IQM-233薄膜蒸着コントローラーPCI-Expressカード

PCI EXPRESSカードによる低コストの蒸着コントロール

IQM-233 PCI Expressカードを使えば、PCを薄膜蒸着コントローラーにすることができます。これはINFICONの設計製造による製品で、システムOEMにとっての、または薄膜蒸着コントローラを既存のPCまたはPLCコントロールシステムに組み込む場合の、理想的な選択です。取り付けは簡単で、使用していないPCI Expressスロットに装着するだけです。IQM-233は標準または小型フォームファクタのタワーPCで利用できます。

比類のない機能
IQM-233では、カードごとに、3つのQCMセンサ入力と3つのソース出力があります。1台のPCには2枚までIQM-233カードを取り付けることができるので、(オプションのIQS-233ソフトウェアが必要)、最大6つのセンサ入力と6つのソース出力を扱えます。PCに完全統合されたQCMコントローラでこのレベルの柔軟性を提供しているのは、INFICONだけです。

IQM-233はINFICONの発振器IPN 782-900-010と互換性があるので、SQM-242カードと交換する場合でも新しい発振器は必要ありません。また、INFICONのすべてのシングルおよびデュアルセンサヘッドとも互換性があります。

適切なソフトウェアソリューションを選択する
IQM-233カードには、1枚のIQM-233カードをセットアップし、シンプルなシーケンシャルまたは共蒸着プロセスをコントロールするための、基本的なWindows®ソフトウェアが含まれています。オプションのIQS-233共蒸着Windows®ソフトウェアを使えば、さらに複雑なプロセスのセットアップが可能です。これには、マルチレイヤーの共蒸着、グラフ化、およびイベント選択可能なリレー/入力機能とのPLC統合が含まれています。IQS-233ソフトウェアでは、2枚までのIQM-233カードを使用できます。

IQM-233には、独自のソフトウェアを作成することを希望されるお客様向けに、LabVIEW™サンプルプログラムが含まれています。これは、基本的な機能を提供し、プログラミングテクニックの例を示すためのものです。


機能

  • PCI Express
  • 3センサー入力、3コントロール出力
  • 複数のカードをPCに取り付け
  • 複数ソースの共蒸着
  • I/O機能を追加するためのPLC統合が容易
  • 使いやすい
  • 価値ある価格

仕様

タイプ IQM-233
PCインターフェース PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
センサー入力と性能  
センサー入力 3
コネクター SMA - Includes one SMA/BNC adapter
周波数分解能 (1) ±0.10 Hz @ 6 MHz
測定頻度範囲 Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
厚さおよび速度分解能/測定(2) ±0.12 Å
測定間隔 0.1 to 2.0 s (adjustable)
出力  
ソース出力 3
コネクター 15-pin high density D-sub
信号 0 to +/- 10 V (dc)
分解能 15 Bit Plus Sign
インピーダンス 50 Ω
(1) 0.25秒の測定間隔を実現するための分解能
(2)Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.25 秒

部品番号

IQM-233
部品番号 品目
782-IQM-233-G1 IQM-233 QCMコントローラーカード、標準PCI Expressスロット用
782-IQM-233-G2 IQM-233 QCMコントローラーカード、小フォームファクター (SFF) PCI Expressスロット用
782-IQS-233 IQS-233共蒸着ソフトウェア

アクセサリ

名前 説明
前面搭載シングルセンサー 前面搭載シングルセンサー
前面搭載デュアルセンサー 前面搭載デュアルセンサー
Cool Drawerシングルセンサー Cool Drawerシングルセンサー
Cool Drawerデュアルセンサー Cool Drawerデュアルセンサー
低プロファイルデュアルセンサー 低プロファイルデュアルセンサー
UHVベーク可能センサー UHVベーク可能センサー
スパッタリングセンサー スパッタリングセンサー
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
部品番号 品目
Oscillator kits (発振器およびケーブルを含む)
783-500-109-10 3 m (10 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、3 m (10 ft.) BNCケーブル
783-500-109-25 7.6 m (25 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、7.6 m (25 ft.) BNCケーブル
783-500-109-50 15.2 m (50 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、15.2 m (50 ft.) BNCケーブル
783-500-109-75 22.8 m (75 ft.) 発振器キット - OSC-100発振器、15.2 cm (6 in.) BNCケーブル、22.8 m (75 ft.) BNCケーブル
Oscillator Only (ケーブルは含まない)
783-500-013 OSC-100 発振器のみ (ケーブルなし)
Cables
600-1441-P1 IQM-233センサー入力用SMA - BNC アダプター
782-902-011 15.2 cm (6 in.) BNC ケーブル、オス/メス
782-902-012-10 3 m (10 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-25 7.6 m (25 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-50 15.2 m (50 ft.) BNCケーブル、オス/メス
782-902-012-75 22.8 m (75 ft.) BNCケーブル、オス/メス

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子
友人へ送信


関連製品