中真空計用のPSG55x ATM

INFICON ピラニ スタンダード ゲージ (PSG55x) は、同種の PCG55x と PSG50x のように、最先端のデジタルピラニ技術を採用しています。 頑丈なセンサー設計、コンパクトなサイズと多彩な機能が、低真空から高真空までの計測で的確な性能を発揮します。

ピラニ ゲージシリーズ  PSG550 / PSG552 / PSG554 は、TTR 911 / TTR 916 シリーズと直接交換が可能です:

 

部品番号             タイプ        部品番号    タイプ       
3PI1-001-2020PSG550FCC、2SP、PBus、16KF=89650V01TTR 911PB、DN16 KF
3PI1-001-2010PSG550FCC、2SP、DNet、16KF=89651V01TTR 911D、DN16 KF
3PI2-001-2020PSG552FCC、2SP、PBus、16KF=89652V01TTR 916PB、DN16 KF
3PI1-001-1000PSG550FCC、LCD、16KF=89654V01TTR 911LCD、DN16 KF
3PI2-001-1000PSG552FCC、LCD、16KF=89656V01TTR 916LCD、DN16 KF
3PI2-001-1000PSG552FCC、LCD、16KF=89656V01TTR 916LCD、DN16 KF
3PI3-001-0000PSG554FCC、16KF=89658V01TTR 911CC、DN16 KF
3PI3-001-2020PSG554FCC、2SP、PBus、16KF=89659V01TTR 911CC PB、DN16 KF
355-925PSG550スペア-センサー DN 16 KF=TTR 911には不適
355-936PSG552スペア-センサー DN 16 KF=TTR 916には不適
355-947PSG554スペア-センサー DN 16 KF=TTR 911 CCには不適

 

全ての既知の TTR 911TTR 916 スペアセンサーヘッドは、 INFICON の PSG550、PSG552、 PSG554 のいずれかのスペアセンサーヘッドと交換可能です。

利点

  •  TTR 911 および TTR 916 ピラニ トランスミッターシリーズに、1:1 の互換性
  • 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン (PSG550)、ニッケル(PSG552)フィラメントまたは完全セ ラミックコーティング(PSG554)センサユニットが選択可能
  • ディスプレイ、セットポイント、デジタルインターフェースのオプション
  • キャリブレーションデータのある基板を搭載したセンサーエレメントをプラグアンドプレイで簡単に交換可能―高い再現性とコスト低減を保証
  • 選択可能な出力信号やさまざまなプラグにより容易な統合が可能
  • さまざまな方向で取り付け可能 ― ツール設計における開発の自由度が向上
  • すべてのバージョンで診断ポートを装備
  • 適合と標準モデル:CE、EN、UL、CSA、RoHS

標準的なアプリケーション

  •  真空減圧の計測
  •  真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と低から高まで真空範囲のコントロール

ニュース

PSG550、PSG552、PSG554 シリーズは、  TTR 911 / TTR916真空 トランスミッターと直接交換が可能。

新製品!INFICON は、  EtherCAT デジタルインターフェース を、ProfiBus、RS485 、DeviceNet などの既存のデジタルインターフェース に追加しました。

  • tiba42e1 Massbild mit EtherCAT und Stecker.png

仕様

タイプ PSG550 Tungsten PSG552 Nickel PSG554 ceramic coated
測定範囲 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
精度 (N2)      
5×10-4 ~ 1×10-3 mbar % of reading ±50 ±50 ±50
1×10-3 ~ 100 mbar % of reading ±15 ±15 ±15
100 ~ 1000 mbar % of reading ±50 ±50 ±50
再現性 (N2)      
1×10-3 ~ 100 mbar % of reading ±2 ±2 ±2
許容圧力 bar (absolute) ≤5 ≤5 ≤5
最大圧力 bar (absolute) 10 10 10
許容温度      
使用温度 (周囲) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
保存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
ベークアウト (フランジにおいて) °C ≤80 ≤80 ≤80
ベークアウト ロングチューブ使用時 °C ≤250 ≤250 ≤250
供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
消費電力      
フィールドバス無し W ≤2.5 ≤2.5 ≤2.5
DeviceNet™ W ≤3 ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3 ≤3
出力信号 アナログ 3PIx-0xx-xxx0 V 0 … +10 0 … +10 0 … +10
アナログ出力信号 3PIx-0xx-xxx1 V 0 … +8.5 0 … +8.5 0 … +8.5
アナログ出力信号 3PIx-0xx-xxx2 V 0 … +5.529 0 … +5.529 0 … +5.529
アナログ出力信号 3PIx-0xx-xxx3 V 0 … +8.875 0 … +8.875 0 … +8.875
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10 +0.61 … +10 +0.61 … +10
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529
測定レンジ 3PIx-0xx-xxx3 V +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875
電圧と圧力の関係      
3PIx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286 1.286
3PIx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 volts per decade 1 1 1
負荷インピーダンス kΩ >10 >10 >10
セットポイントリレー      
セットポイント数 2 2 2
レンジ (N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
リレー接点 n.o., potential free n.o., potential free n.o., potential free
ヒステリシス % of threshold 10 10 10
接点定格 ソリッドステートリレー ≤30 ≤30 ≤30
接点定格メカニカルリレー ≤30 ≤30 ≤30
切替え時間 ms ≤30 ≤30 ≤30
インターフェース (デジタル) RS232C RS232C RS232C
電気接続      
3PIx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PIx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PIx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PIx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 操作 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
接ガス材質 W, Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Al2O3, stainless steel
内部容積      
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF ロングチューブ cm³ 14.5 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8 8
DN 16 CF-R ロングチューブ cm³ 14 14 14
DN 25 ISO-KF、4 VCR cm³ 5.5 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7 7
1/8 in. NPT、7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2 5.2
表面実装 29 mm/1.15 inch cm³ 4.9 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9 7.9
重量      
フィールドバスインターフェース無し g 115 … 130 115 … 130 115 … 130
フィールドバスインターフェース付き g 230 … 250 230 … 250 230 … 250
保護クラス IP 40 IP 40 IP 40
規格      
CE 適合 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 認証 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
DeviceNet™      
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only polling only polling only
DeviceNet™ 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx 用供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
消費電力 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3 ≤3
DeviceNet 用コネクタ Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP      
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 用コネクタ D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C      
ボーレート kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
アドレス 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 用コネクタ D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT      
プロトコル EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信標準 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
ノードアドレス Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT コネクター RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
プロセスデータ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
メールボックス (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information

部品番号

PSG550 Tungsten
部品番号 品目
3PI1-001-0000 PSG550 FCC, DN16KF
3PI1-001-1000 PSG550 FCC,LCD,16KF
3PI1-001-2010 PSG550 FCC,2SP,DNet,16KF
3PI1-001-2020 PSG550 FCC,2SP,PBus,16KF
355-925 PSG550 スペアセンサ、DN 16 ISO-KF
PSG552 Nickel
部品番号 品目
3PI2-001-1000 PSG552 FCC,LCD,16KF
3PI2-001-2020 PSG552 FCC,2SP,PBus,16KF
355-936 PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
PSG554 ceramic coated
部品番号 品目
3PI3-001-0000 PSG554 FCC,16KF
3PI3-001-2000 PSG554 FCC,2SP,16KF
3PI3-001-2020 PSG554 FCC,2SP,PBus,16KF
355-947 PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF

アクセサリ

PSG550 Tungsten
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232
PSG552 Nickel
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232
PSG554 ceramic coated
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232

データシート

パンフレット

マニュアル

3Dステップファイル

その他のファイル

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