UL1000 Fab - ヘリウムリーク検査機(ドライ型)

 

ULTRATEST™ センサー テクノロジー

 

産業用真空および半導体製造におけるドライ型ヘリウムリーク検査の標準機  

 

‐INFICON UL1000 Fab ヘリウムリーク検査機は、産業用あるいは半導体の分野においてはよく知られている標準です。-  

 

検査される部品や装置が炭素、水素化合物あるいは粒子等による汚染の可能性は内臓のドライ ポンプ テクノロジーによって排除されます。

UL1000 Fabは、高い性能、比類のない堅牢さと価格のお求めやすさの最高の両立を提供します。

次に最先端の10-13Pa·m3/secの検知限界を、合理的に短いポンプダウンとレスポンス時間と合わせて提供します。

コンパクトな設計は高い操作性を実現し、限られたスペースでもメンテナンス箇所への簡単なアクセスを可能にしています。選択できるバックグラウンド抑制機能(iZERO)は既存のバックグランドレベルよりも更に2桁低いレベルでの継続的なリーク検査を可能にしています。 

 

あらゆる機能によりリークテスト検査時間を短縮し、同時に全てのリークテストに係るコストを低減します。

利点

  • 速いポンプダウンとレスポンス時間によりリークテスト検査の手間を最小限に低限
  • 選択可能なバックグラウンド抑制機能(iZERO) を用いて、複数回のリークテストが不要
  • 高い操作性の設計により、限られたスペースでのメンテナンス箇所への簡単なアクセスを可能
  • 堅牢なダブルホットフィラメントイオンソース(3年間保証)と逆拡散方式システムにより総コスト(TCO)を削減
  • 回転式のディプレイ、視覚および聴覚によるリーク量表示、そしてオプションのハンドリモコン操作による簡易操作を実現
  • 自動校正機能を備えた内部校正器により安心な保守費用

標準的なアプリケーション

  • クリーンルーム内における医療用、産業用機器製造
  • 各種精密電子部品、溶接部品の製造と品質管理
  • 真空装置等のメンテナンス作業
  • プロセス ガス 用ユニットシステムの配管と点検および設置
  • 半導体、フラットパネル ディスプレイあるいはソーラーセル製造

仕様

タイプ Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
ヘリウム最小検知可能リークレート(真空モード) mbar•L/s

< 5 • 10-12

ヘリウム最小検知可能リークレート(スニファー・モード) mbar•L/s

< 5·10-8

最大吸入口圧力 GROSSモード mbar 15
最大吸入口圧力 FINE モード mbar 2
最大吸入口圧力 ULTRA モード mbar 0.4
真空排気中の排気速度 m³/h 25 at 50 Hz
ヘリウム排気速度 GROSS モード L/s max. 8
ヘリウム排気速度 FINE モード L/s 7
ヘリウム排気速度 ULTRA モード L/s 2.5
検知可能質量 2,3,4 amu
質量分析計のセクターフィールド 180°
イオンソースフィラメント/イットリアコート・イリジウム 2
内部校正リーク mbar•L/s

∼ 10-7

テストポート DN 25 KF 1
調節可能トリガ

2

インターフェース RS 232
チャートリコーダー出力 V 2 x10
入出力 PLC compatible
許容周囲温度 (操作時) °C +10 to +40
質量 110
寸法 (l x w x h) 1050 x 472 x 987
Tensión conexión (EU) V (ac) 230 (± 10 %) 50 Hz
Tensión conexión (US) V (ac) 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
消費電力 (typ.) VA 1100
消費電力 (typ.) VA 1100

部品番号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
部品番号 品目
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A UL1000 Fab、100/115V AC、US電源プラグ

アクセサリ

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
部品番号 品目
14005 SL200、スニファープローブ(UL1000/5000/Modul1000用、4m)
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000 Tool box UL1000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002 ESD Mat for UL1000/5000
551-005 Test Chamber TC1000 for UL1000
551-010 リモートコントロール RC1000C、有線式(4m コイルケーブル付き)
551-015 リモートコントロール RC1000WL、無線式(無線トランスミッター付き)
551-020 Wireless transmitter for RC1000WL
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