SKY® CDG025D 0.1 ...1000 Torr / mbar

 

高精度の温度補償マノメーターの INFICON SKY CDG025D キャパシタンスダイヤフラムゲージラインは、過酷な製造機器環境下で安定した性能を得るために設計されています。高度なデジタルエレクトロニクスが、ゲージ性能を向上させ、 ワンプッシュボタンゼロ機能や設定点調整など、ツールの取扱いを容易にする機能を提供します。腐食耐性を備えた セラミックセンサーは、大気バーストを含む、数百万回の圧力サイクルに耐える長い製品寿命と、優れたゼロ安定性を提供します。ユニークなセンサーシールド (特許出願中) が、処理中の汚染からゲージを保護します。堅牢な機械設計とデジタルエレクトロニクスが、EMC 互換性、長期安定性、温度補償を向上させます。CDG025D は、電源投入後の速い安定性、大気圧暴露からの迅速な回復のための新しい基準を設定します。

INFICON  SKY  CDG025D キャパシタンスダイヤフラムゲージは、Oerlikon Leybold  CTR 100 トランスミッターと直接交換が可能です。 全てのアプリケーションでグローバルなサポートとソリューションを備えたメーカーから純正製品を入手しましょう。

 

フランジのタイプフルスケールINFICON 部品番号Oerlikon Leybold
部品番号
 [Torr]CDG025DCTR 100
DN 16 ISO-KF1000375-001230 300
100376-001230 301
20383-001230 340Vv01
10377-001230 302
1378-001230 303
0.1379-001230 304V01
DN16 CF-R1000375-002230 305
100376-002230 306
10377-002230 307
1378-002230 308
0.1379-002230 309 V01
Cajon 8 VCR1000375-003230 310
100376-003230 311
10377-003230 312
1378-003230 313
0.1379-003230 314 V01
1/2" tube1000375-000230 315
100376-000230 316
10377-000230 317
1378-000230 318
0.1379-000230 319 V01

利点

  • CTR 100 トランスミッターに完全対応
  • 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
  • 電源立ち上げ後の素早い安定性
  • 大気圧暴露からのすばやい安定
  • 耐腐食性セラミックセンサ
  • 優れた長期安定信号
  • 温度補正済み
  • 汚染からセンサを保護
  • ワンプッシュボタンでゼロ点設定
  • 幅広い電源電圧に対応

標準的なアプリケーション

  • エッチング、CVD、PVD、ALDの半導体製造装置
  • データストレージおよびディスプレイ製造装置
  • 工業用真空装置
  • 一般真空圧力高精度測定

ニュース

CDG025D シリーズは、CTR 100 真空トランスミッターに 100% の互換性があります。
  • CDG025D dimensions

仕様

タイプ 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
温度効果          
ゼロ点 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
計測スパン % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分解能 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
最大圧力 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
応答時間 (2) ms 30 30 30 130 130
最小読み取り値 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
推奨最小読み取り値 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
推奨最小制御圧 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
温度          
使用温度 (周囲) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
ベークアウト (フランジにおいて) (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
保存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
供給電圧 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
消費電力 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
出力信号 (アナログ) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
保護クラス IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標準          
CE 適合 EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認証 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
電気接続 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容積          
1/2 in. チューブ cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
重量          
1/2 in. チューブ g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1)非リニア、ヒステリシス、再現性@25°Cの周囲動作温度、2時間の運転後に周囲動作温度は影響しない。

(2) 10 … 90パーセントのFS増加

(3)非動作時

(4) CDG025D-Sのみ

(5) 28% Ni、23% Co、49% Fe

(6) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

  • CDG025D PN.png

部品番号

1000 Torr / 1100 mbar
部品番号 品目
375-000 CDG025D 133322Pa 1/2"tube
375-001 CDG025D 133322Pa DN16KF
375-002 CDG025D 1`000 Torr; DN16CF-R
375-003 CDG025D 1000 Torr; 8-VCR
376-000 CDG025D 100 Torr; 1/2¨tube
376-001 CDG025D 13332Pa DN16KF
376-002 CDG025D 100 Torr; DN16CF-R
376-003 CDG025D 100 Torr; 8-VCR
377-000 CDG025D 10 Torr; 1/2¨tube
377-001 CDG025D 10 Torr; DN16ISO-KF
377-002 CDG025D 10 Torr; DN16CF-R
377-003 CDG025D 1333Pa 8-VCR
378-000 CDG025D 1 Torr; 1/2¨tube
378-001 CDG025D 1 Torr; DN16ISO-KF
378-002 CDG025D 1 Torr; DN16CF-R
378-003 CDG025D 1 Torr; 8-VCR
379-000 CDG025D 0.1 Torr; 1/2¨tube
379-001 CDG025D 0.1 Torr; DN16ISO-KF
379-002 CDG025D 0.1 Torr; DN16CF-R
379-003 CDG025D 0.1 Torr; 8-VCR
383-001 CDG025D 20 Torr; DN16ISO-KF
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