IC6薄膜蒸着コントローラー

優れた再現性

多機能なIC6は最高精度の測定を実現する

IC6薄膜蒸着コントローラは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラの性能と、蒸着プロセスを最大限に活用できるように設計されたユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。IC6は、当社のModeLock周波数計測システムを使用して、1/10秒ごとに0.00433 Å/sという業界トップの分解能を持つ、安定した高分解能の蒸着速度および膜厚計測を実現します。IC6と同等の優れた再現性を可能にする性能、品質、機能は、他のどの水晶振動子コントローラーにもありません。

機能

  • INFICONのModeLock技術は最も安定であり、非常に低い蒸着速度であっても最高の分解能と膜厚計測を可能にします。
  • 自動Zは、材料の蒸着が進むとともにZ比率を自動的に決定し、膜厚の精度を向上させる
  • 最大6つの蒸着源からの同時蒸着
  • カラーTFT LCDディスプレイがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
  • 100msサンプルで±0.0035 Hz
  • スクリーンショット、処方の保存、データログ用のUSBデータストレージ
  • シンプルまたは複雑なシステムに統合できる柔軟性を持ち (拡張可能な入力 (28)と出力(リレー24、TTL出力14)) 、論理関数を使用できる (100論理命令文) 強力なI/O
  • 標準で6基のDAC出力 (オプションで6基追加) により、ソースコントロール、蒸着速度、または膜厚監視を行える
  • 200レイヤーのプロセスを最大50まで対応、最大10,000レイヤーまでプロセスのリンクが可能
  • 8センサーまでの複数センサーを平均化
  • 4メートルのXIUオプションは、大規模システム用に、長い真空内センサーケーブルの使用を可能にする
  • オプションのイーサーネット通信機能
  • Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
  • RoHSコンプライアント

標準的なアプリケーション

  • ハイエンドのオプティカルコーティング

仕様

タイプ IC6
測定性能  
周波数分解能 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚さおよび速度分解能/測定(1) ±0.00433 Å
測定頻度範囲 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚み精度 (2) 0.5%
測定間隔 0.10 s
複数測定の平均化 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
デザインの特徴  
オートZ yes
Autotone yes
共蒸着 yes (up to 6 sources)
プロセス処方・データ管理  
材料プログラム 32
プロセスレイヤー (プロセスごと) 200
プロセス 50 (processes can be linked together)
USBメモリー yes
データロギング yes
ハードウェアの特徴  
センサー (3)  
単一 8
デュアル/CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
汎用 8
ソースコントロール  
ソース数 (4) up to 6
ソースコントロール電圧 0 to +/-10 V, adjustable
出力分解能 15 bits over full range (0 to 10V)
クルーシブル位置 64
入力/出力  
入力 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
出力 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
レコーダー出力(4) 0 to +10 V, adjustable
論理文 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信  
標準 RS232
オプション Ethernet
表示部  
膜厚分解能

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

蒸着速度分解能

0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

動作  
電源の要件

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

動作温度 0 to 50 C (32 to 122 F)
寸法、マウント除外 (高さx幅x奥行き) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量 23 lbs (10.5 kg)

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz

(2) プロセスによって変動する場合があります。数字は通常の精度を示しています。

(3) 各タイプの最大構成

(4) IC6には、6個の DAC出力基準があり、さらに6個をオプションとして追加できます。  12のうちいずれもソース制御電圧または

IC6_OrderChart_2018_web.png

アクセサリ

名前 説明
前面搭載シングルセンサー 前面搭載シングルセンサー
前面搭載デュアルセンサー 前面搭載デュアルセンサー
Cool Drawerシングルセンサー Cool Drawerシングルセンサー
Cool Drawerデュアルセンサー Cool Drawerデュアルセンサー
低プロファイルデュアルセンサー 低プロファイルデュアルセンサー
UHVベーク可能センサー UHVベーク可能センサー
ALDセンサー ALDセンサー
スパッタリングセンサー スパッタリングセンサー
CrystalSix®センサー CrystalSix®センサー
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Crystal 12®センサー Crystal 12®センサー
RSH-600 回転式センサー RSH-600 回転式センサー
部品番号 品目
755-262-G1 ハンドヘルド電源コントローラー (手動電源コントロール用)
779-220-G1 CrystalTwoスイッチ、15.2 cm(6 in.)BNCケーブル
779-220-G2 CrystalTwoスイッチ、50.8 cm(20 in.)BNCケーブル
Oscillator kits (発振器およびケーブルを含む)
781-611-G15 XIU PKG、4.6 m (15 ft.) ケーブル - Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-611-G30 XIU PKG、9.1 m (30 ft.) ケーブル - Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-611-G50 XIU PKG、15.2 m (50 ft.) ケーブル - Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-611-G100 XIU PKG、30.5 m (100 ft.) ケーブル - Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-612-G15 4m XIU PKGおよび4.6 m (15 ft.) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-612-G30 4m XIU PKGおよび9.1 m (30 ft.) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-612-G50 4 m XIU PKGおよび15.2 m (50 ft.) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-612-G100 4m XIU、30.5 m (100 ft.) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-613-G15 4m XIU PKGおよび4.6 m (15 ft.) XIUケーブル- 3.5 m真空中ケーブルと20インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-613-G30 4m XIU PKGおよび9.1 m (30 ft.) XIUケーブル- 3.5 m真空中ケーブルと20インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-613-G50 4m XIU PKGおよび15.2 m (50 ft.) XIUケーブル- 3.5 m真空中ケーブルと20インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
781-613-G100 4m XIU PKGおよび30.5 m (100 ft.) XIUケーブル- 3.5 m真空中ケーブルと20インチBNC (XIUからフィードスルー) ケーブル付属- Cygnus 2、IC6、またはXTC/3での使用向け
Oscillator Only (ケーブルは含まない)
781-600-G1 XIU (発振器) - センサーヘッドケーブル長15~183 cm (6~72 in.) のXIU - Cygnus 2、IC6、またはXTC/3と使用
781-600-G2 XIU (発振器) - センサーヘッドケーブル長3~4 m (118~157 in.) - Cygnus 2またはIC6と使用
Cables
600-1261-P100 30.5m (100 ft.) ケーブル、Cygnus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー
600-1261-P15 4.6 m (15 ft.) ケーブル、Cgynus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー
600-1261-P30 9.1 m (30 ft.) ケーブル、Cgynus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー
600-1261-P50 15.2 m (50 ft.) ケーブル、Cgynus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー
755-257-G6 15.2 cm (6 in.) BNC ケーブル、真空フィードスルーへのXIU
Configuration Editor Software
781-620-G1 IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子
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