中真空計用のPSG5xx ATM

INFICON ピラニスタンダードゲージ、PSG500、PSG502-S、PSG510-S、PSG512-S は、市場で最先端のデジタルピラニ技術を採用しています。頑丈なステンレススチールセンサーセルとコンパクトな設計は、真空ラインなどの半導体システムや規格に準拠したアプリケーションにご使用いただけます。

 

PSG500 / PSG502-S  ピラニ ゲージ シリーズは、 TTR 91 S / TTR96 S シリーズと直接交換が可能です:

 

部品番号タイプ部品番号タイプ
350-060PSG500DN 16 ISO-KF=230 035TTR 91DN 16 ISO-KF
350-061PSG5001/8" NPT=230 038TTR 911/8" NPT
350-062PSG500DN 16 CF-R=230 036TTR 91DN 16 CF-R
350-068PSG500DN 16 CF-R、ロング=230 037TTR 91DN 16 CF-R、ロング
350-080PSG500-SDN 16 ISO-KF=230 040TTR 91 SDN 16 ISO-KF
350-081PSG500-S1/8" NPT=230 043TTR 91 S1/8" NPT
350-088PSG500-SDN 16 CF-R、ロング=230 042TTR 91 SDN 16 CF-R、ロング
350-140PSG502-SDN 16 ISO-KF=230 045TTR 96 SDN 16 ISO-KF
350-148PSG502-SDN 16 CF-R、ロング=230 047TTR 96 SDN 16 CF-R、ロング
350-920PSG500スペア-センサー DN 16 KF=230 050TTR 91スペア-センサー DN16KF
350-921PSG500スペア-センサー 1/8" NPT=230 053TTR 91スペア-センサー 1/8" NPT
350-922PSG500スペア-センサー DN 16 CF-R=230 051TTR 91スペア-センサー DN16CF
350-928PSG500スペア-センサー DN 16 CF-R、ロング =230 052TTR 91スペア-センサーDN 16 CF-R、ロング
350-900PSG502スペア-センサー DN 16 KF=230 055TTR 96 S スペア-センサー DN16KF
350-901PSG502スペア-センサー 1/8" NPT=230 058TTR 96 S スペア-センサー 1/8" NPT
350-902PSG502スペア-センサー DN 16 CF-R=230 056TTR 96 S スペア-センサー DN16CF

 

すべての 既知のTTR 91 および TTR 96 スペアセンサーヘッドは、 INFICON PSG500 および PSG502 スペアセンサーヘッドと交換できます。100% 交換可能。

利点

  •  TTR 91 および TTR 96 ピラニ トランスミッターシリーズに、1:1 の互換性
  • 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
  • コンパクトで堅牢な設計
  • アルミハウジング
  • 取付け方向が自在
  • 金属封止型のステンレス製測定セル
  • 適格な出力信号による容易な統合が可能
  • 絶対圧10bar超過用ねじ接続
  • 250 °C で加熱乾燥可能
  • 耐腐食性ニッケルフィラメントをオプションで選択可能
  • 腐食性のある作業にはセラミックフィードスルー(PSG510と PSG512)
  • 任意のセットポイント
  • RoHS 指令に適合

標準的なアプリケーション

  • 高真空電離真空計の制御
  • 真空領域のモニタリング
  • 真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と微から粗まで真空範囲のコントロール

ニュース

PSG500 / PSG502 ゲージシリーズは、  TTR 91/ TTR 96 真空トランスミッターに互換性があります。
  • tiba29e1 Massbild.gif

仕様

タイプ PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints
測定原理 thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
精度 (N2)      
1 x 10-3 ~ 100 mbar % of reading ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4 ~ 1 x 10-3 mbar % of reading ±50% ±50% ±50%
100 ~ 1000 mbar % of reading ±50% ±50% ±50%
再現性 (Air)      
1 x 10-3 ~ 100 mbar % of reading 2% 2% 2%
出力信号 (測定信号)      
電圧範囲 V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
測定範囲 V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
測定範囲 (Air、O2、CO、N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
セットポイント      
セットポイント数 none 2 2
設定範囲 mbar 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
ヒステリシス % of reading 10% above lower threshold 10% above lower threshold
リレー接点 30 30
リレー接点:切替え時間 ms <20 <20
供給電圧      
ゲージ位置 V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
リップル V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1
電圧と圧力の関係 logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
内部容積      
DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、7/16-20 UNF cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF / DN 16 CF-R ロングチューブ cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8 in. NPT、4 VCR、8 VCR、1/2 in. チューブ cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
許容温度      
動作 °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
真空接続 (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
保存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
重量      
DN 16 ISO-KF、7/16-20 UNF g 80 80 80
DN 16 CF-R、4 VCR g 100 100 100
1/8 in. NPT、1/2 in. チューブ g 70 70 70
8 VCR、DN 16 ISO-KF ロングチューブ g 130 130 130
DN 16 CF-R ロングチューブ g 140 140 140
エラー信号 V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
出力インピーダンス 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
最小負荷時インピーダンス kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
応答時間 ms 80 80 80
ゲージ識別 kΩ 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
調整 one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
消費電流 mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
消費電力 W ≤1 ≤1 ≤1
電気接続 FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
センサーケーブル 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
ケーブル長 m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
接ガス材料 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
フィラメント W W Ni
許容圧力 bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
取付け方向 any any any
保護クラス IP40 IP40 IP40

(1) 水平取付け方向

(2) ロングチューブ

部品番号

PSG500 tungsten
部品番号 品目
350-060 PSG500 DN16 ISO-KF
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
350-920 Replacement head for PSG500/16KF tun
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG500-S tungsten, setpoints
部品番号 品目
350-080 PSG500-S DN16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8″NPT
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-920 Replacement head for PSG500/16KF tun
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG502-S nickel, setpoints
部品番号 品目
350-140 PSG502-S DN16 ISO-KF
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
350-900 PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901 PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R

アクセサリ

PSG500 tungsten
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG500-S tungsten, setpoints
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG502-S nickel, setpoints
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF

データシート

パンフレット

マニュアル

3Dステップファイル

友人へ送信