低プロファイルデュアルセンサー


Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。プロセスを完了するために必要になるまで、シャッターが第2振動子を覆います。Easy Rateデュアルセンサは、現場での交換が容易なように、2本の真空内ケーブルを使用しています。

Easy Rateデュアルセンサのコンパクトな設計に必要なクリアランスは32.5 mm (1.3インチ) だけなので、センサとシャッタアセンブリは標準CF40ニップルを通過できます。

Easy Rateデュアルセンサは標準と直角向きのものが利用可能です。また、標準チューブフィッティング付き、またはなしのフィードスルーを含めるように構成できます。

注:Easy Rateデュアルセンサは外径4.8 mm (3/16 in.) の水冷却チューブを使用します。  Ultra-Torr装備フィードスルーとは互換性がありません。外径 4.8 mm (3/16インチ)水冷却チューブで標準フィードスルーに溶接するためにチュービングアダプターが必要です。

機能

  • デュアル振動子
  • 価値ある価格
  • 低プロファイル設計
  • 振動子シャッター付属
  • 取り付けが容易
  • CF40フィードスルーに溶接済みのベーク可能構成
  • Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings

仕様

タイプ Easy Rate Dual Sensor
水なしでの最高ベークアウト温度 130° C
最小水流での最大動作等温環境温度 400° C
BD-A _ E 1 _ _ Size (maximum envelope without shutter) 3.25 x 9.00 x 3.15 cm (1.28 x 3.55 x 1.24 in.)
BD-B _ E 1 _ _ Size (maximum envelope without shutter) 3.25 x 9.65 x 3.15 cm (1.28 x 3.80 x 1.24 in.)
Water Tubes S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing
Crystal Exchange Front loading; shutter moves to the side for easy access to the holders
Mounting 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Installation Requirements  
その他 XIU or Oscillator to match specific controller, solenoid valve assembly 750-420-G1 for shuttered sensors
Feedthrough 2 pass water and 1 pass air 4.76 mm (0.188 in) OD with 2 microdot coaxial connections
水流率 Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max
水量 Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
Air Air 70-80 psi (gauge) {85-95 psi (absolute)} (5.8-6.5 bar (absolute)) [584-653 kPa (absolute)] Do not exceed 100 psi (gauge) {115 psi (absolute)} (7.9 bar (absolute)) [791 kPa (absolute)]
Materials  
本体およびホルダー 304 type stainless steel
スプリング、電気接点 Au plated Be-Cu
Water Tubes 4.76 mm (0.188 in) OD seamless stainless steel
コネクター (Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
絶縁体 >99% Al2O3
Wire Tin plated copper
振動子 0.550 in. (13.97 mm) Diameter
Feedthrough Specifications-1 in. Bolt  
材料 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
マウンティング Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat)  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
マウンティング Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
ERD Configurator

アクセサリ

名前 説明
Easy Rate Sensor Feedthroughs Easy Rate Sensor Feedthroughs
Easy Rate Dual Sensor
部品番号 品目
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

Easy Rate Dual Sensor
部品番号 品目
784-205-G1 Crystal Retainer Assembly
784-403-P1 Crystal Finger Spring
784-204-G1 Crystal Holder Assembly
784-404-P1 Retaining Ring
784-300-P1 Crystal Holder
784-405-P1 Holder Finger Spring
750-174-P2 メス同軸
080-011-P3 SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013 Washer, Split Lock Stainless Steel
784-206-G1 Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-203-G1 Easy Rate Right Angle Dual Sensor Head
784-306-P1 Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054 Split Washer, #4, Stainless Steel
084-027 Socket Screw
784-307-P1 Easy Rate Dual Sensor Shutter
783-500-023 真空内ケーブル、25.4 cm (10 in.)
783-500-024 真空内ケーブル、76.2 cm (30 in.)
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