BAG302 中真空から超高真空ゲージ

INFICON シングル ベアード-アルパート ホットイオンゲージ BAG302 は、1.3 × 10-9 から 6.7×10-2 mbar (1 × 10-9 から 5 × 10-2 Torr) の広範な計測範囲をカバーします。コンパクトなオールインワン ホットイオンゲージ BAG302 は、交換が簡単なデュアルフィラメントセンサー、内蔵式 OLED 画面、設定点リレー、対数リニアアナログ出力、統合の柔軟性を向上させる RS485 デジタルインターフェースを提供します。これらの機能が堅牢な設計と融合した BAG302 は、手頃な価格で繰り返し処理が可能な、ユニークなベース圧力計測器で、高い価値と低コストでの所有を実現します。

利点

  • 1.3 × 10-9 から 6.7×10-2 mbar(1 × 10-9 から 5 × 10-2 Torr) の広範な計測範囲
  • 2 x スタンダード長寿命 酸化イットリウムコーティングイリジウムフィラメント
  • 画面が内蔵されたオールインワンアクティブゲージ、 設定点、 アナログ出力、標準統合された RS485 デジタルインターフェース
  • 設定、操作、プログラミングが簡単な、キーパッド付きの明るいデジタル OLED 画面
  • ユーザーがプログラム可能な設定点リレー
  • ユーザーがプログラム可能な単位 (mbar、Torr、Pa)
  • ユーザーが選択可能な放出電流の自動範囲
  • 機械的強度と頑丈さ
  • 各種フランジから選択
  • 感知素子の交換が簡単
  • コンプライアンス & 規格: CE、RoHS
  • Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® モジュール – ソフトウェアコマンド (RS485) を含む共通のコントロール機能と直接交換が可能

    (Granville-Phillips® および Micro-Ion®は、マサチューセッツ州アンドーバー、MKS Instruments の登録商標です。)

標準的なアプリケーション

  • 半導体プロセスやトランスファーチャンバーの圧力計測
  • 工業用コーティング
  • 低真空から超高真空範囲での一般的な真空計測とコントロール

ニュース

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  • BAG302 Dimensional drawing.png

仕様

タイプ BAG302
測定範囲 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
精度 (N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar % of reading ±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr % of reading ±15
再現性 % of reading ±5
脱気  
p < 6.7 x 10-5 mbar electron bombardment, 2 min (default)
p < 5.00 x 10-5 Torr (programmable between 2 ... 10 min)
温度  
操作 (アンビエント) °C 0 ... +40
ストレージ °C -40 ... +70
フランジでのベイクアウト (センサーのみ、電気機器は除去) °C 200
供給電圧 V (dc) +20 ... +28
アナログ出力信号 V 0 ... +9 (log-linear)
電圧 vs. 圧力 volts per decade 1
設定点リレー 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
電気接続 D-Sub, 9-pin, male for analog, D-Sub, 9-pin, female for RS485
インターフェース (デジタル) RS485
放射コントロール manual
フィラメント two Yt2O2 coated Ir
フィラメントのステータス display / digital output
デジタル機能 degas, filament on/off and emission control
真空に曝される材料 Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
取り付け方向 any
内部容量 cm³ (in.³) 16.4 (1.0)
重量 KF / CF 270
  • BAG302 Ordering Information.PNG

部品番号

BAG302
部品番号 品目
352-051 BAG302-S 9DSub,1SP,OLED,25KF
352-052 BAG302-S 9DSub,1SP,OLED,40KF
352-053 BAG302-S 9DSub,1SP,OLED,16CFR
352-054 BAG302-S 9DSub,1SP,OLED,40CFR
352-055 BAG302-S 9DSub,1SP,OLED,3/4in. Tube
352-056 BAG302-S 9DSub,1SP,OLED,1/8NPT
352-050 BAG302-S 9DSub,1SP,OLED,16KF

スペア部品

BAG302
部品番号 品目
352-060 BAG302 Spare sensor 16KF
352-061 BAG302 Spare sensor 25KF
352-062 BAG302 Spare sensor 40KF
352-063 BAG302 Spare sensor 16CFR
352-064 BAG302 Spare sensor 40CFR
352-065 BAG302 Spare sensor 3/4in. Tube
352-066 BAG302 Spare sensor 1/8NPT
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