超高真空計用のGemini™ MxG5xx ATM

 

INFICON Gemini™ 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です(特許申請中)。大気圧から 1x10 – 9 mbar を計測できるように、Gemini逆マグネトロン真空ゲージは2つのセンサーシステムを1台の小型装置に結合します。特許を受けた超低磁気漂遊フィールド設計は、アプリケーションの全く新しい範囲を開きます。その独自の交換可能なデュアルチャンバーセンサーユニットはクリーニングサイクルを避けて、メンテナンスを減らします。そして、Geminiをその種類で最も強力で経済的な真空計にします。

Gemini冷陰極と組み合わせは、完全に統合したデジタル電子機器で、究極の柔軟性をシステム統合に提供します。オプションのGemini冷陰極とピラニの組み合わせは、幅広い範囲のアプリケーションで、シームレスな移行、信頼性、実用性と柔軟性を提供します。

利点

  • Long lifetime in harsh environments

  • 厳しい環境下でも長寿命を実現

  • 磁気漂遊フィールドは発生しない
  • メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
  • 超小型設計
  • 耐腐食性に優れたフィードスルー
  • 選択可能な測定電流
  • 2 relay setpoints (in conjunction with MxG55x EtherCAT Version)
  • EtherCAT and RS232/ RS485 digital interace

標準的なアプリケーション

  • 蒸着とスパッタリング用途において、大気圧から高真空度まで基準気圧の監視と制御
  • 一般的な真空計測 – 工業用炉、建築用ガラス、半導体、冷却、空調
  • 研究開発と分析的アプリケーション – 質量分析、電子顕微鏡、医療、眼科、光学、高エネルギー物理学。

ニュース

新世代冷陰極/ピラニ複合ゲージのご注文が可能になりました

  • Massbild Gemin plus EtherCAT_15.02.2019.PNG

仕様

タイプ MAG5xx MPG5xx
測定システム Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
測定範囲(空気、窒素) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
精度(窒素)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 30

-

1×10-2 … 100 mbar % of reading - 30
100 ~ 1000 mbar % of reading - 50
再現性 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 5 -
1×10-8 … 100 mbar % of reading - 5
取付け方向 any any
許容圧力 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <55°C) 10 (limited to inert gases <55°C)
許容温度    
使用温度 (周囲) °C +5 ... +55 +5 ... +55
ベークアウト (フランジにおいて) (1) °C <150 <150
保存 °C -40 ... +70 -40 ... +70
フィラメント温度 °C - 120
年平均、30日間の相対湿度    
1×10-7 … 1×10-2 mbar % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 mbar % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
供給電圧    
ゲージ位置 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
リップル V (p-p)

<1

<1

電力消費量 W <2 <2
接続するヒューズ AT <1 <1
電圧範囲    
アナログ出力 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
測定範囲    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MBx-xxx-xxxP V -  
3MAx-xxx-xxxQ V +0.667 ... +10  
電圧対温度    
3MAx-xxx-xxxN volts per decade 1 (logarithmic)  
3MBx-xxx-xxxP volts per decade -  
3MAx-xxx-xxxQ volts per decade 1.33 (logaritmic)  
エラー信号    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MA-xxx-xxxQ V <+0.3  
3MBx-xxx-xxxP V -  
Output impedance

2 x 4.7 (short circuit-proof)

 
Load impedance kΩ >10 (short circuit-proof)  
ステップ応答時間    
p > 1 x 10-6 mbar ms

<100

<100

p = 1x10-6...1x10-8 mbar s

~1

 
ゲージ識別 (FCC connector gauges)    
3MAx-0xx-000N kΩ -  
3MAx-0xx-000Q kΩ 100  
3MBx-0xx-000P kΩ -  
ステータス (ピン6)    
Current rating mA 100 (sink)  
High Voltage is ON V (dc) +14.5 ... +30 (depending on supply voltage)  
High Voltage is OFF V (dc) 0  
Status signal, digital output (D-sub connector)    
Supply voltage V (dc)

<30

 
Current rating mA 100  
High voltage ON V (dc)

0

 
High voltage OFF open  
電気的接続    
3Mxx-0xx-000x FCC68, 8-pin, female  
3Mxx-0xx-010x D-sub, 9-pin, male  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
センサーケーブル    
3Mxx-0xx-000x 8-pin, shielded  
3Mxx-0xx-010x 9-pin, shielded  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
ケーブル長    
FCC connector cable m

<50 (0.14 mm2/ conductor)

 
High voltage (in the measuring chamber)    
Ignition voltage kV <4.5  
動作電圧 kV <3.3 <3.3
Current (in the measuring chamber)    
High current µA <380  
Low current µA <130  
Setpoint relays (MxG55x)    
Range (N2) mbar bar 5x10-5 ... 1500  
Relay contact normally open (NO), potential free  
Hysteresis % of threshold 10  
Contact rating of mechanical relays V/A <30/ <1  
Switching time ms <30  
真空状態になった物質    
3Mx0-xxx-xxxx Ni alloy, Mo, AI2O3, glass, stainless steels  
3Mx3-xxx-xxxx Mo, AI2O3, stainless steels  
3Mx0-11x-xxxx Ni alloy, Mo, Al2O3, glass, Ti, stainless steels  
3Mx3-11x-xxxx Mo, Al2O3, Ti, stainless steels  
内部体積    
DN 25 ISO-KF cm³
DN 40 ISO-KF cm³ ~20.9
DN 40 CF-F cm³ ~25.2  
DN 40 CF-R cm³ ~25.6  
内部体積 cm³ 22.8 22.8
重量 (MxG50x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
Weight (MxG55x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
品質保護の程度 IP 40 IP 40
CE conformity    
RoHS 2011/65/EU  
EMC 2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1  
Safety EN 61010-1  
RS232C / 485C (MxG50x)    
Baud rates kBaud 9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6  
Address 2 switches (address 00 - 255)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
Connector for RS232 & RS485 D-Sub HD, 15-pin, male  
EtherCAT® (MxG55x)    
Protocol EtherCAT®

 

 
Communication standard

ETG.5003.1  S (R) V1.1.0 4)

ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 5)

 
Node address Explicit Device Identification  
Physical layer 100Base-Tx (IEEE 802.3)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), Input & output  
EtherCAT cable Special Ethernet Patch cable or crossover cable, shielded (CAT5e Quality or higher)  
Cable lenght m (ft.) <100 (330)  

1) 電子回路なし。

2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。

3) 冷陰極管点灯時。

Gemini Ordering Information_13.03.2019.PNG

アクセサリ

MAG5xx
部品番号 品目
211-098 Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550 TOOL FOR IGNITER SETTING
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512 BAFFLE for BPG400
MPG5xx
部品番号 品目
211-098 Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550 TOOL FOR IGNITER SETTING
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512 BAFFLE for BPG400

スペア部品

MAG5xx
部品番号 品目
351-500 MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556 Spare ion chamber ti
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536 MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524 MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502 MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514 MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538 MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526 MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501 MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513 MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537 MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525 MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503 MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515 MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539 MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527 MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)
351-555 Spare ion chamber ss
MPG5xx
部品番号 品目
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518 MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542 MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530 MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508 MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520 MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544 MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532 MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507 MPG504 spare sensor, 25KF, SS
351-519 MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543 MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531 MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509 MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521 MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545 MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533 MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)
351-555 Spare ion chamber ss
351-556 Spare ion chamber ti
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