高真空計用HPG400 ATM

 

INFICONの高圧熱陰極ピラニゲージ、HPG400は、高圧熱陰極とピラニセンサを1台のコンパクトで経済的なパッケージにまとめ、2×10-6 mbar~大気圧(1.5×10-6 Torr~大気圧)までの圧力を計測できます。HPG400は正確なスパッタリングプロセス圧力コントロールを行うために、繰り返しおよび再現可能な圧力計測を提供します。

利点

  • HPG400はコストとスペースを節約し、真空計測システムの取り付けとセットアップのる複雑さを軽減
  • 高圧熱陰極電離ゲージは、1×10-5 … 1 mbarまでの圧力を、向上したプロセスコントロールによって計測し、正確で信頼できる結果を達成
  • 5×10-2と1 mbarの間でユーザーが選べる熱陰極電離放出のアクチベーション
  • ピラニインターロック機構により、熱フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
  • オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
  • 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 半導体製造、電子部品、メディア産業におけるスパッタ装置
  • 工業用コーティング
  • 一般的な真空計測と低真空から高真空領域のコントロール
  • HPG400 High Pressure Ionisation Gauge

仕様

タイプ HPG400
測定範囲 (Air、N2) 2×10-6 … 1000
精度  
10-5 ~ 1 mbar % of reading ±15 (1)
再現性  
10-5 ~ 10-1 mbar % of reading 2
10-1 ~ 100 mbar % of reading 30
熱陰極エミッションのアクチベーション、選択可能:  
オプション 1 mbar 1
オプション 2 mbar 5×10-1
オプション 3 mbar 2×10-1
オプション 4 mbar 1×10-1
オプション 5 mbar 5×10-2
最大圧力 bar (absolute) 2
温度  
使用温度 (周囲) °C 0 … +50
保存 °C -20 … +70
ベークアウト (フランジにおいて) °C 80
ベークアウト(電子ユニットなし) °C 150
供給電圧 20 … 28
アナログ出力信号  
出力信号 V 0 … +10.2
測定範囲 熱陰極 V 1.5 … 7.5
測定範囲 ピラニ V 8.5 … 9.75
電圧と圧力の関係 熱陰極 volts per decade 1
電圧と圧力の関係(ピラニ) volts per decade 0.25
エラー信号 熱陰極 V 0.3
エラー信号 (ピラニ) V 0.5
最小負荷インピーダンス kΩ 10
インターフェース (デジタル) (2) RS232C
電気接続 D-Sub, 15-pin, male
ケーブル長、最大 (3) m (ft.) 100 (330)
接ガス材質 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容積 KF / CF cm³ (in.³) 20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF g 430 / 695
保護クラス IP30
DeviceNet™  
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only
データレートスイッチ kBaud 125, 250, 500 or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
ネットワークサイズ up to 64 nodes per segment
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
ビジュアルコミュニケーションインジケーター LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
デバイスタイプ ''CG'' for combination gauge
I/O スレーブメッセージング polling only
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: レンジ mbar 2×10-6 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
DeviceNet™ 用供給電圧 11 … 25
ゲージ用供給電圧 V (dc) 20 … 28
DeviceNet™ 用コネクタ Microstyle, 5-pin
HPG 用コネクタ(アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
デジタル機能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
アナログ機能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
セットポイントリレー: セットポイント数 2
セットポイントリレー: 範囲 mbar 2×10-6 … 100
セットポイントリレー: リレー接点 n.o., potential free
セットポイントリレー: ヒステリシス % of reading 10
セットポイントリレー: 接点定格 60
Profibus DP 用コネクタ D-Sub, 9-pin, female
HPG 用コネクター (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-Sub, 15-pin, male

(1) 選択された熱イオン放射開始値に対し、10-5 mbarからの精度

(2) RS232CまたはVGC40xシリーズコントローラと、フィールドバスの同時使用は不可

(3) RS232Cでの使用の場合、30m未満

部品番号

HPG400
部品番号 品目
353-520 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus、DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

アクセサリ

HPG400
部品番号 品目
211-113 Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511 Power supply BPG400 24VDC
357-499 Baffle HPG (10 pieces)

スペア部品

HPG400
部品番号 品目
354-487 スペア センサヘッド HPG400、DN 25 ISO-KF
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F
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