BAG05x UHV Bayard Alpert熱陰極電離パッシブ真空ゲージ

INFICONのベアード-アルパートパッシブ真空ゲージヘッドBAG050、BAG051、BAG052およびBAG053は、INFICONの真空コントローラVGC083AおよびVGC083Bと組み合わせて使用できるように設計されています。空気中、および窒素やアルゴンのような不活性ガス中での使用のために、イットリアコートイリジウムフィラメントが用意されています。イットリアコートイリジウムフィラメントとの親和性のないガスの場合には、タングステンフィラメントをお選びください。BAG05xゲージは、互換性のある他社製ゲージコントローラと組み合わせることもできます。INFICONのパッシブベイヤードアルパートイオン化真空計(BAG05x)は、以下の3通りの構成で提供されています。

BAG050はEB脱気UHVヌードイオン化真空計で、2×10-11 Torrまでの真空を測定できます。

BAG051は抵抗式脱気(I2R)ヌードイオン化真空計で、4×10-10 Torrまでの真空を測定できます。

BAG052とBAG053は抵抗式脱気(I2R)ガラス被覆型イオン化真空計で、4×10-10 Torrまでの真空を測定できます。

 

 

 

利点

  • 実証済みの、信頼性の高いゲージヘッドデザイン

  • ほとんどの非被覆熱陰極電離ゲージヘッドに適合

  • 幅広い放出電流に対応(100 μA~10 mA)

  • シングル/デュアルのイットリア被覆イリジウムおよびデュアルタングステンフィラメント陰極アセンブリが利用可能

  • 脱気:すべてのモデルは、EB (電子衝撃法)を使用して脱気できます。

    また、BAG051、BAG052およびBAG053は、抵抗式脱気法(I2R)を使用して脱気することもできます。

ニュース

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仕様

タイプ BAG050 BAG051 BAG052 BAG053 BAG055
測定範囲 2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3  
精度 - N2 (典型例) % 20 20 20 +/-20 +/-15
X線の限界 Torr 2 x 10-11 4 x 10-10 4 x 10-10 4 x 10-10 5 x 10-10
感度 - N2 Torr 25-1 10-1 10-1 10-1 10-1 nominal
脱気          
EB (電子衝撃法) W ≤40 70 nominal, ≤100 ≤100 ≤100 ≤3
I2R (抵抗加熱法) - 6.3 ... 7.5 V (ac) at 10 A 6.3 ... 7.5 V (ac) at 10 A -
ベークアウト温度 °C 450 450 450 450 200
フィラメント          
電流 A 2.5 ... 3.5 4 ... 6 4 ... 6 4 ... 6 2 ... 2.5
電圧 V (dc) 3 ... 5 3 ... 5 3 ... 5 3 ... 5 1.5 ... 2
電位 V (dc) +30 +30 +30 +30 +30
格子電位 V (dc) +180 +180 +180 +180  
コレクター電位 V 0 0 0 0 0
コレクター tungsten (W), ø0.005'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010''
フィラメント dual iridium (Ir), or dual tungsten (W) single hairpin iridium (Ir), or dual hairpin iridium (Ir), or dual tungsten (W) single hairpin iridium (Ir) dual hairpin tungsten (W) dual yttria coated iridium
格子 photo etched closed grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid etched SS
絶縁体 ceramic ceramic glass to metal glass to metal glass
ガラス製被覆 - - 2 ⅟₄'' dia x 5'' long 2 ⅟₄'' dia x 5'' long  -
取り付けの向き any any any any any
長さ          
全体 in. 4 ⅟₈ 4 ⅟₈ 6 6 2.7 ... 3.8
挿入 in. 3 3 - -  -
フランジ 2 ¾'' CF / NW35CF Conflat 2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

Kovar metal port
1'' Kovar metal port
¾'' glass port
1'' glass port
NW25KF
NW40KF
1 ⅟₃'' / NW16CF Mini-Conflat
2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

Kovar metal port
1'' Kovar metal port
¾'' glass port
1'' glass port
NW25KF
NW40KF
1
'' / NW16CF Mini-Conflat
2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

¾'' tube

DN16 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

DN 16 CF-R Mini-Conflat

DN 40 CF-R Conflat

8 VCR female

フランジ材質

stainless steel 304

stainless steel 304 glass Nonex 7720 glass Nonex 7720 stainless steel 304
Ordering information BAG050_BAG051_BAG052_BAG053_BAG055.png
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