FabGuard® FDC

 

製造工程全体でプロセス固有


FabGuard FDCはオンラインの障害検出と分類(FDC)機能を融合し、製造エンジニアが事実上すべてのプロセスの状況や装置の調子を首尾よく分析するためのパワフルな装置となります。ウェハ損失の予防や予定外の装置ダウンタイムの抑制、歩留まり問題の改善には、これ以上に優れた機能を備えたシステムはありません。

ウェハのサイズや製品の寸法にかかわらず、生産力と競争力にとって重要なのはタイムリーな情報です。コストを抑制するようにとのますます高まる圧力のため、製造施設の生産性を最大化し、廃棄ウェハの数を減らし、装置を最大活用することが非常に重要となっています。FabGuardは、最先端の製造施設の生産性を維持する責任を負った統計学者とエンジニアの集合的な経験をまとめ上げることにより、今日の半導体製造の課題に立ち向かいます。FabGuardFDCは、スムーズな製造オペレーションにとってプロセスと装置の知識が何より重要だという原則に基づいて作られています。

 

*FDCを再定義する - FabGuard検出と分類*



FabGuard FDCは、チャンバ固有の実践的で詳細な知識から、製造施設全体の統計的なプロセスコントロールに至るあらゆるレベルで、FDCを管理することを可能にします。

FabGuardは、製造施設全体のFDCシステムの包括的な機能と、ツール特有のデータ分析能力を組み合わせて、プロセスの管理と装置のトラブルシューティングを可能にする、唯一のシステムです。確立された工場統計プロセスコントロール(SPC)手法を、リアルタイムの装置停止の利点を追加して、簡単にFabGuardにプログラムすることが可能です。不具合が検出されるとすぐに装置停止が働くため、ウェハ破損を格段に減らすことができます。FabGuardは、制御範囲を外れた状態が検出されると、問題のあるツールを即座に停止することによって応答します。


FabGuard FDCのエキスパートシステムはお客様のプロセスを学習して問題を認識する


SPCルールは、製品損失を防ぐ防御の最前線としてしばしば使用されています。FabGuardはさらに保護のレベルを追加します。訓練可能なエキスパートシステムです。製造施設のエンジニアは、新しい問題が生じたときFabGuardにそれを認識させ、次に生じたときには自動的に検出するように訓練できます。製造エンジニアの問題解決のノウハウは、どのツールを使っているか、どのチャンバで生じているかには関わりなく、あらゆるプロセスステップを監視する、FabGuardのレシピに簡単に変換できます。FabGuardエキスパートシステムをSPCベースのツール停止機能と並行して実行するなら、プロセスおよび装置エンジニアは、SPCの方法論では検出できないかもしれない問題を認識するよう、FabGuardを訓練することができます。FabGuardエキスパートシステムは、エンジニアリングのノウハウをFabGuardにプログラムして、ウェハの保護と障害検出のためのレベルを追加することを可能にします。

 

製造施設全体での保護


FabGuard FDCシステムは、あらゆるウェハ処理装置でリアルタイムの統計プロセス制御(SPC)が行えるよう、工場レベルで展開して維持することができます。単独のユーザインターフェースによってエンジニアは非常に柔軟で簡単に、装置とプロセスデータを分類、表示、分析することができるようになります。

  • 製造施設のエンジニアには、強力なツールベースのデータ可視化機能と、装置とプロセスの動作のあらゆる面を分析する機能が提供されます。
  • プロセスエンジニアは、装置の状態とウェハ出力の関係性をすぐに判断できます。
  • 装置エンジニアは、ツールの問題を素早く診断して、予定外のダウンタイムを減らすことができます。プロセス中のチャンバーを比較してマッチすることができます。


ツール、センサ、ゲージ の統合

 

適切なデータを適切なタイミングで収集することは、逸脱を検出してプロセスの特徴を分析する点で、 非常に重要です。FDC の分析と逸脱の監視に加えて、FabGuardは、 エンジニアが広い範囲の代替データソースからデータを収集するための統合プラットフォームとしての役割も果たします。 FabGuardのアーキテクチャにより、新しいセンサや ゲージを統合することも容易です。

 

  • SECS
  • OPC
  • 高速アナログデータ
  • INFICONのセンサ(RGA、 OES、RF/DCアーク検出)
  • サードパーティのセンサと ゲージ

 


スケーラビリティとサステナビリティ


データはアーカイブされ、分析結果はリレーショナルデータベースに保存されます。FabGuardはMicrosoft®SQL、PostgreSQLまたはOracle®データベースをサポートしています。1台のツールから、製造施設全体にわたる数百台のツールに容易に拡張できるツールベースのシステムにより、ハードウェアの冗長性は除去することができます。FDCエンジニアは、単一の使いやすいウェブベースのインターフェースを通して、すべての情報をソートし閲覧することができます。製造施設全体を通して一貫したフォーマットを使用することにより、学習曲線が改善され、異なるプロセスおよび装置グループ間での情報共有が促進されます。ユーザグループと装置環境の特定のニーズに合わせて、アラーム、レポート、装置停止の機能をを組み込むことができます。INFICONは、世界中のトップクラスの製造施設での経験を生かし、配備後すぐに投資が回収できるようなシステムのテンプレートを作り出しました。

リアルタイムのSPCとエキスパートシステムの機能というユニークな組み合わせにより、FabGuard FDCは、ウェハの損失を防ぎ、予定していない装置ダウンタイムを抑えられる、現在利用できる最も強力なシステムとなっています。

機能

  • プロセスコントロールの行程から行程をリアルタイムで分析し、不具合を見つけることによって、破損を減らし、プロセスコントロールを向上させます。
  • 装置とセンサーデータのシームレスな統合により、複数ソースからのデータを分析で利用することが可能
  • システムのタスクを設定してレポートを自動的に生成し、システムメンテナンスを実施することにより、システム管理の手間を大幅に削減
  • 全装置データにシングルユーザインターフェースがあることで学習曲線を軽減
  • 不具合を分類して問題にすばやく対応し、ダウンタイムを最小化
  • ツール/プロセスの健全性について全体的に把握することにより、予防メンテナンス担当者を手助け
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