中真空計用のPCG55x ATM

 

INFICON ピラニキャパシタンスダイヤフラムゲージ (PCG55x) には、INFICON ピラニ技術とセラミックキャパシタンスダイヤフラムセンサーの利点がひとつに組み込まれています。

このキャパシタンスダイヤフラム技術は、10 mbar から大気圧までの計測範囲で、ガス種に依存しない、高い精度の信頼できる圧力計測が可能です。また、PCG55x は、過酷な使用環境で適切な製品設定を可能にする多彩な機能を提供します。

このピラニキャパシタンスダイヤフラムゲージシリーズ PCG550、PCG552、PCG554 は、 TTR 101 シリーズと直接交換が可能です。:

 

部品番号              タイプ        部品番号      タイプ       
3PC1-001-0000PCG550FCC、16KF=230350 V01TTR 101TTR 101、FCC、16 KF
3PC1-00F-0000PCG550FCC、1/8NPT=230351 V01TTR 101FCC、1/8 NPT
3PC1-001-2000PCG550FCC、2SP、16KF=230352 V01TTR 101 FCC、16 KF、2SP
3PC1-00F-2000PCG550FCC、2SP、1/8NPT=230353 V01TTR 101 FCC、1/8 NPT、2SP
3PC1-001-1000PCG550FCC、LCD、16KF=230354 V01TTR 101FCC、16 KF、LCD
3PC1-00E-1000PCG550FCC、LCD、1/8NPT=230355 V01TTR 101FCC、1/8 NPT、LCD
3PC1-001-4000PCG550FCC、2SP、LCD、16KF=230356 V01TTR 101 FCC、16 KF、2SP、LCD
3PC1-00F-4000PCG550FCC、2SP、LCD、1/8" NPT=230357 V01TTR 101 FCC、1/8 NPT、2SP、LCD
3PC1-001-2020PCG550FCC、2SP、PBus、16KF=230358 V01TTR 101 FCC、16KF、2SP、PBUS
3PC3-001-0000PCG554FCC、16KF=230 363 V01TTR 101CC、FCC、16 KF
357-925PCG550スペア-センサー DN16 ISO-KF=230361 V01TTR 101
357-930PCG550スペア-センサー 1/8" NPT=230362 V01TTR 101
357-947PCG554スペア-センサー DN16 ISO-KF=TTR 101CCには不適

 

またすべての既知の TTR 101スペアセンサーヘッドは、 PCG550、PCG552、 PCG554 スペアセンサーヘッドと交換可能です。

利点

  • PCG550 は、 TTR 101 ピラニ キャパシタンス ダイヤフラム トランスミッターシリーズと直接交換できます。

    ガス種に依存せず、10 mbar –以上で計測可能、あらゆるガス混合物を安全に通気できます。

  • 大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知
  • 早い大気圧検知 – 待機時間を低減しプロセスサイクルを短縮
  • さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上
  • 腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン (PCG550)、ニッケル(PCG552)フィラメントまたは完全セ ラミックコーティング(PCG554)センサユニットが選択可能
  • キャリブレーションデータのある基板を搭載したセンサーエレメントをプラグアンドプレイで簡単に交換可能―高い再現性とコスト低減を保証
  • 選択可能な出力信号による容易な統合が可能
  • オプションの大気圧スイッチ、ディスプレイとデジタルインターフェース

標準的なアプリケーション

  • ロードロック制御
  • 真空圧の計測
  • 真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と低~中真空領域の圧力制御

ニュース

PCG550、PCG552、PCG554 シリーズは、 TTR 101 真空 トランスミッターと100%直接交換が可能です。

新製品! EtherCAT デジタルインターフェースとともに、今すぐご利用いただけます!

  • tiba42e1 Massbild mit EtherCAT und Stecker.png

仕様

タイプ PCG550 Tungsten PCG554 ceramic coated
測定範囲 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500
精度    
5×10-4 ~ 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 ±50
1×10-3 ~ 100 mbar (N2) % of reading ±15 ±15
100 ~ 950 mbar % of reading ±5 ±5
950 ~ 1050 mbar % of reading ±2.5 ±2.5
再現性    
1×10-3 ~ 1100 mbar (N2) % of reading ±2 ±2
許容圧力 bar (absolute) ≤5 ≤5
最大圧力 bar (absolute) ≥10 ≥10
許容温度    
使用温度 (周囲) °C +10 … +50 +10 … +50
保存 °C -20 … +65 -20 … +65
ベークアウト (フランジにおいて) °C ≤80 ≤80
ベークアウト (フランジにおいて) ロングチューブ °C ≤250 ≤250
供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
消費電力    
フィールドバス無し W ≤2.5 ≤2.5
DeviceNet™ W ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3
出力信号 アナログ 3PCx-0xx-xxx0 V 0 … +10.23 0 … +10.23
アナログ出力信号 3PCx-0xx-xxx1 V 0 … +8.68 0 … +8.68
アナログ出力信号 3PCx-0xx-xxx2 V 0 … +5.659 0 … +5.659
アナログ出力信号 3PCx-0xx-xxx3 V 0 … +9.05 0 … +9.05
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659
測定レンジ 3PCx-0xx-xxx3 V +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05
電圧と圧力の関係    
3PCx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286
3PCx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 volts per decade 1 1
負荷インピーダンス kΩ >10 >10
セットポイントリレー    
セットポイント数 2 2
レンジ (N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
リレー接点 n.o., potential free n.o., potential free
ヒステリシス % of threshold 10 10
接点定格 ソリッドステートリレー ≤30 ≤30
接点定格メカニカルリレー ≤30 ≤30
切替え時間 ms ≤30 ≤30
インターフェース (デジタル) RS232C RS232C
電気接続    
3PCx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PCx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PCx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PCx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 操作 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
接ガス材料 W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Al2O3, stainless steel
内部容積    
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF ロングチューブ cm³ 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8
DN 16 CF-R ロングチューブ cm³ 14 14
DN 25 ISO-KF、4 VCR cm³ 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7
1/8 in. NPT、7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2
表面実装 29 mm/1.15 inch cm³ 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9
重量    
フィールドバスインターフェース無し g 115 … 130 115 … 130
フィールドバスインターフェース付き g 230 … 250 230 … 250
保護クラス IP 40 IP 40
標準    
CE 適合 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 認証 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
DeviceNet™    
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only polling only
DeviceNet™ 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx 用供給電圧 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
消費電力 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3
DeviceNet 用コネクター Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP    
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 用コネクター D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C    
ボーレート kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
アドレス 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 用コネクタ D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT    
プロトコル EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信標準 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
ノードアドレス Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT コネクター RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
プロセスデータ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
メールボックス (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information

部品番号

PCG550 Tungsten
部品番号 品目
3PC1-001-0000 PCG550 FCC,16KF
3PC1-00F-0000 PCG550 FCC,1/8NPT
3PC1-001-2000 PCG550 FCC,2SP,16KF
3PC1-00F-2000 PCG550 FCC,2SP,1/8NPT
3PC1-001-1000 PCG550 FCC,LCD,16KF
3PC1-001-4000 PCG550 FCC,2SP,LCD,16KF
357-925 Replacement sensor/PCG550 DN16KF
357-930 PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT
PCG554 ceramic coated
部品番号 品目
3PC3-001-0000 PCG554 FCC,16KF

アクセサリ

PCG550 Tungsten
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232
PCG554 ceramic coated
部品番号 品目
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Communication adapter(2m)forPC RS232

データシート

パンフレット

マニュアル

3Dステップファイル

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