Guardian™ EIESコントローラー

8種類までの材料を同時に蒸着

CIGS薄膜に理想的

Guardianは蒸着率を0.1から10,000 Å/sまでコントロールすることができます。1基または2基のセンサの操作、光入力x8まで、および蒸着ソースx8のコントロールを行い、最高8種類までの材料の同時蒸着を可能にします。

INFICON Guardianは光電池モジュール、OLED、光電池、超電導薄膜、およびMBEの製造といった利用分野に理想的です。

Guardian同時蒸着システムは、電子衝突放出スペクトロスコピー(EIES)をベースにしています。蒸着されている材料は熱電子放出によって励起される結果として、光子が生成されます。発生した光は光学フィルターから、通過する波長の発光強度を測る光電子倍増管(PMT)に通されます。次にINFICON Guardianコントローラは材料のソースをコントロールするための信号を発生させます。複数の材料に対応させる場合には、追加のディテクタを適切な光学フィルタとともに使用します。

完全なGuardianシステムは、少なくとも1基のセンサ、1基のPMTディテクタ、光学フィルタ、Guardianコントローラユニット、GuardianソフトウェアをインストールしたPC (ユーザ側で用意) から構成されます。EIESは全般的に複数の材料の蒸着をコントロールするのに使われるので、ほとんどのEIESシステムは追加のセンサ、ディテクタ、ビームスプリッターなどの光学部品、および校正またはいくつかの材料の蒸着率をコントロールするためのQCMを含みます。典型的なシステムの詳細については、下の[Downloads]タブで入手できる、『Guardian Configuration Guide』を参照してください。

Guardian同時蒸着システムを構成する際には、次の点について考慮してください。
蒸着材料の主要な放射波長と二次的な放射波長は?

異なる原材料のピークがかなり近い場合には、より信号強度が低い第二の波長を監視する必要があります。

蒸着プロセスにおいて、真空チャンバにはどのような背景ガスが存在しているか、またそれらのガスの放射波長は?

背景ガスからの放射が蒸着材料の放射と干渉する場合には、ガス補償センサの使用をお勧めします。

EIESは、原子種のスペクトル構成が他のスペクトルとはっきり異なっている場合に、最も効果的です。不安定または広帯域の発光スペクトルを発生する分子種は正確に測れません。EIESは有機材料には不適切です。これらと他の要素は、各特定作業につき最善のEIESシステム構成を確定します。

機能

  • 8種類までの材料の蒸着を監視およびコントロール
  • 蒸着速度0.1~10,000Å/秒
  • EIESとQCM薄膜プロセスコントロールを統合
  • リレー出力12とデジタル入力12
  • セットアップと操作はWindowsベースのソフトウェアで行える
  • INFICON Sentinel®センサーと互換

仕様

タイプ Guardian EIES Controller
センサー  
動作圧力 <5x10-4 Torr
温度 450° C maximum during operation and/or bakeout
サイズ (近似値) 0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
フィラメント寿命 (典型) ~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
センサー-フィードスルーのリンク Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
フィードスルー/フランジ One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)
ディテクター  
光電子増倍管 (PMT) Hamamatsu R7518 or equivalent
スペクトル応答 185 to 730 nm
検出限界 Better than 5 fW of optical input power
PMTゲイン 103 to 107 (detectors are independently adjustable)
出力分解能 20-bit
オプチカル入力ポート Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
サイズ 2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
コントローラー  
センサー

016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in.

016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.

ディテクター Eight optical detector channels
コントロール出力 Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
デジタルI/O 12 relay outputs and 12 logic inputs
電源 100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
サイズ 19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
コンプライアンス CE
ユーザーインターフェースソフトウェア: Windows®-based setup program included with Controller
蒸着速度表示ソフトウェア: 4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 Å/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
膜厚を表示するソフトウェア: 4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 KÅ
ユーザーが用意するコンピューター: Any PC with Windows® Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface

部品番号

Guardian EIES Controller
部品番号 品目
782-900-031 1台用Guardianコントローラー (標準またはガス補正)
782-900-050 2台用Guardianコントローラー (標準またはガス補正)

アクセサリ

部品番号 品目
EIES Sensors
016-600-G22 Standard EIES Sensor, 22 in.
016-601-G22 ガーディアンガス補償センサーおよびフィードスルーアセンブリー、22インチ (539 mm) 、CF40フランジ
Beam Splitters ファイバー光ビームスプリッターは、センサーからの光ビームを分割して、EIESセンサーごとに、複数の材料を測定できるようにします。
782-900-034 Guardianファイバーオプティックビームスプリッター (1:3) - 400 mm長
782-900-034-x-yyy Guardianファイバーオプティックビームスプリッター (1:x) - yyy mm長
Filament Cables EIESセンサーからGuradianコントローラーへの接続
600-1406-P10 Guardianシングルフィラメントケーブル、10フィート (3 m) - 標準EIESセンサー用
600-1406-P40 Guardianシングルフィラメントケーブル、40フィート (12 m) - 標準EIESセンサー用
600-1407-P10 Guardianデュアルケーブル、10フィート (3 m) - ガス補正EIESセンサー用
600-1407-P40 Guardianデュアルケーブル、40フィート (12 m) - ガス補正EIESセンサー用
PMT Detector
782-900-030 Guardian PMTディテクター
PMT Detector Cables PMTディテクターからGuradianコントローラーへの接続
782-505-065 Guardianディテクターケーブル10フィート (3 m)
782-505-065-40 Guardianディテクターケーブル40フィート (12 m)
Optical Filters 材料に適した波長を選択してください
782-900-035-202 Optical Filter, 202 nm, Guardian
782-900-035-241 Optical Filter, 241 nm, Guardian
782-900-035-252 Optical Filter, 252 nm, Guardian
782-900-035-265 Optical Filter, 265 nm, Guardian
782-900-035-267 Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294 Optical Filter, 294 nm, Guardian
782-900-035-304 Optical Filter, 304 nm, Guardian
782-900-035-325 Optical Filter, 325 nm, Guardian
782-900-035-358 Optical Filter, 358 nm, Guardian
782-900-035-364 Optical Filter, 364 nm, Guardian
782-900-035-396 Optical Filter, 396 nm, Guardian
782-900-035-417 Optical Filter, 417 nm, Guardian
782-900-035-451 Optical Filter, 451 nm, Guardian
782-900-070 Guardianモノクロメーター キット

スペア部品

部品番号 品目
016-201-G1 016-600-Gxxおよび-601-Gxxで使用されているすべての016-400-Gxセンサー用のエミッターアセンブリー
782-900-038 Photomultiplier Tube, Guardian
016-509-G22 In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor
782-530-015 Guardianセンサーフィラメント交換部品 (廃番782-900-029および-052センサー向け)
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