中真空計用PGE050 ATM

INFICONピラニゲージ強化型050 (PGE050)は、アクティブ対流強化型のピラニゲージPGE300およびPGE500のパッシブバージョンです。同じセンサテクノロジを備えているため、PEG050はVGC031およびVGC083パッシブゲージコントローラユニットと組み合わせて、100~1000 mbarの範囲で同様の高精度測定を行えます。測定範囲が広く、精度が高いこと、特に低い圧力でその特徴が際立っているため、PGE050は、真空系の熱電対ゲージを置き換える際の最初の選択肢となります。堅牢なゲージとセンサーデザインにより、PGE050は高価値で所有コストの低い選択肢となっています。低真空から高真空までの範囲の経済的な真空測定が要求される多くの分野で、最適な真空計です。

試験

利点

  • 対流強化型ピラニ技術により、測定範囲が広く、大気圧近くでも精度が高い
  • 金メッキタングステンフィラメント
  • 機械的に頑強で堅牢性が高く、機械的衝撃や振動に強い
  • フランジのオプションを選択可能
  • コンプライアンスと規格: CE、RoHS
  • Granville-Phillips® Convectron®ゲージセンサーと直接交換可能(同一のプラグとピン配置)

    (Granville-Phillips®, Convectron®およびMini-Convectron®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)

  • PGE050は、Granville-Phillips® Convectron®のコントローラ、ケーブル、およびモジュールに適合します

    (Granville-Phillips®, Convectron®およびMini-Convectron®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)

  • 設置済み熱電対ゲージのアップグレードに理想的なゲージセンサー

標準的なアプリケーション

  • 真空圧の計測
  • 一般的な真空計測と低真空から高真空までの範囲のコントロール

ニュース

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  • PGE050_Dimensional Drawing.PNG

仕様

タイプ PGE050 Tungsten gold plated
測定範囲 1.3 x 10-4 ... 1333
精度(N2)  
1.3 × 10-4 … 1.3 × 10-3 mbar 0.1 x 10-3 mbar resolution
1.3 × 10-3 … 530 mbar % of reading +10
530 ...1333 mbar % of reading +2.5
1 × 10-4 … 1 × 10-3 Torr 0.1 mTorr resolution
1 × 10-3 … 400 Torr % of reading

+10

400 ...1000 Torr % of reading +2.5
再現性(N2) % of reading +2
許容可能温度  
動作 °C 0 ... +50
ベークアウト °C ≤150
真空に晒される材料 gold-plated tungsten, 304 & 316 stainless steel, glass, nickel, Teflon®
内部容積 cm³ (in.³) 26 (1.589)
内部表面積 59.7 cm2 (9.25 in2)
重量 85
Granville-Phillips®、Convectron® およびMini-Convectron®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です。
PGE050 Ordering Information.PNG
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