中真空計用のPGE500 ATM

INFICONピラニゲージ強化型500 (PGE500)は、現市場において最も進んだデジタル対流強化ピラニ技術を採用しています。このタイプのピラニ装置における対流の物理的特性により、100~1000 mbarの測定範囲で、さらに優れた精度を実現しています。堅牢なゲージとセンサデザインは、明るくシャープでクリアなOLED、明るくシャープで見やすいOLEDディスプレイと一体型のキーパッド、RS485/RS232デジタルインターフェース、4系統の選択可能なアナログ出力信号といった多くの内蔵機能と相まって、PGE050を高価値で所有コストの低い選択肢としています。これらの機能により、低真空から高真空までの範囲の経済的な真空測定が要求される多くの分野で、最適な真空計となっています。

利点

  • 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
  • ディスプレイ内蔵、2セットポイント、4種類のアナログ出力信号、および2系統のデジタルインターフェースを特徴とする、オールインワンアクティブゲージ
  • 明るいデジタルOLEDディスプレイとキーパッドがあり、セットアップ、較正、操作が容易です。
  • 4種類のオプションアナログ出力信号(3種類はユーザー選択可能、1種類はデフォルト)
  • 工場プリセットによるアナログ出力信号またはキーパッドにより選択可能
  • 工場プリセットによるディスプレイユニットまたはキーパッドにより選択可能
  • ユーザーがプログラム可能なセットポイントリレー(大量注文時には、リクエストに応じて工場プリセットを行います)
  • 金メッキタングステンフィラメント
  • 機械的に頑強で堅牢性が高く、機械的衝撃や振動に強い
  • フランジのオプションを選択可能
  • コンプライアンスと規格: CE、RoHS
  • ほとんどのGranville-Phillips® Mini-Convectron®モジュール(GP275)と直接交換可能

    (Granville-Phillips®;およびMini-Convectron®; は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)

標準的なアプリケーション

  • 真空圧の計測
  • 一般的な真空計測と低真空から高真空までの範囲のコントロール

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  • PGE500_Dimensional drawing.PNG

仕様

タイプ PGE500
測定範囲 1.3×10-4 … 1333
精度(N2)  
1.3×10-4 … 1.3×10-3 mbar 0.1x10-3 mbar resolution
1×10-3 … 530 mbar % of reading ±10
530 … 1333 mbar % of reading ±2.5
1×10-4 … 1×10-3 Torr 0.1 mTorr resolution
1×10-3 … 400 Torr % of reading ±10
400 … 1000 Torr % of reading ±2.5
再現性  
再現性(N2) % of reading ±2
許容可能温度  
動作時(周囲温度) °C 0 … +40
保管 °C -40 … +70
ベークアウト(電子機器を外した状態) °C ≤150
供給電圧 V (dc) +12 … +28
出力信号アナログ  
3PE5-0xx-B7F0 V (dc) 1.15 … 10.215   (log-linear)
3PE5-0xx-B7F2 V (dc) 0.375 … 5.659   (non-linear S-curve)
3PE5-0xx-B7F5 V (dc) 1 … 8   (log-linear)
3PE5-0xx-B7F- V (dc) 0 … 10   (linear)
電圧と圧力  
3PE5-0-xx-B7F0 volts per decade 1.286
3PE5-0-xx-B7F5 volts per decade 1
セットポイントリレー  
セットポイント数 2 (single-pole double-throw relays (SPDT)); 1A at 30V (dc) resisiv or V (ac) non-inductive
インターフェース (デジタル)  
デジタル RS232/ RS485 (ASCII protocol)
電気接続  
電源コネクター D-Sub, 9-pin, male
デジタルインターフェース接続 D-Sub, 15-pin HD, male (with RS485)
材料  
真空にさらされる部分

gold plated tungsten,

304 & 316 stainless steel,

glass, nickel, Teflon®

取り付けの向き horizontal recommended
内部容積 cm³ (in.³) 26 (1.589)
内部表面積 59.7 (9.25)
重量 340
PGE500 Ordering Information
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