SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

 

高精度のトータルな圧力計測とコントロールには、INFICON SKY CDG045D マノメーターが最適です。CDG045D ゲージは、45°C で温度制御され、優れた信号安定性と再現性を備えています。本製品は、50 mTorr から 1000 Torr の全圧力範囲、すべての一般的なフランジタイプ、フィールドバスインターフェ―スで利用可能で、リニア 0 ~ 10V、ガス種に依存せず、圧力信号を提供します。INFICON キャパシタンスマノメーターは、腐食しない超純度のアルミナセラミックダイヤフラムを使用しています。セラミックセンサーの利点には、優れた信号安定性、大気圧からのより迅速な回復、ウォーミングアップ時間が短いこと、驚くべき長寿命などが挙げられます。INFICON CDG は、厳しい真空アプリケーションに適した、高品質でコスト効率の良い圧力センサーです。

INFICON  SKY  CDG045D キャパシタンスダイヤフラムゲージは、Oerlikon Leybold  CTR 101 トランスミッターと直接交換が可能です。 全てのアプリケーションでグローバルなサポートとソリューションを備えたメーカーから純正製品を入手しましょう。

 

フランジタイプフルスケールINFICON 部品番号Oerlikon Leybold 部品番号
[Torr]CDG045DCTR 101
DN 16 ISO-KF10003CC1-F51-2300230 320
1003CC1-C51-2300230 321
103CC1-9C51-2300230 322
13CC1-651-2300230 323
0.13CC1-351-2300230 324
DN16 CF-R10003CC1-F53-2300230 325
1003CC1-C53-2300230 326
103CC1-953-2300230 327
13CC1-653-2300230 328
0.13CC1-353-2300230 329
Cajon 8 VCR10003CC1-F5E-2300230 330
1003CC1-C5E-2300230 331
103CC1-95E-2300230 332
13CC1-65E-2300230 333
0.13CC1-35E-2300230 334
1/2" tube10003CC1-F59-2300230 335
1003CC1-C59-2300230 336
103CC1-959-2300230 337
13CC1-659-2300230 338
0.13CC1-359-2300230 339

利点

  • CTR 101 トランスミッターに完全対応
  • 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
  • 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
  • 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
  • すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
  • 2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命
  • 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
  • コンプライアンスおよび規格:CE, EN, UL, SEMI, RoHS

標準的なアプリケーション

  • エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
  • 化学および腐食性真空プロセス
  • 一般的な薄膜と真空プロセス
  • 国際基準にそった、テスト機器監視用のレファレンスセンサ
  • トレース計測の管理換え基準

ニュース

CDG045D シリーズは、 CTR 101 真空トランスミッターと100%交換が可能です。

EtherCAT デジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!

  • CDGxxxD geheizt Massbild.gif

仕様

タイプ 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 0.15 0.15
温度効果      
ゼロ点 percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
計測スパン % of reading / °C 0.01 0.01 0.01
最大圧力 kPa (absolute) 400 260 130
分解能 percent FS 0.003 0.003 0.003
最小読み取り値 percent FS 0.01 0.01 0.01
推奨最小読み取り値 percent FS 0.05 0.05 0.05
推奨最小制御圧力 percent FS 0.5 0.5 0.5
温度      
使用温度 (周囲) °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
ベークアウト (フランジにおいて) °C ≤110 ≤110 ≤110
保存 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
供給電圧 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
消費電力      
暖気時 W ≤12 ≤12 ≤12
運転時 W ≤8 ≤8 ≤8
出力信号 (アナログ) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
応答時間 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
保護クラス IP 40 IP 40 IP 40
標準      
CE 適合 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認証 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 準拠 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
電気接続 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
セットポイント      
セットポイント数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
リレー接点 ≤30 ≤30 ≤30
ヒステリシス percent FS 1 1 1
診断ポート      
プロトコル RS232-C RS232-C RS232-C
読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
設定 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容積      
内部容積 1/2 in. チューブ cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量      
重量 1/2 in. チューブ g 837 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875 875
重量 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
プロトコル EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信標準 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
ノードアドレス Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
デジタル機能読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
デジタル機能設定 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
プロセスデータ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
メールボックス (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT コネクター RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
DeviceNet™      
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
データレート kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
デジタル機能読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
デジタル機能設定 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
デバイスタイプ ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I/O スレーブメッセージ polling only polling only polling only
D-sub コネクタのゲージ用供給電圧 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
DeviceNet トランシーバ マイクロコネクタ用供給電圧 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 用コネクター microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG 用コネクター (アナログ出力、供給電圧 CDG、セットポイント) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP      
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
デジタル機能読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
デジタル機能設定 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 用コネクター D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG 用コネクター (アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1)非リニア、ヒステリシス、再現性@25°Cの周囲動作温度、2時間の運転後に周囲動作温度は影響しない。

(2) 10 … 90パーセントのFS増加  

(3)圧力制御タイプのみ

(4) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

  • CDG045D Sky PIM Ordering Information.png

部品番号

1000 Torr, 1100 mbar
部品番号 品目
3CC1-351-2300 CDG045D 0.1 Torr; 16-KF
3CC1-353-2300 CDG045D 0.1 Torr; 16-CF
3CC1-359-2300 CDG045D 0.1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-35E-2300 CDG045D 0.1 Torr; 8-VCR
3CC1-651-2300 CDG045D 1 Torr; 16-KF.
3CC1-653-2300 CDG045D 1 Torr; 16-CF
3CC1-659-2300 CDG045D 1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-65E-2300 CDG045D 1 Torr; 8-VCR
3CC1-951-2300 CDG045D 10 Torr; 16-KF
3CC1-953-2300 CDG045D 10 Torr; 16-CF
3CC1-959-2300 CDG045D 10 Torr; 1/2"Ø
3CC1-95E-2300 CDG045D 10 Torr; 8-VCR
3CC1-C51-2300 CDG045D 100 Torr; 16-KF
3CC1-C53-2300 CDG045D 100 Torr; 16-CF
3CC1-C59-2300 CDG045D 100 Torr; 1/2"Ø
3CC1-C5E-2300 CDG045D 100 Torr; 8-VCR
3CC1-F51-2300 CDG045D 1000 Torr; 16-KF
3CC1-F53-2300 CDG045D 1000 Torr; 16-CF
3CC1-F59-2300 CDG045D 1000 Torr; 1/2"Ø
3CC1-F5E-2300 CDG045D 133322Pa 8VCR
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