中~超高真空計用のPEG100

 

INFICON ぺニングゲージ PEG100 は、信頼できる高真空計測を提供します。頑丈なぺニング冷陰極センサーには、燃え尽きてしまうフィラメントが付いていません。チタニウム陰極プレートの使用と電圧をプラズマ点火後低下させることにより、ゲージはスパッタリング用途でも使用可能です。 対数アナログ出力信号とフィールドバスオプションで、Profibus DP または DeviceNet プロトコルを使用して真空システムに簡単に統合できます。

このぺニングゲージ PEG100 シリーズ は、ぺニング トランスミッター PTR 225 / PTR 225 S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D シリーズと直接交換が可能です:

 

部品番号タイプ部品番号タイプ
351-000PEG100DN 25 ISO-KF=157 34PTR 225DN 25 KF
351-001PEG100-SDN 25 ISO-KF、SP=164 34PTR225 SDN 25 KF、SP
351-002PEG100DN 40 CF-R=157 36PTR 237DN 40 CF-R
351-005PEG100-PDN 25 ISO-KF、PB=896 41PTR 225 PBDN 25 KF、PB 
351-004PEG100-DDN 40 CF-R、DevNet=896 42PTR 237 DDN 40 CF-R、DevNet
351-490PEG100スペア陰極プレート (5 枚)=16291PTRスペア陰極プレート (5 枚)

 

弊社の冷陰極ゲージ技術分野での最新のイノベーションをぜひご確認ください。先端技術を代表する Gemini MxG50x ラインは、 PTR 225 / PTR 237 / PTR 90 ラインと交換できます。

利点

  •  PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D 真空 トランスミッターと直接交換
  • 1 x 10-9 から 1 x 10-2 mbar (7.5 x 10-10 から 7.5 x 10-3 Torr まで) までの幅広い測定レンジ
  • セラミックフィードスルーセンサ付きのオールメタル製冷陰極センサ(ペニング)
  • 新たな電極形状は優れた点火特性を提供
  • Arガスでのスパッタリング中でも、プラズマ点火後の低下した高電圧やカソードプレートが汚染のリスクを軽減します。
  • アノードリングとチタン製カソードは簡単に洗浄または交換が可能
  • ゲージ近傍の最小磁場強度
  • 電源オンとプラズマ点火用LEDインジケータ
  • 対数アナログ出力信号
  • フィールドバスインターフェース (Profibus DB、DeviceNet) でネットワークコミュニケーションを使った真空システムへの簡単な統合

標準的なアプリケーション

  • 高真空領域のモニタリング
  • 蒸着とスパッタリングシステム
  • 一般的な真空圧計測と低~高真空領域の圧力制御

ニュース

PEG100、PEG100-S、PEG100-D、PEG100-P シリーズは、 PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D 真空 トランスミッターと直接交換が可能
  • PEG100 Penning Gauge

仕様

タイプ PEG100
測定範囲 1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度  
10-8 ~ 10-4 mbar % of reading ±30
最大圧力 (絶対圧力) bar 10
温度  
使用温度 (周囲) °C +10 to +50
保存 °C -20 to +75
ベークアウト(電子ユニット無し) °C 350
電子回路によるべークアウト、フランジ °C 70
電源  
電圧 V (dc) 14.5 to 36
消費、最大 W <2
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 to 10.6
測定範囲 V 0.66 to 10
電圧と圧力の関係 volts per decade 1.333
コネクター FCC 68, female, 8 pin (shielded)
ケーブル長、最大 (アナログ) m (ft.) 100 (330)
接ガス材料 Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
内部容積 cm³ (in.³) 21 (1.28)
重量(概算) g 500
保護等級 IP40
DeviceNet™  
デバイスタイプ generic
明示的なピアツーピアメッセージング no
I / O ピアツーピアメッセージング no
構成の一貫性値 no
欠陥のあるノードの回復 no
ボーレート kBaud 125 / 250 / 500
マスタ/スキャナ no
I/O スレーブメッセージ:ビットストローブ yes
I/O スレーブメッセージング:ポーリング yes
I/O スレーブメッセージング:周期的 yes
I/O スレーブメッセージング:COS(Chang of State) yes
DeviceNet™ 用電源 V (dc) 11 to 25
DeviceNet™ 用コネクタ Phoenix Combicon, 5 pin

部品番号

PEG100
部品番号 品目
351-000 PEG100-25KF
351-000 PEG100-25KF
351-002 PEG100 DN 40 CF-F
351-003 PEG100-D DN25KF DEVICE NET
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
399-510 PEG050 ペニングゲージ DN25KF
351-490 カソードプレート (5 個/セット)
351-499 アノードPR 25
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