Crystal 12®センサー

振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化

INFICON Crystal 12 センサをINFICON IC6薄膜蒸着コントローラと組み合わせて使用すれば、プロセスを中断することなく自動的に振動子を交換することができます。振動子が不安定になったり故障したりすると、IC6がCrystal 12センサーのカローセルに信号を送り、直ちに新しい振動子を所定の位置に回転移動させて蒸着速度の監視を続けます。ダウンタイムをさらに短縮したい場合には、オプションの第2カローセルに、振動子を前もって装着しておくことができます。消耗した振動子が取り付けられているカローセルと新しいカローセルは簡単かつ迅速に交換できるので、システムが停止状態になる時間を最小限に抑えることができます。

機能

  • 12基の振動子を保持し、安定した自動切り替え方式によりプロセスのアップタイムを最大化
  • 取り外しが簡単なカローセルで、12基の振動子を迅速に交換できる
  • 振動子の切り替えは空気で操作されるため、振動子の温度が安定 (競合品は発熱するモーターを使用)
  • 取り外し簡単なフロント蒸着シールドが振動子とカローセルを材料の堆積から保護しているので、メンテナンスでセンサー全体を取り外す必要性は最小限
  • オプションで、マウントポストキットをユーザー仕様に調整し、計量ハードウェアを取り付け可能

仕様

タイプ Crystal 12 Sensor
水なしでの最高ベークアウト温度 130°C
最小水流での最大動作等温環境温度 300° C
サイズ (最大外形) 4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed
水および空気チューブ Standard 30 in. (762 mm)
振動子交換 Front-loading
マウンティング Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body, six #4-40 tapped holes on outside circumference. Three #6-32 tapped holes with optional mounting kit (IPN 750-670-G1).
重量 4.92 lb. (2.23 kg)
設置の要件  
フィードスルー

Qty (1) 2-3/4 in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air, IPN 750-685-G1,

or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1

マウンティング User to provide mounting structure adequate to support weight of Crystal12 and designed to facilitate removal and replacement with minimal change in exact position. An optional mounting post kit, IPN 750-670-G1, may be purchased for this purpose.
空気および水接続 User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes. Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with Crystal12 accessory kit.)
ユーティリティ Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze). Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Regulated air supply 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa - 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
材料  
プレート、材料シールド、機械部品、ボディおよびカローセル 304 type stainless steel
スプリング、電気接点 Au plated Be-Cu, Au Plated 302 stainless steel
水および空気チューブ S-304, 0.125 in. (3.2 mm) O.D. x .016 in. (0.4 mm) Wall Thickness x 30 in. Long (762 mm) seamless stainless steel tubing
コネクター Stainless steel
絶縁体 Teflon, Peek®
ケーブル Teflon insulated copper plated steel
振動子 0.550 in. (13.97 mm) diameter
1インチボルトとUltra-Torr (圧力継手) 端末部:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
マウンティング 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40溶接末端:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
マウンティング Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
Crystal12_OrderChart_2013_web-01.png

アクセサリ

名前 説明
QCMセンサーフィードスルー QCMセンサーフィードスルー
Crystal 12 Sensor
部品番号 品目
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

Crystal 12 Sensor
部品番号 品目
750-276-P3 XTAL12 ACTUATOR COVER PASSIVATED
750-644-G1 CAROUSEL HOUSING WELDMENT
750-658-G1 Deposition Shield Assembly, Crystal 12
750-286-P2 Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12
750-291-P1 Detent, CrystalSix/Crystal 12
750-294-P2 Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-293-P2 Ratchet, CrystalSix/Crystal 12
750-256-P2 Extension Spring
750-252-P2 DET,SPRING POST
750-649-G1 Electrical Connection, Crystal 12
750-295-G1 Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor
750-258-P2 DET - Bearing Shaft
070-0779 Ball Bearing, CrystalSix
750-652-G1 Crystal Carousel, Crystal 12 Sensor
750-650-P1 RESISTOR NETWORK APERTURE PLATE
070-1253 Dowel Pin, CrystalSix
750-651-P1 RESISTOR NETWORK SUPPORT
750-655-P1 RESISTOR NETWORK INSULATOR
750-642-G1 Resistor Network Grid Weldment
750-661-P1 Contact Terminal, Crystal 12
750-656-P1 CRYSTAL INSULATOR
321-038-P6 Leaf Spring, Crystal 12
750-657-P1 Leaf Spring, Grounding, Crystal 12
750-671-P1 ねじれスプリング
750-626-P1 Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
750-647-P1 Carousel Spindle Body, Crystal 12
070-1268 Bearing, CrystalSix
070-1254 E-RING BOWED #H51310075STBtruarc
750-660-P1 Location Screw, 6-32, Crystal 12
007-126 DET-30"STN STL SEAMLESS TUBING
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-004 #4-40 X 0.187六角ヘッドねじ
070-398 5103-12H,EXT CRESCENT RET RING
070-0867 B4-10,1/8"SHAFT SPACER .094TH
070-170 #2 SPLIT LOCKWASHER SS
070-177 #4-40 X 3.12/六角ヘッドねじ
080-038 SCREW 0-80 x .375 LG PHIL PAN HD SS
082-032 Lock Washer, #2, Stainless Steel
082-045 Screw, Philips Pan Head, 2-56 x 0.187in.
084-054 Split Washer, #4, Stainless Steel
082-022 Washer, #2, Flat, Stainless Steel
082-024 Screw, Socket Head, 2-56 x 0.250 in.
750-292-P2 Detent Spacer, CrystalSix/Crystal 12
080-013 Washer, Split Lock Stainless Steel
080-007-P1 Flat Washer, Stainless Steel
080-009-P1 #0-80 X 0.188/ソケットヘッドねじ
084-048 SCREW 4-40 x .250 LG PHIL FLAT HD SS
750-665-P1 Shoulder Screw, 2-56, Torsion Spring
084-093 Screw, Socket Head, 4-40 x 1.125 in.
086-084-P2 #6-21 X 1/8止めねじ
086-041 WASHER 6 FLAT SS
086-038 WASHER 6 SPLIT LOCK SS
086-036 SCREW 6-32 x .375 LG SOC HD CAP SS
In-vacuum cables
321-039-G12 真空内ケーブル、15.2 cm (6 in.)
007-252 真空内ケーブル、30.5 cm (12 in.)
321-039-G11 真空内ケーブル、61.0 cm (24 in.)
007-044 真空内ケーブル、78.1 cm (30.75 in.)
007-059 真空内ケーブル、91.4 cm (36 in.)
007-061 真空内ケーブル、121.9 cm (48 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G13 真空内ケーブル、154.2 cm (60 in.) - ModeLockコントローラーが必要
321-039-G14 真空内ケーブル、182.9 cm (72 in.) -ModeLockコントローラーが必要
321-039-G15 真空内ケーブル、3.5 m (137.8 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
321-039-G16 真空内ケーブル、4 m (157.5 in.) - ModeLockコントローラーと4 m XIUが必要
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