィールドバス無し W ≤2.5 ≤2.5 ≤2.5
DeviceNet™ W ≤3 ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3 ≤3
出力信号 アナログ 3PIx-0xx-xxx0 V 0 … +10 0 … +10 0 … +10
アナログ出力信号 3PIx-0xx-xxx1 V 0 … +8.5 0 … +8.5 0 … +8.5
アナログ出力信号 3PIx-0xx-xxx2 V 0 … +5.529 0 … +5.529 0 … +5.529
アナログ出力信号 3PIx-0xx-xxx3 V 0 … +8.875 0 … +8.875 0 … +8.875
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10 +0.61 … +10 +0.61 … +10
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx3 V +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875
電圧と圧力の関係      
3PIx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286 1.286
3PIx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 volts per decade 1 1 1
負荷インピーダンス kΩ >10 >10 >10
セットポイントリレー      
セットポイント数 2 2 2
レンジ (N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
リレー接点 n.o., potential free n.o., potential free n.o., potential free
ヒステリシス % of threshold 10 10 10
接点定格 ソリッドステートリレー ≤30 ≤30 ≤30
接点定格メカニカルリレー ≤30 ≤30 ≤30
切替え時間 ms ≤30 ≤30 ≤30
インターフェース (デジタル) RS232C RS232C RS232C
電気接続      
3PIx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PIx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PIx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PIx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 操作 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
接ガス材質 W, Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Al2O3, stainless steel
内部容積      
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF ロングチューブ cm³ 14.5 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8 8
DN 16 CF-R ロングチューブ cm³ 14 14 14
DN 25 ISO-KF、4 VCR cm³ 5.5 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7 7
1/8 in. NPT、7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2 5.2
表面実装 29 mm/1.15 inch cm³ 4.9 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9 7.9
重量      
フィールドバスインターフェース無し g 115 … 130 115 … 130 115 … 130
フィールドバスインターフェース付き g 230 … 250 230 … 250 230 … 250
保護クラス IP 40 IP 40 IP 40
規格      
CE 適合 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 認証 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
DeviceNet™      
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only polling only polling only
DeviceNet™ 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx 用供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
消費電力 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3 ≤3
DeviceNet 用コネクタ Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP      
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 用コネクタ D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C      
ボーレート kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
アドレス 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 用コネクタ D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT      
プロトコル EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信標準 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
ノードアドレス Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT コネクター RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
プロセスデータ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
メールボックス (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
PSG55x_Ordering Information

アクセサリ

PSG550 Tungsten
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232
PSG552 Nickel
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232
PSG554 ceramic coated
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232

スペア部品

PSG550 Tungsten
部品番号 品目
355-925 PSG550 スペアセンサ、DN 16 ISO-KF
355-926 PSG550 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long
355-927 PSG550 Ersatzsensor, DN16CF-F
355-928 PSG550 Ersatzsensor, DN16CF-R, long
355-929 PSG550 Ersatzsensor, DN25ISO-KF
355-930 PSG550 Ersatzsensor, 1/8" NPT
355-931 PSG550 Ersatzsensor, 8-VCR
355-932 PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR
355-933 PSG550 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF
355-934 PSG550 Ersatzsensor, 29x29mm
355-935 PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°
PSG552 Nickel
部品番号 品目
355-936 PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
355-937 PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long
355-938 PSG552 Ersatzsensor, DN16CF-F
355-939 PSG552 Ersatzsensor, DN16CF-R, long
355-940 PSG552 Ersatzsensor, DN25ISO-KF
355-941 PSG552 Ersatzsensor, 1/8" NPT
355-942 PSG552 Ersatzsensor, 8-VCR
355-943 PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR
355-944 PSG552 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF
355-945 PSG552 Ersatzsensor, 29x29mm
355-946 PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°
PSG554 ceramic coated
部品番号 品目
355-947 PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
355-948 PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long
355-949 PSG554 Ersatzsensor, DN16CF-F
355-950 PSG554 Ersatzsensor, DN16CF-R, long
355-951 PSG554 Ersatzsensor, DN25ISO-KF
355-952 PSG554 Ersatzsensor, 1/8" NPT
355-953 PSG554 Ersatzsensor, 8-VCR
355-954 PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR
355-955 PSG554 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF
355-956 PSG554 Ersatzsensor, 29x29mm
355-957 PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°

データシート

パンフレット

マニュアル

3Dステップファイル

その他のファイル

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