中真空計用のPCG55x ATM

 

INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ(PCG55x)は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンスダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。

10 mbarから大気圧までの計測範囲で、このキャパシタンスダイアフラム技術はガス種に依存しない高精度で信頼のできる圧力計測を実現します。また、PCG55xには、要求された用途に適した製品構成を可能にする、様々な機能も備わっています。

利点

  • 10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行います
  • 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
  • さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
  • 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン(PCG550)、ニッケル(PCG552)フィラメントまたは完全セラミックコーティング(PCG554)センサーユニットが選択可能
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • 交換が容易なプラグアンドプレイセンサーエレメントとオンボード較正データ – 高い再現性と所有コスト減を保証
  • 選択可能な出力信号により統合が容易
  • オプションの大気圧スイッチ、ディスプレイとデジタルインターフェース
  • CE、EN、UL、CSA、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  • ロードロック制御
  • 真空圧の計測
  • 真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と低~中真空領域の圧力制御

ニュース

NEW! EtherCATデジタルインターフェースが利用可能になりました!

  • PCG55x_Massbild Varianten.png

仕様

タイプ PCG550 Tungsten PCG552 Nickel PCG554 ceramic coated
測定範囲 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500
精度      
5×10-4 ~ 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 ±50 ±50
1×10-3 ~ 100 mbar (N2) % of reading ±15 ±15 ±15
100 ~ 950 mbar % of reading ±5 ±5 ±5
950 ~ 1050 mbar % of reading ±2.5 ±2.5 ±2.5
再現性      
1×10-3 ~ 1100 mbar (N2) % of reading ±2 ±2 ±2
許容圧力 bar (absolute) ≤5 ≤5 ≤5
最大圧力 bar (absolute) 10 10 10
許容温度      
使用温度 (周囲) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
保存 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
ベークアウト (フランジにおいて) °C ≤80 ≤80 ≤80
ベークアウト (フランジにおいて) ロングチューブ °C ≤250 ≤250 ≤250
供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
消費電力      
フィールドバス無し W ≤2.5 ≤2.5 ≤2.5
DeviceNet™ W ≤3 ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3 ≤3
出力信号 アナログ 3PCx-0xx-xxx0 V 0 … +10.23 0 … +10.23 0 … +10.23
アナログ出力信号 3PCx-0xx-xxx1 V 0 … +8.68 0 … +8.68 0 … +8.68
アナログ出力信号 3PCx-0xx-xxx2 V 0 … +5.659 0 … +5.659 0 … +5.659
アナログ出力信号 3PCx-0xx-xxx3 V 0 … +9.05 0 … +9.05 0 … +9.05
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx3 V +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05
電圧と圧力の関係      
3PCx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286 1.286
3PCx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 volts per decade 1 1 1
負荷インピーダンス kΩ >10 >10 >10
セットポイントリレー      
セットポイント数 2 2 2
レンジ (N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
リレー接点 n.o., potential free n.o., potential free n.o., potential free
ヒステリシス % of threshold 10 10 10
接点定格 ソリッドステートリレー ≤30 ≤30 ≤30
接点定格メカニカルリレー ≤30 ≤30 ≤30
切替え時間 ms ≤30 ≤30 ≤30
インターフェース (デジタル) RS232C RS232C RS232C
電気接続      
3PCx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PCx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PCx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PCx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 操作 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
接ガス材料 W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Al2O3, stainless steel
内部容積      
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF ロングチューブ cm³ 14.5 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8 8
DN 16 CF-R ロングチューブ cm³ 14 14 14
DN 25 ISO-KF、4 VCR cm³ 5.5 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7 7
1/8 in. NPT、7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2 5.2
表面実装 29 mm/1.15 inch cm³ 4.9 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9 7.9
重量      
フィールドバスインターフェース無し g 115 … 130 115 … 130 115 … 130
フィールドバスインターフェース付き g 230 … 250 230 … 250 230 … 250
保護クラス IP 40 IP 40 IP 40
標準      
CE 適合 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 認証 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
DeviceNet™      
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only polling only polling only
DeviceNet™ 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx 用供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
消費電力 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3 ≤3
DeviceNet 用コネクター Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP      
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 用コネクター D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C      
ボーレート kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
アドレス 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 用コネクタ D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT      
プロトコル EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信標準 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
ノードアドレス Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT コネクター 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
プロセスデータ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
メールボックス (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
PCG55x_Ordering Information

アクセサリ

PCG550 Tungsten
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232
PCG552 Nickel
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232
PCG554 ceramic coated
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232

スペア部品

PCG550 Tungsten
部品番号 品目
357-925 Replacement sensor/PCG550 DN16KF
357-926 PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-927 PCG550 Spare Sensor, DN16CF-F
357-928 PCG550 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-929 PCG550 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-930 PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-931 PCG550 Spare Sensor, 8-VCR
357-932 PCG550 Spare Sensor, 4-VCR
357-933 PCG550 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-934 PCG550 Spare Sensor, 29x29mm
357-935 PCG550 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
PCG552 Nickel
部品番号 品目
357-936 PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-937 PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-938 PCG552 Spare Sensor, DN16CF-F
357-939 PCG552 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-941 PCG552 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-942 PCG552 Spare Sensor, 8-VCR
357-943 PCG552 Spare Sensor, 4-VCR
357-944 PCG552 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-945 PCG552 Spare Sensor, 29x29mm
357-946 PCG552 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
PCG554 ceramic coated
部品番号 品目
357-947 PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-948 PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-949 PCG554 Spare Sensor, DN16CF-F
357-950 PCG554 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-951 PCG554 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-952 PCG554 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-953 PCG554 Spare Sensor, 8-VCR
357-954 PCG554 Spare Sensor, 4-VCR
357-955 PCG554 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-956 PCG554 Spare Sensor, 29x29mm
357-957 PCG554 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

データシート

パンフレット

マニュアル

3Dステップファイル

その他のファイル

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