Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar

 

INFICON Edgeキャパシタンスダイアフラムゲージは高精度の真空計で、過酷な製造環境でも使用できるよう設計されています。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。エッジには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが付いています。最新の電子機器は、すべてのアプリケーションに広範囲にわたって構成可能な信号条件付けと、オプションのEtherCATフィールドバスインターフェースが付いています。革新的な加熱コンセプトによって、タッチ面の冷却を可能にし、貴重なツールスペースを節約します。INFICON Edgeは、この種の中で最も小さい真空計です。

利点

  • コンパクトで、貴重なツールスペースを節約
  • 統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイント
  • 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
  • すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
  • 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
  • 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
  • CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  • CVD、エッチング、PVDと他の半導体製造プロセス
  • tina__e1 CDG045D2 Edge Massbild mit EtherCAT.png

仕様

タイプ 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 0.15
温度効果    
ゼロ点 percent FS/°C 0.0025 0.0025
計測スパン % of reading / °C 0.01 0.01
最大圧力 kPa (absolute) 400 260
分解能 percent FS 0.003 0.003
最小読み取り値 percent FS 0.01 0.01
推奨最小読み取り値 percent FS 0.05 0.05
推奨最小制御圧力 percent FS 0.5 0.5
温度    
センサー °C 45 45
使用温度 (周囲) °C +10 … +40 +10 … +40
ベークアウト (フランジにおいて) °C ≤110 ≤110
保存 °C –20 … +65 –20 … +65
供給電圧 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
消費電力    
暖気時 W ≤15 ≤15
運転時 W ≤10 ≤10
出力信号 (アナログ) V (dc) 0 … +10 0 … +10
応答時間 (2) ms 30 30
保護クラス IP 40 IP 40
標準    
CE 適合 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認証 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 準拠 SEMI S2 SEMI S2
電気接続 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
セットポイント    
セットポイント数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
リレー接点 ≤30 ≤30
ヒステリシス percent FS 1 1
診断ポート    
プロトコル RS232-C RS232-C
読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID
設定 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容積    
内部容積 1/2 in. チューブ cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量    
重量 1/2 in. チューブ g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
プロトコル EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信標準 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
データレート Kbps 100000 100000
ノードアドレス Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
デジタル機能読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID
デジタル機能設定 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
プロセスデータ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
メールボックス (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT コネクター RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1)非リニア、ヒステリシス、再現性@25°Cの周囲動作温度、2時間の運転後に周囲動作温度は影響しない。

(2) 10 … 90パーセントのFS増加  

(3)圧力制御タイプのみ

(4) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

CDG045D2 Edge PIM Ordering Information.png
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