CrystalSix®センサー

INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。OLED、MBE、太陽電力、長いオプティカルコーティングやその他の、チャンバーベント間に長い時間が開くプロセスであっても、CrystalSixセンサーは、6つの水晶モニター振動子がひとつのセンサーヘッドにまとめられており、安全です。INFICONの薄膜コントローラーと一緒に使用した場合、CrystalSixセンサーは、使用中の振動子が故障したり、不安定になったりしても、自動的に新しい振動子を位置に回転させます。振動子はプロセスを中断させることなく自動的に交換されるため、継続して蒸着速度を監視できます。

 

振動子インデクシングは空気式操作によって実行されます。この空気式モーターは、真空内に置かれ、熱を発生する高価な電気モーターを使用する競合ユニットよりも、振動子の熱安定性が優っています。8分の1インチの水冷却チュ―ブが、センサーヘッドの熱安定性を保ち、センサーの配置をより柔軟にします。

 

特定のINFICONの薄膜コントローラーとともに使えば、センサーは、どの位置でどの材料が使えるかについての、蒸着フィードバックを送ることができます。

機能

  • 6基の振動子を装着し、安定した自動切り替えによりプロセスアップタイムを最大化
  • 振動子の切り替えは空気で操作されるため、振動子の温度が安定(他社製品は発熱するモーターを使用)
  • 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、柔軟なセンサー交換を可能にする
  • オプションで振動シャッターもあり

仕様

タイプ CrystalSix Sensor
水なしでの最高ベークアウト温度 130°C
最小水流での最大動作等温環境温度 400° C
水、空気および同軸長 Standard 30 in. (76 cm)
振動子交換 Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
マウンティング Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
サイズ (最大外形) 3.8 in. (9.7 cm) DIA x 2.0 in. (5.1 cm) high
設置の要件  
フィードスルー

Qty (1) 2¾ in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-685-G1,

 or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1,

 

その他

User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes.

Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with CrystalSix accessory kit.)

ユーティリティ  
最少水流量

150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze).

Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur.

調整済み空気供給 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa – 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
材料  
プレート、ホルダー、素材シールド、機械部品 304 type stainless steel
スプリング、電気接点 Au plated Be-Cu, Au Plate Inconel, 303 stainless steel
水および空気チューブ S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
コネクター (Microdot®) Stainless steel
絶縁体 >99% Al2O3
ケーブル Teflon® insulated copper
振動子 0.550 in. Diameter
本体およびカローセル 2024 T351 Aluminum

部品番号

CrystalSix Sensor
部品番号 品目
750-446-G1 CrystalSixセンサー (センサーのみ、フィードスルーは含まない)

アクセサリ

名前 説明
QCMセンサーフィードスルー QCMセンサーフィードスルー
CrystalSix Sensor
部品番号 品目
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

CrystalSix Sensor
部品番号 品目
007-007 固定器具スプリング (振動子保持用)
007-023 セラミック固定器具
070-0170 2 SPLIT LOCKWASHER SS
070-0398 5103-12H,EXT CRESCENT RET RIN
070-0777 Compression Spring, CrystalSix
070-0778 ボールベアリング (下部カローセル)
070-0779 Ball Bearing, CrystalSix
070-0870 Washer, Teflon, CrystalSix
070-0877 Shim Spacer, CrystalSix
070-0879 Ball Bearing, CrystalSix
073-114 .022 DIA SS WIRE SPR TMPR 304
082-026 Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-175-P1 絶縁体 (リーフスプリングの下)
750-188-P3 リーフスプリング
750-249-P2 Retaining Pin, CrystalSix Sensor
750-250-G1 Deposition Shield, CrystalSix Sensor
750-256-P2 Extension Spring
750-257-P3 Corrugated Spring, CrystalSix Sensor
750-261-G1 Carousel Assembly, CrystalSix Sensor
750-262-G1 振動子ホルダー
750-265-G1 Top Plate Weld Assembly, CrystalSix
750-276-P2 DET,ACTUATOR COVER PASSIVATED
750-278-P2 DET,WATER LINE
750-286-P2 Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12
750-290-P3 カローセル電気接点 (8個セット)
750-291-P1 Detent, CrystalSix/Crystal 12
750-293-P2 Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-294-P2 Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-295-G1 Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor
750-336-G1 抵抗ネットワークアセンブリー
750-338-P1 DET, CONTACT INSULATOR
In-vacuum cables
321-039-G12 真空内ケーブル、15.2 cm (6 in.)
007-252 真空内ケーブル、30.5 cm (12 in.)
321-039-G11 真空内ケーブル、61.0 cm (24 in.)
007-044 真空内ケーブル、78.1 cm (30.75 in.)
007-059 真空内ケーブル、91.4 cm (36 in.)
007-061 真空内ケーブル、121.9 cm (48 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G13 真空内ケーブル、154.2 cm (60 in.) - ModeLockコントローラーが必要
321-039-G14 真空内ケーブル、182.9 cm (72 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G15 真空内ケーブル、3.5 m (137.8 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
321-039-G16 真空内ケーブル、4 m (157.5 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
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