UL3000 Fab (PLUS) ドライ・ヘリウム・リークディテクタ

 

INFICONのヘリウム・リークディテクタUL3000 Fab (PLUS) は、半導体関連用途でのリークテストに対して設計されています。

柔軟性、移動性、高速の起動、高い感度、迅速で高精度の試験結果、高い信頼性などを特徴としています。

 

高速の結果
低メンテナンスの真空ポンプを搭載した改善された真空システムによって、大気圧からのリーク検出が可能になります。質量分析計システムは頑丈で、運用時間は長く、メンテナンスコストは少なくなっています。UL3000 Fab PLUSのHYDRO-Sソフトウェアを使用することで、背後の水蒸気を取り除き、さらに高速でリークテストを行うことができます。

また、UL3000 Fab PLUSは、最大10 mの長さの実績あるSL3000スニファーラインを使用することで、スニファー能力を高めています。

 

回転可能 & リモートコントロール可能なディスプレイ
新しいタッチスクリーンディスプレイは、遠く離れていても、試験結果とステータス情報を表示します。メニューはユーザーを誘導するように構成されており、経験の浅い操作員でも簡単に操作できます。UL3000 Fab (PLUS) は、スマートフォンやタブレットから、特別なソフトウェアやアプリを使わずワイヤレスでコントロールすることができます。プッシュボタンを通じて記録および保存された試験結果は、さらに分析するため、他のストレージメディアに転送することができます。

 

操作性を高めるスリムデザイン
低い重心、大きなホイール、人間工学的に設計されたハンドル、スリムなハウジングによって、UL3000 Fab (PLUS) は、狭いスペースでも高い移動性を実現しています。



利点

  • 気圧測定対応
  • タッチディスプレイによる直感的なユーザーガイダンス
  • 汚れや汚染に強い頑丈な真空システム
  • 回転半径の小さい完璧な移動性
  • スマートフォンのWebブラウザから操作可能
  • デバイスに対して適切なアクセサリを使用可能

標準的なアプリケーション

  • 既存ツールへの組み込み前のコンポーネントのリークテスト
  • プロセスガスシステムの検査および設置
  • TC1000試験チャンバにより、密閉されたコンポーネントを自動試験
  • 試験条件や清浄性の要件が厳しい環境におけるリークテスト

仕様

タイプ Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
ヘリウム最小検知可能リークレート(真空モード) mbar•L/s < 5·10-12
ヘリウム最小検知可能リークレート(スニファー・モード) mbar•L/s

< 5·10-8

最大吸入口圧力 MASSIVE モード mbar 1000
最大吸入口圧力 FINE モード mbar 2
最大吸入口圧力 ULTRA モード mbar 0.4
真空排気中の排気速度 m³/h > 30 at 50 Hz
ヘリウム排気速度 ULTRA モード L/s 4
検知可能質量 2,3,4 amu
質量分析計のセクターフィールド 180°
イオンソースフィラメント/イットリアコート・イリジウム 2
内部校正リーク mbar•L/s

∼ 10-7

テストポート DN 25 KF 1
調節可能トリガ

4

インターフェース 2 x USB, Ethernet / LAN
許容周囲温度 (操作時) °C +10 to +40
入出力 Via I/O 1000 module
質量 110
寸法 (l x w x h) 1050 x 472 x 987
供給電圧 V (ac) 100 to 240 V (± 10 % ) 50/60 Hz
消費電力 VA Typical 700, max. 1500

部品番号

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
部品番号 品目
550-200 ULTRATEST UL3000 Fab
550-250 ULTRATEST UL3000 Fab PLUS

アクセサリ

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
部品番号 品目
14005 SL200、スニファープローブ(UL1000/5000/Modul1000用、4m)
551-205 extension cable for TC1000/SL200, UL3000
560-310 I/O 1000モジュール
560-335 データケーブル5m
560-340 データケーブル10m
525-001 SL3000-3, 3 m Sniffer line for 3000
525-002 SL3000-5, 5 m Sniffer line for 3000
525-003 SL3000-10,10 m Sniffer line for 3000
551-005 Test Chamber TC1000 for UL1000
551-010 リモートコントロール RC1000C、有線式(4m コイルケーブル付き)
551-015 リモートコントロール RC1000WL、無線式(無線トランスミッター付き)
551-201 Helium Bottle Holder for UL3000 Fab
551-203 Bracket for SL3000
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