超高真空計用のGemini™ ATM

 

INFICON Gemini 逆マグネトロン真空計は、あらゆる真空計測アプリケーションで活躍します (保留中)。2 つのセンサーシステムを小型デバイス一台に組み込んだ Gemini は、大気圧から 1x10 – 9 mbar の範囲での計測が可能です。特許取得済みの超低磁気浮遊フィールド設計は、全く新しいアプリケーションの扉を開きます。クリーニングサイクルを無くしメンテナンスを軽減する、ユニークな交換式デュアルチャンバーセンサーユニットにより、Gemini は同クラスで最高の強度と経済性を備えた真空計となりました。

 

Gemini 冷陰極とコンビネーションには、完全に統合されたデジタルエレクトロニクスが搭載されており、システム統合に究極の柔軟性を提供します。冷陰極とピラニコンビネーションのオプションが、幅広い用途でのスムーズな移行、信頼性、実用性、柔軟性を提供します。

 

MPG500 シリーズは、  PTR 90 / PTR 225 (アナログバージョン) シリーズの冷陰極、またはぺニングトランスミッターの直接交換製品として、最新技術を採用してます。

 

部品番号タイプ部品番号タイプ
3MB0-006-000PMPG500SS、HC、FCC、25 KF=230070PTR 90DN 25 KF
3MB0-007-000PMPG500SS、HC、FCC、40 KF=230071PTR 90DN 40 KF
3MB0-00Q-000PMPG500SS、HC、FCC、40 CF-F=230072PTR 90DN 40 CF
3MA0-007-000QMAG500SS、HC、FCC、40 KF=15734PTR 225DN 25 KF

利点

  • MPG500 シリーズは、  PTR 90 / PTR 225 (アナログバージョン) シリーズの冷陰極またはぺニングトランスミッターの直接交換製品として、最新技術が搭載されています。

  • 厳しい環境下でも長寿命を実現

  • 磁気漂遊フィールドは発生しません
  • メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
  • 超小型設計
  • 信頼性の高いすばやい点火
  • 耐腐食性に優れたフィードスルー
  • 選択可能な測定単位

標準的なアプリケーション

  • 蒸着とスパッタリング用途において、大気圧から高真空度まで基準気圧の監視と制御
  • 一般的な真空計測 – 工業用炉、建築用ガラス、半導体、冷却、空調
  • 研究開発と分析的アプリケーション – 質量分析、電子顕微鏡、医療、眼科、光学、高エネルギー物理学。

ニュース

MPG500 は直接交換が可能です PTR 90 / PTR 225 (アナログバージョン)。

新世代冷陰極 /ピラニコンビネーションゲージのご注文が可能になりました!

  • MxG50x dimensions

仕様

タイプ MAG50x MPG50x
測定システム Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
測定範囲(空気、窒素) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
精度(窒素)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 30 30
1×10-2 … 100 mbar % of reading - 15
100 ~ 1000 mbar % of reading - 50
再現性 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 5 -
1×10-8 … 100 mbar % of reading - 5
取付け方向 any any
許容圧力 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <50°C) 10 (limited to inert gases <50°C)
許容温度    
使用温度 (周囲) °C +5 ... +55 +5 ... +55
ベークアウト (フランジにおいて) (1) °C <150 <150
保存 °C -40 ... +70 -40 ... +70
フィラメント温度 °C - 120
年平均、30日間の相対湿度    
1×10-7 … 1×10-2 mbar % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 mbar % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
供給電圧    
ゲージ位置 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
リップル V (p-p)

<1

<1

電力消費量 W <2 <2
接続するヒューズ AT <1 <1
電圧範囲    
アナログ出力 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
測定範囲    
3MAx-00x-0x0N V +1.5 ... +8.5 -
3MBx-00x-0x0P V - +1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q V +0.667 ... +10 -
電圧対温度    
3MAx-00x-0x0N volts per decade 1 (logarithmic) -
3MBx-00x-0x0P volts per decade - 0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q volts per decade 1.33 (logaritmic) -
エラー信号    
エラー信号 V

<+0.5

09.5 ... +10.5

出力インピーダンス 2x10 2x10
負荷インピーダンス kΩ

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)

ステップ応答時間    
p > 10-6 mbar ms

<10

<10

p = 10-8 mbar ms

~1

~1

ゲージ識別 kΩ 100 85
ステータス (ピン6)    
ピラニ専用モード V - 0 (low)
冷陰極点火 V +15 ... +30 -
ピラニ / 冷陰極複合モード 3) V - +15 ... +30 (high)
電気的接続    
3Mxx-00x-000x FCC68, 8-pin, female FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x D-sub, 9-pin, male D-sub, 9-pin, male
センサーケーブル    
3Mxx-00x-000x 8-pin, shielded 8-pin, shielded
ケーブル長    
50 m ケーブル m < 50 (8x0.14 mm2) < 50 (8x0.14 mm2)
75 m ケーブル m < 75 (8x0.25 mm2) < 75 (8x0.25 mm2)
100 m ケーブル m < 100 (8x0.34 mm2) < 100 (8x0.34 mm2)
300 m ケーブル m < 300 (8x1.00 mm2) < 300 (8x1.00 mm2)
動作電圧 kV <3.3 <3.3
高動作電流 µA <500 <500
低動作電流 µA <100 <100
真空状態になった物質    
3Mx0-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, stainless steels Ni alloy, AI2O3, stainless steels
内部体積 cm³ 22.8 22.8
重量    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320 <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
品質保護の程度 IP 40 IP 40
標準    
CE 適合

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

保守 none none

1) 電子部品なし。

2) 電源装置の最小電圧は、センサーケーブルの長さに比例して増加させてください。

3) 冷陰極点火。

部品番号

MAG50x
部品番号 品目
3MA0-007-000Q MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 TOOL FOR IGNITER SETTING
351-995 MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)
MPG50x
部品番号 品目
3MB0-006-000P MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 TOOL FOR IGNITER SETTING
351-995 MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)

アクセサリ

MAG50x
部品番号 品目
211-098 Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550 TOOL FOR IGNITER SETTING
MPG50x
部品番号 品目
211-098 Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550 TOOL FOR IGNITER SETTING
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