中真空計用のPSG5xx ATM

 

INFICONのピラニ標準ゲージ PSG500、PSG502-S、 PSG510-S、 PSG512-Sは、市場において最も進んだデジタルピラニ技術を採用しています。ステンレス製の堅牢なセンサセルやコンパクト設計により、半導体システムでの使用や、補助真空側配管などの一般用途に最適です。

利点

  • 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
  • コンパクトで堅牢な設計
  • アルミハウジング
  • 取付け方向が自在
  • 金属封止型のステンレス製測定セル
  • 対数出力信号により統合が容易
  • 絶対圧10 bar超過用ねじ接続
  • 250 °Cでのベーキングが可能なバージョン
  • 耐腐食性ニッケルフィラメントをオプションで選択可能
  • 腐食性のある作業にはセラミックフィードスルー(PSG510と PSG512)
  • オプションのセットポイント
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 高真空電離真空計の制御
  • 真空圧力のモニタリング
  • 真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と高真空から低真空までの真空範囲のコントロール
  • tiba29e1 Massbild.gif

仕様

タイプ PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
測定原理 thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
精度 (N2)          
1 x 10-3 ~ 100 mbar % of reading ±15% ±15% ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4 ~ 1 x 10-3 mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
100 ~ 1000 mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
再現性 (Air)          
1 x 10-3 ~ 100 mbar % of reading 2% 2% 2% 2% 2%
出力信号 (測定信号)          
電圧範囲 V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
測定範囲 V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
測定範囲 (Air、O2、CO、N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
セットポイント          
セットポイント数 none 2 2 2 2
設定範囲 mbar 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
ヒステリシス % of reading 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold
リレー接点 30 30 30 30
リレー接点:切替え時間 ms <20 <20 <20 <20
供給電圧          
ゲージ位置 V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
リップル V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
電圧と圧力の関係 logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
内部容積          
DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、7/16-20 UNF cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF / DN 16 CF-R ロングチューブ cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8 in. NPT、4 VCR、8 VCR、1/2 in. チューブ cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
許容温度          
動作 °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
真空接続 (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
保存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
重量          
DN 16 ISO-KF、7/16-20 UNF g 80 80 80 80 80
DN 16 CF-R、4 VCR g 100 100 100 100 100
1/8 in. NPT、1/2 in. チューブ g 70 70 70 70 70
8 VCR、DN 16 ISO-KF ロングチューブ g 130 130 130 130 130
DN 16 CF-R ロングチューブ g 140 140 140 140 140
エラー信号 V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
出力インピーダンス 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
最小負荷時インピーダンス kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
応答時間 ms 80 80 80 80 80
ゲージ識別 kΩ 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
調整 one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
消費電流 mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
消費電力 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
電気接続 FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
センサーケーブル 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
ケーブル長 m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
接ガス材料 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
フィラメント W W Ni W Ni
許容圧力 bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
取付け方向 any any any any any
保護クラス IP40 IP40 IP40 IP40 IP40

(1) 水平方向の取り付けにおいて

(2) ロングチューブ

部品番号

PSG500 tungsten
部品番号 品目
350-060 PSG500 DN16 ISO-KF
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-063 PSG500 1/2" Tube
350-064 PSG500 8-VCR (1/2")
350-065 PSG500 4-VCR (1/4")
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
PSG500-S tungsten, setpoints
部品番号 品目
350-080 PSG500-S DN16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8″NPT
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
350-083 PSG500-S 1/2" Tube
350-084 PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085 PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG502-S nickel, setpoints
部品番号 品目
350-140 PSG502-S DN16 ISO-KF
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
350-143 PSG502-S 1/2" Tube
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145 PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
部品番号 品目
350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
部品番号 品目
350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF

アクセサリ

PSG500 tungsten
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG500-S tungsten, setpoints
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG502-S nickel, setpoints
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF

スペア部品

PSG500 tungsten
部品番号 品目
350-920 Replacement head for PSG500/16KF tun
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG500-S tungsten, setpoints
部品番号 品目
350-920 Replacement head for PSG500/16KF tun
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG502-S nickel, setpoints
部品番号 品目
350-900 PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901 PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903 PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904 PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905 PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906 PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907 PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
部品番号 品目
350-930 PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
部品番号 品目
350-940 PSG512 Spare Sensor DN 16 KF
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