超高真空計用のMPG40x ATM

 

INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10-9 mbarから大気圧(3.8 x 10-9 Torrから大気圧)までを計測します。複数のテクノロジを、対数アナログ出力を備えた1台のコンパクトなユニットにまとめることにより、設置、セットアップ、統合の複雑さを大幅に軽減しました。

利点

  • 逆マグネトロンとピラニの組み合わせゲージ
  • 5 x 10-9から大気圧という広い計測範囲
  • バーンアウトするフィラメントがない
  • 優れた点火特性
  • 清掃が簡単
  • FPMまたは金属でシールされたフィードスルー
  • 高電圧用のLEDインジケータ
  • 対数アナログ出力信号

標準的なアプリケーション

  • 高真空の監視
  • 蒸着およびスパッタリングシステム用到達圧力
  • 一般的な真空計測と中真空から高真空までの範囲のコントロール
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

仕様

タイプ MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed
測定範囲 (Air、N2) 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)    
1 x 10-8 ~ 100 mbar % of reading ≈±30% ≈±30%
再現性    
1 x 10-8 ~ 100 mbar % of reading ≈±5% ≈±5%
取付け方向 any any
許容圧力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
許容温度    
使用温度 (周囲) °C +5 … +55 +5 … +55
保存 °C –40 … +65 –40 … +65
ベークアウト (1) °C 150 150
フィラメント温度 (ピラニ) °C 120 120
供給電圧    
ゲージ位置 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
最大ケーブル長の供給ユニット (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30
リップル V (p-p) ≤1 ≤1
消費電力 W ≤2 ≤2
接続するヒューズ AT ≤1 ≤1
出力信号 (測定信号)    
電圧範囲 V 0 … +10.5 0 … +10.5
測定範囲 V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
電圧と圧力の関係 logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
エラー信号    
電源供給なし V <0.5 <0.5
ピラニセンサー、フィラメント断線 V >9.5 >9.5
出力インピーダンス 2 x 10 2 x 10
最小負荷時インピーダンス kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
応答時間    
p > 10-6 mbar ms <10 <10
p = 10-8 mbar ms ≈1000 ≈1000
ゲージ識別 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
ステータス    
ピラニ専用モード V 0 (low) 0 (low)
ピラニ / 冷陰極複合モード V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on high voltage on
電気接続 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
センサーケーブル 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
ケーブル長 m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2)
動作電圧 kV ≤3.3 ≤3.3
動作電流 µA ≤500 ≤500
接ガス材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
内部容積 cm³ ≈20 ≈20
重量    
DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010
保護カテゴリ IP 40 IP 40
標準    
CE 適合 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 電子的または磁気シールドなし。

2) センサーケーブルの長さに比例して、ユニットに供給する最小電圧を増加させる必要があります。

部品番号

MPG400 FPM sealed
部品番号 品目
351-010 MPG400 DN25KF
351-011 MPG400 FPM シールド、DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
部品番号 品目
351-020 MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021 MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022 MPG401 DN40 CF-F
351-023 磁気シールド

アクセサリ

MPG400 FPM sealed
部品番号 品目
351-023 磁気シールド
MPG401 metal-sealed
部品番号 品目
351-023 磁気シールド

スペア部品

MPG400 FPM sealed
部品番号 品目
BN846469-T Spare measurement system MPG400
BN846470-T Spare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-T Spare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994 TOOL FOR IGNITER SETTING
351-995 MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)
351-998 MPG400 REPAIR SET
351-999 MPG400 MAINTENANCE SET
MPG401 metal-sealed
部品番号 品目
BN846472-T Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-T Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-T Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F
351-994 TOOL FOR IGNITER SETTING
351-995 MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)
351-996 MPG401 Repair set
351-997 MPG401 Maintenance set
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