Easy Rate Single Sensor

Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。初期投資と総所有コストも最小なので、生産コストも最小限に抑えられます。現場で簡単に交換できる部品を使用している、信頼性の高いセンサです。

膜厚監視の最もコスト効率のよいソリューションを提供する、 INFICON Easy Rateシングルセンサは、標準と直角向きのものが利用可能です。また、標準チューブフィッティング付き、またはなしのフィードスルーを含めるように構成できます。

注:Easy Rateシングルセンサは外径4.8 mm (3/16 in.) の水冷却チューブを使用します。  Ultra-Torr装備フィードスルーとは互換性がありません。外径 4.8 mm (3/16インチ)水冷却チューブで標準フィードスルーに溶接するためにチュービングアダプターが必要です。


  • Minimum investment with lowest upfront cost
  • Lowest total cost of ownership from extended sensor life
  • Maximum throughput with less maintenance
  • Easy installation
  • Available in standard and right angle configurations
  • Optional shutter available
  • Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings


タイプ Easy Rate Single Sensor
水なしでの最高ベークアウト温度 175°C
最小水流での最大動作等温環境温度 400° C
BS-A _ _ E 1 _ _ Size (maximum envelope without shutter) 3.2 5 x 4.04 x 1.53 cm (1.28 x 1.59 x 0.60 in.)
BS-B _ _ E 1 _ _ Size (maximum envelope without shutter) 3.2 5 x 3.30 x 1.60 cm (1.28 x 1.30 x 0.63 in.)
Water Tubes S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing
振動子交換 Front loading; self-contained package for ease of exchange
Mounting 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Installation Requirements  
Feedthrough 2 pass water 4.76 mm (0.188 in) OD with 1 microdot coaxial connection
その他 XIU or Oscillator to match specific controller, solenoid valve assembly 750-420-G1 for shuttered sensors
水流率 Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max
水量 Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
本体およびホルダー 304 type stainless steel
スプリング、電気接点 Au plated Be-Cu
Water Tubes 4.76 mm (0.188 in) OD seamless stainless steel
コネクター (Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
絶縁体 >99% Al2O3
Wire Tin plated copper
振動子 0.550 in. (13.97 mm) Diameter
Feedthrough Specifications-1 in. Bolt  
材料 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
マウンティング Four #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat)  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
マウンティング Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
Easy Rate Single Sensor Configurator


名前 説明
Easy Rate Sensor Feedthroughs Easy Rate Sensor Feedthroughs
Easy Rate Single Sensor
部品番号 品目
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)


名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子


Easy Rate Single Sensor
部品番号 品目
784-205-G1 Crystal Retainer Assembly
784-204-G1 Crystal Holder Assembly
784-403-P1 Crystal Finger Spring
784-404-P1 Retaining Ring
784-300-P1 Crystal Holder
784-405-P1 Holder Finger Spring
750-174-P2 メス同軸
080-011-P3 SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013 Washer, Split Lock Stainless Steel
784-209-G1 Shutter Kit, Single (Unassembled Parts)
784-305-P1 Easy Rate Single Sensor Shutter
784-206-G1 Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-306-P1 Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054 Split Washer, #4, Stainless Steel
084-027 Socket Screw
783-500-023 真空内ケーブル、25.4 cm (10 in.)
783-500-024 真空内ケーブル、76.2 cm (30 in.)