前面搭載デュアルセンサー

INFICONの前面搭載型デュアル振動子センサは、実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。デュアルセンサは振動子のバックアップを提供します。これは真空チャンバ内に2個目の振動子があることが望ましい、重要なプロセスには不可欠です。

前面搭載デザインにより、横からの挿入のスペースが十分でない用途においても、振動子ホルダの挿入が容易です。ハンダ付けではなく機械的に組み立てられているため、必要なら現場で容易に部品を交換することができます。センサーは単品で注文するか、溶接または圧力継手によって組み立てられたセンサー/フィードスルーの組合せとして注文できます。

機能

  • デュアル振動子
  • 振動子シャッター
  • 前面搭載振動子ホルダー
  • 取り付けが容易
  • 2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルーおよびCF40フィードスルーとともに利用可能
  • 圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
  • 圧力継手または溶接で組み合わせたフィードスルーと共に注文すればろう付けが不要
  • お客様指定の長さに溶接済みのセンサー/フィードスルーの組合せあり

仕様

タイプ Front Load Dual Sensor
水なしでの最高ベークアウト温度 130° C
最小水流での最大動作等温環境温度 400 ° C
サイズ (シャッターを除く最大外形) 1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
水チューブと同軸の長さ、"E"センサー Standard 30 in. (762 mm)
振動子交換 Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
マウンティング Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
設置の要件  
フィードスルー

Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or

Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

その他

1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

ユーティリティ

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

水量 Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
材料  
本体およびホルダー 304 Type stainless steel
スプリング Au plated Be-Cu
水チューブ S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
コネクター (Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
絶縁体 >99% Al2O3
ワイヤー Teflon insulated copper
他の機械部品 304 or 18-8 stainless steel
ろう付け Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
振動子 0.550 in. (13.97 mm) diameter
フィードスルー仕様1インチボルトとUltra-Torr (圧力継手) 端末部:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
マウンティング 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
フィードスルー仕様CF 40 (2 3/4インチConFlat) 溶接末端:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
マウンティング Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

アクセサリ

名前 説明
QCMセンサーフィードスルー QCMセンサーフィードスルー
Front Load Dual Sensor
部品番号 品目
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

Front Load Dual Sensor
部品番号 品目
007-007 固定器具スプリング (振動子保持用)
007-023 セラミック固定器具
080-018 セットねじ (メス同軸用)
082-044 テフロンねじ (リーフスプリング用)
750-115-P4 カップリング (ベローズアセンブリーに取り付ける)
750-169-P2 ベローズアセンブリー (カップリングは付属しない)
750-171-P1 フィンガースプリング接点
750-172-G1 振動子ホルダー (固定スプリング含む)
750-174-P2 メス同軸
750-175-P1 絶縁体 (リーフスプリングの下)
750-188-P3 リーフスプリング
008-007 Crystal Snatcher
750-210-G1 シャッターモジュール (ベローズアセンブリー、シャフトアセンブリー、およびシャッターアセンブリー)
750-215-G1 シャフトアセンブリー (シャッターモジュールの一部)
750-216-G1 シャッターアセンブリー (シャッターモジュールの一部)
In-vacuum cables
321-039-G12 真空内ケーブル、15.2 cm (6 in.)
007-252 真空内ケーブル、30.5 cm (12 in.)
321-039-G11 真空内ケーブル、61.0 cm (24 in.)
007-044 真空内ケーブル、78.1 cm (30.75 in.)
007-059 真空内ケーブル、91.4 cm (36 in.)
007-061 真空内ケーブル、121.9 cm (48 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G13 真空内ケーブル、154.2 cm (60 in.) - ModeLockコントローラーが必要
321-039-G14 真空内ケーブル、182.9 cm (72 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G15 真空内ケーブル、3.5 m (137.8 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
321-039-G16 真空内ケーブル、4 m (157.5 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
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