Cool Drawerデュアルセンサー

Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。水冷却された鋳造ステンレススチールのボディと2つのCool Drawer 振動子ホルダー、空気式シャッターが、丈夫な振動子ヘッドとバックアップ振動子との組み合わせにより、さらなる信頼性を実現します。よりクリーンで信頼性の高いシンクシステムを、チャンバー内に同軸ケーブルなしで取り付けることができます。

機能

  • デュアル振動子
  • Cool Drawer振動子ホルダー
  • 内部ケーブルなし
  • 振動子シャッター
  • CF40フィードスルーおよび2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルーとともに利用可能
  • 溶接済みCF40フランジと一緒に注文すればベーク可能
  • 圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
  • お客様指定の長さに溶接済みのセンサー/フィードスルーの組合せあり

仕様

タイプ Cool Drawer Dual Sensor
仕上げ Stainless steel, gold plated Cool Drawer™
冷却水 Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze)
振動子 Industry standard 0.550 in. diameter
空気供給源 55 to 60 PSI regulated
電気接続 Two standard female BNCs on atmosphere side
1インチボルトおよび圧縮フィッテイング末端部  
材料 304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
マウンティング 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40溶接末端  
材料 304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450° C with water cooling or 200° C without
マウンティング Mates with 2 ¾ in. ConFlat® type flanges
CDD Part Number.png

アクセサリ

Cool Drawer Dual Sensor
部品番号 品目
750-420-G1 ソレノイドバルブ、24V (シャッター付き、またはマルチ振動子センサーに使用)

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子

スペア部品

Cool Drawer Dual Sensor
部品番号 品目
123259 Cool Drawerセンサー振動子固定器具
123261 Cool Drawerセンサードロワー
123260 Cool Drawerセンサードロワーおよび固定器具の組み合わせ
147206-2 Bellows, 35 in. Tube, Cool Drawer Sensor
147207 Bellows and Cover, Cool Drawer Sensor
147401 Shutter, Cool Drawer Dual Sensor
147402 Link, Cool Drawer Sensor
147403 ACTUATOR - DUAL SENSOR HEAD
147406 *ベローズサポート
147407 RETAINER BELLOWS COVER POLISHED
147408 Threaded Bar 2x56 for Bellows
147411 Spacer, Cool Drawer Sensor
147424 Bellows Guide Tube Electropol
082-026 Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
082-064 * ロックワッシャー
084-205 Screw, Philips Pan Head, 4-40 x 0.187in.
800128 LCKWSHR SPLIT #4 - USE 070-201 / 084-054
800371 4-40 Stainless Steel .187 Shoulder Screw
800372 WASHER .174 IDx.309 OD x .060
800416 *6-32 X 3/16インチ止めねじ
803313 Spring, 0.360 in. x 1.000 in. x .032 in.
123223-2 Brazed Conduit, Cool Drawer Sensor
803102 O-RING .114 ID
803261 WASHER .235OD X .134ID X .030 302-304 S
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