直線状モーションフィードスルー CF

INFICONの広範囲にわたるメカニカルフィードスルーは、コーティングチャンバや研究室レベルの応用研究プロジェクトなどの、要求が厳しいすべての用途に適したデバイスです。

利用可能なフランジデザインISO-KF / ISO-KおよびCFが当社のフィッティングラインに対応しています。すべてのフィードスルーは、リーク率1 x 10-9 mbar l/sまでの真空システムに対応しています。UHVについては、全金属設計のフィードスルーも利用可能です。

利点

  • さらに厳しい要求事項を満たしたベロー
  • ダイレクト プッシュ/プル アクチュエーション
  • ねじマイクロメータによる高精度調整
  • 2011/65/EU RoHS 準拠
  • Linear Motion Feedthroughs CF

仕様

タイプ FPU016-H FPU040-H FPU016-Z FPU040-Z
真空接続 DN 16 CF-R DN 40 CF-R DN 16 CF-R DN 40 CF-R
フィードスルー/シール bellow bellow bellow bellow
シャフト接続 M4x16mm M6x10mm, Ø10mm M4x16mm M6x10mm, Ø10mm
アクチュエータ manual manual micrometer screw micrometer screw
移動量 mm 25 50 20 50
1回転移動量 mm ­ ­ 0.5 1
目盛分割 mm 5 10 0.01 0.005
シャフトロード        
最大半径方向力 N 20 100 20 100
軸方向力真空 N 85 140 185 440
大気圧に対する軸方向力 N 100 200 200 500
ねじりトルク N•m 0.2 0.5 0.2 0.5
リーク量 mbar•L/s 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11
圧力 (絶対圧) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
ベークアウト温度        
フィードスルー °C 300 300 300 300
ねじマイクロメーター °C ­ ­ 100 100
接ガス材料 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
重量 kg 0.15 0.75 0.25 1

部品番号

FPU016-H
部品番号 品目
214-330 FPU016-H Linear feedthrough DN 16 CF-R
FPU040-H
部品番号 品目
214-332 FPU040-H Linear feedthrough DN 40 CF-R
FPU016-Z
部品番号 品目
214-334 FPU016-Z Linear feedthrough DN 16 CF-R
FPU040-Z
部品番号 品目
214-336 FPU040-Z Linear feedthrough DN 40 CF-R
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