QCMセンサーフィードスルー


INFICONは、多様な水晶振動子モニタ(QCM)センサフィードスルーを提供しており、多くのQCMセンサとチャンバ構成に対応します。CF40 (2.75インチConFlat®)および 2.54 cm (1インチ)ボルトスタイルフィードスルーは、電気接続、水冷、空気チューブの多様な組み合わせで利用できます。INFICONフィードスルーはまた、Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティングを備えているため、設置とセンサー長の調整が容易です。要求に応じて他のフィードスルーのスタイル(KF40など)もご利用いただけます。フィードスルーの要件について、INFICONにご連絡ください。

記載のない限り、通常のフィードスルーの電気接続は大気側の同軸BNCコネクタと真空側のMicrodot®コネクタから構成されますこの電気接続のスタイルは、INFICON Front LoadシングルFront LoadデュアルSputteringCrystalSix、およびCrystal 12センサでの使用が想定されています。

注:フィードスルーの水と空気のチューブの外径は4.8 mm(3/16インチ)です。


次の表はセンサタイプごとのフィードスルーの要件と部品番号を記載した早見表です。

機能

  • 2.54 cm (1 in.) ボルトまたはCF40 (2.75 in. ConFlat®) スタイル入手可能
  • Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング入手可能
  • カスタムフィードスルー構成利用可能
  • 要求に応じて他のフィードスルースタイルも利用可能

部品番号

QCM Sensor Feedthroughs
部品番号 品目
2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs (VITON® Oリング付属)
002-042 1 in. ボルトフィードスルー、1 同軸、2 チューブ
750-030-G1 1 in. ボルトフィードスルー、1 同軸、3 チューブ
750-707-G1 1 in. ボルトフィードスルー、2 同軸、3 チューブ
750-624-G1 1 in. ボルトフィードスルー、1 同軸、2 チューブ
783-501-013 1 in. ボルトフィードスルー、1 同軸、2 チューブ、Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング
CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs (銅ガスケット付属)
002-043 CF40 フィードスルー、1 同軸、2 チューブ
750-685-G1 CF40 フィードスルー、1 同軸、3 チューブ
002-080 CF40 フィードスルー、2 同軸、3 チューブ
750-683-G1 CF40 フィードスルー、1 同軸、4 チューブ
206-878-G2 CF40 フィードスルー、1 同軸、2 チューブ、 Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング
750-685-G2 CF40 フィードスルー、1 同軸、3 チューブ、 Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング
206-890-G2 CF40 フィードスルー、2 同軸、3 チューブ、 Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング
KF40 Feedthroughs (VITON® Oリング付属)
130246 KF40 フィードスルー、1 同軸、2 チューブ
130239 KF40 フィードスルー、1 同軸、3 チューブ

アクセサリ

名前 説明
蝶ナット付きクランプリング 蝶ナット付きクランプリング
QCM Sensor Feedthroughs
部品番号 品目
782-902-022 Microdot® アダプターケーブルへのBNC、15.2 cm (6 in.)

スペア部品

QCM Sensor Feedthroughs
部品番号 品目
002-064 クアッドリングガスケット、VITON®、CF40
012-328 Gasket, Copper, CF40
070-0237 Oリング、VITON®, 2.54 cm (1 in.) ボルト
211-003 Clamping ring DN 32-40 ISO-KF
211-070 Centering ring DN 40 ISO-KF,SS/FPM
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