超高真空計用のMPG40x ATM

 

INFICON 逆マグネトロンピラニゲージ、MPG400、MPG401は、大気圧から 5 x 10-9 mbar の範囲で計測可能です (3.8 x 10-9 Torr から大気圧)。1つのコンパクトなユニットに1つの対数アナログ出力信号を組み込む技術により、インストールの複雑さやセットアップ、統合の手順が大幅に軽減されます。

この 冷陰極逆マグネトロン ゲージ MAG400 シリーズは、   PTR 90 トランスミッターシリーズと直接交換が可能です:

 

部品番号タイプ部品番号タイプ
351-010MPG400DN25 ISO-KF=230 070PTR 90DN25 KF
351-011MPG400DN40 ISO-KF=230 071PTR 90DN40 KF
351-012MPG400DN40 CF-F=230 072PTR 90DN40 CF
351-999MPG400メンテナンスセット =なし
351-998MPG400修理セット =なし
351-995MPG400スペア-点火補助 (10 個)=なし
351-994MPG400点火ツールセット=なし
351-023MPG400磁気シールド=230 073 V01PTR 90磁気シールド

 

弊社独自の INFICON チャンネル内で、MPG40x ラインの金属シールドバージョン、MPG401 タイプも提供しています。詳細情報は、次のリンクをご確認ください:

http://products.inficon.com/en-us/nav-products/Product/Detail/MPG40x?path=Products%2Fpg-wide-range-vacuum-gauges

また、 冷陰極ゲージ技術における最新のイノベーション、 Gemini MxG50x ラインは、最先端の技術を代表し、  PTR 090 / PTR 225 / PTR 237 トランスミッターシリーズと直接交換が可能です。

利点

  •  PTR 90 真空 トランスミッターと直接交換
  • 組合せゲージ – 逆マグネトロン & ピラニ
  • 5 x 10-9 mbarから大気圧という広い計測範囲
  • フィラメントの破損はありません
  • 優れた点火特性
  • 清掃が簡単
  • FPM または金属でシールされたフィードスルー
  • 高電圧用のLEDインジケータ
  • 対数アナログ出力信号

標準的なアプリケーション

  • 高真空圧の監視
  • 蒸着およびスパッタリングシステム用到達圧力
  • 一般的な真空計測と中から高まで真空範囲のコントロール

ニュース

MAG400 シリーズは、  PTR 90 真空 トランスミッターと直接交換が可能です
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

仕様

タイプ MPG400 FPM sealed
精度 (N2)  
1 x 10-8 ~ 100 mbar % of reading ≈±30%
再現性  
1 x 10-8 ~ 100 mbar % of reading ≈±5%
取付け方向 any
許容圧力 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases)
許容温度  
使用温度 (周囲) °C +5 … +55
保存 °C –40 … +65
ベークアウト (1) °C 150
フィラメント温度 (ピラニ) °C 120
供給電圧  
ゲージ位置 V (dc) +15 … +30
最大ケーブル長の供給ユニット (2) V (dc) +16 … +30
リップル V (p-p) ≤1
消費電力 W ≤2
接続するヒューズ AT ≤1
出力信号 (測定信号)  
電圧範囲 V 0 … +10.5
測定範囲 V +1.82 … +8.6
電圧と圧力の関係 logarithmic, 0.6 volts per decade
エラー信号  
電源供給なし V <0.5
ピラニセンサー、フィラメント断線 V >9.5
出力インピーダンス 2 x 10
最小負荷時インピーダンス kΩ 10, short-circuit proof
応答時間  
p > 10-6 mbar ms <10
p = 10-8 mbar ms ≈1000
ゲージ識別 85, referenced to supply common
ステータス  
ピラニ専用モード V 0 (low)
ピラニ / 冷陰極複合モード V 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on
電気接続 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
センサーケーブル 8 poles plus shielding
ケーブル長 m ≤50 (8 x 0.14 mm2)
動作電圧 kV ≤3.3
動作電流 µA ≤500
接ガス材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
内部容積 cm³ ≈20
重量  
DN 25 ISO-KF g ≈700
DN 40 ISO-KF g ≈720
DN 40 CF-F g ≈980
保護カテゴリ IP 40
標準  
CE 適合 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 電子部品および磁気遮蔽なし。

2) 電源装置の最小電圧は、センサーケーブルの長さに比例して増加させてください。

部品番号

MPG400 FPM sealed
部品番号 品目
351-010 MPG400 DN25KF
351-011 MPG400 FPM シールド、DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 DN 40 CF-F
351-998 MPG400 REPAIR SET
351-995 MxG40x/50x IGNITER SET(10pcs)
351-994 TOOL FOR IGNITER SETTING
351-999 MPG400 MAINTENANCE SET
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF

アクセサリ

MPG400 FPM sealed
部品番号 品目
351-023 磁気シールド
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