UHVベーク可能センサー

INFICONのUHVベーク可能振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。304ステンレススチール、モリブデン、インコネル、ニッケル、アルミ素材で製作されたUHVベーク可能センサは、450° Cまでの連続ベークアウト温度に耐えられるようにデザインされています(ベークアウトのみ、実際の蒸着監視には流水が必要)。前面搭載デザインにより、横からの挿入のスペースが十分でない作業においても、振動子ホルダーの挿入が容易です。

機能

  • 高温ろう付けおよび溶接構造
  • ベークアウト温度は450° Cまで
  • 振動子シャッター (オプション)
  • 前面搭載振動子ホルダー
  • 取り付けが容易
  • CF40 フィードスルー
  • フィードスルーへのろう付けまたは溶接は不要
  • お客様指定の長さに溶接したセンサー/フィードスルーの組合せを提供

仕様

タイプ Bakeable Sensor w/ Shutter Bakeable Sensor w/out Shutter
最高温度 400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) 450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)
センサーヘッドサイズ (最大外形) 1.35 in. x 1.38 in. x 1.21 in. high (34 mm x 35 mm x 31 mm high 1.35 in. x 1.38 in. x 0.94 in. high (34 mm x 35 mm x 24 mm high)
振動子交換 Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange. Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact.
マウンティング

a) Standard—four #4-40 tapped holes on the back of the body

b) Optional—right angle bracket; IPN 007-108

Four #4-40 tapped holes on the back of the body
フィードスルー

2¾ in. ConFlat®, integral with sensor head

Water, air and coax tubes are semi-rigid, but easily formed (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius)

2¾ in. ConFlat, integral with sensor head

Water and coax tubes are semi-rigid, but easily formed. (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius)

ユーティリティ

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.)

2) Filtered, oil-free air, regulated at 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa]

3) Solenoid valve, 750-420-G1, 24 VAC or VDC, or equivalent valve required

Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.)
材料    
本体およびホルダー 304 type stainless steel 304 type stainless steel
スプリング Molybdenum and Inconel X-750 Molybdenum and Inconel X-750
水、空気および同軸ライン 0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax  
他の機械部品 18-8 or 304 stainless 18-8 or 304 stainless
絶縁体 >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere
ワイヤー

1) Ni (in vacuum)

2) Ni plated Cu (elsewhere)

1) Ni (in vacuum)

2) Ni plated Cu (elsewhere)

ろう付け Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
振動子 0.550 in. (13.97 mm) diameter 0.550 in. (13.97 mm) diameter
UHV PN.png

アクセサリ

部品番号 品目
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

部品番号 品目
007-007 固定器具スプリング (振動子保持用)
007-064 セラミック固定器具
007-094 Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095 Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098 メスコネクター (金輪とナット含む)
007-099 加熱可能ヘッドコンタクト
007-100 High Temperature BNC Insulator
007-103 Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104 High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147 Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-155 BRAZE ASM 12 IN. 206-804-G1
007-156 BRAZE ASM 20 IN 206-804-G2
007-157 BRAZE ASM 30 IN 206-804-G3
007-228 #4-40 X 5/8ねじ
007-267-P2 Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
008-007 Crystal Snatcher
059-0084 Gasket, Copper, Bakeable Sensor Actuator
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-069-P1 SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3 SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5 SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-022-G5 ACTR/AIR LINE 12 IN {CLEAN}
750-022-G6 ACTR/AIR LINE 20 IN {CLEAN}
750-022-G7 Actuator/Air Line 76.2 cm (30 in.),Clean
750-028-G5 BK XTAL SNS/FT/AIR 12 IN CLEAN
750-028-G6 BK XTAL SNS/FT/AIR 20 IN CLEAN
750-028-G7 BK XTAL SNS/FT/AIR 30 IN CLEAN
750-115-P4 カップリング (ベローズアセンブリーに取り付ける)
750-118-P4 ACT SUPPORT W/ DOWEL
750-120-G3 ASSY,SHAFT
750-216-G1 シャッターアセンブリー (シャッターモジュールの一部)
750-218-G1 振動子ホルダー
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