中~超高真空計用のPEG100

 

INFICONのペニングゲージPEG100は信頼性の高い高真空計測を可能にします。頑丈なペニング冷陰極センサには、バーンアウトするフィラメントがありません。頑丈なペニング冷陰極センサには、バーンアウトするフィラメントがありません。対数アナログ出力信号に加え、フィールドバスオプションがProfibus DPやDeviceNet プロトコルを使った真空システムへの統合を簡単にします。

利点

  • 1 x 10-9~1 x 10-2 mbar (7.5 x 10-10~7.5 x 10-3 Torr)の広い計測範囲
  • セラミックフィードスルーセンサー付きの全金属製冷陰極センサー(ペニング)
  • 新たな電極形状は優れた点火特性を提供
  • プラズマの点火後に減少された高電圧とアノードのチタン板は、アルゴンのスパッタリング作業中も、汚染のリスクを軽減
  • アノードリングとチタンのカソードは簡単に洗浄または交換が可能
  • ゲージ付近の磁界が最小
  • 電源オンとプラズマ点火後のためのLEDインジケータ
  • 対数アナログ出力信号
  • Fieldbusバスインターフェース(Profibus, DB, DeviceNet)で ネットワークコミュニケーションを使った真空システムへの簡単な統合

標準的なアプリケーション

  • 高真空の監視
  • 蒸発とスパッタリングのシステム
  • 一般的な真空計測と微小真空から高真空までの範囲のコントロール
  • PEG100 Penning Gauge

仕様

タイプ PEG100
測定範囲 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度  
10-8 ~ 10-4 mbar % of reading ±30
最大圧力 (絶対圧力) bar 10
温度  
使用温度 (周囲) °C +10 to +50
保存 °C -20 to +75
ベークアウト(電子ユニット無し) °C 350
電子回路によるべークアウト、フランジ °C 70
電源  
電圧 V (dc) 14.5 to 36
消費、最大 W <2
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 to 10.6
測定範囲 V 0.66 to 10
電圧と圧力の関係 volts per decade 1.333
コネクター FCC 68, female, 8 pin (shielded)
ケーブル長、最大 (アナログ) m (ft.) 100 (330)
接ガス材料 Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
内部容積 cm³ (in.³) 21 (1.28)
重量(概算) g 500
保護等級 IP40
DeviceNet™  
デバイスタイプ generic
明示的なピアツーピアメッセージング no
I / O ピアツーピアメッセージング no
構成の一貫性値 no
欠陥のあるノードの回復 no
ボーレート kBaud 125 / 250 / 500
マスタ/スキャナ no
I/O スレーブメッセージ:ビットストローブ yes
I/O スレーブメッセージング:ポーリング yes
I/O スレーブメッセージング:周期的 yes
I/O スレーブメッセージング:COS(Chang of State) yes
DeviceNet™ 用電源 V (dc) 11 to 25
DeviceNet™ 用コネクタ Phoenix Combicon, 5 pin

部品番号

PEG100
部品番号 品目
351-000 PEG100-25KF
351-002 PEG100 DN 40 CF-F
351-003 PEG100-D DN25KF DEVICE NET
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-490 カソードプレート (5 個/セット)
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