SKY® CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar

 

INFICON SKY CDG200D高温マノメータは、正確なトータル圧力計測とコントロールにおいて、最良の選択になるでしょう。CDG200Dゲージは摂氏200°に制御された温度で、困難な半導体やプラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮します。100mTorrから1000Torrまでのフルスケール範囲で、全共通のフランジタイプ、フィールドバスインターフェースも一緒に提供しており、0から10ボルトで直線的にガス種に依存しない圧力信号を送ります。INFICONのキャパシタンスマノメーターは耐腐食性に優れた高純度のアルミナセラミックダイアフラムを使用しています。セラミックセンサの利点は信号がより安定していること、気圧からの早い回復、短いウォームアップ時間と驚くべき寿命です。INFICONのCDGは、困難な半導体、プラズマ、真空の用途に適した、高品質で費用効果の高い圧力センサです。

利点

  • 所有者のコスト削減、50%早いウォームアップ、低パワー消費で省エネ
  • 簡単な統合、幅広いフルスケール、フランジ、インターフェース、標準モデルは2点のセットポイント
  • 簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整
  • すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポート
  • 2年保証、加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命を達成
  • 優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要
  • CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

標準的なアプリケーション

  • エッチング、PVD、PVDと他の半導体製造プロセス
  • 化学物質を使用する腐食性の高温プロセス
  • ゲージ保護を要する一般的な薄膜と真空プロセス

ニュース

EtherCATデジタルインターフェース付きで今すぐ入手可能!

  • CDG200D test.bmp

仕様

タイプ 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.4 0.4
温度効果    
ゼロ点 percent FS/°C 0.005 0.005
計測スパン % of reading / °C 0.02 0.02
最大圧力 kPa (absolute) 400 260
分解能 percent FS 0.003 0.003
最小読み取り値 percent FS 0.01 0.01
推奨最小読み取り値 percent FS 0.05 0.05
推奨最小制御圧 percent FS 0.5 0.5
温度    
操作(周囲) (4) °C +10 … +50  
ベークアウト (フランジにおいて) °C ≤200 ≤200
保存 °C –40 … +65 –40 … +65
供給電圧 +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
消費電力    
暖気時 W ≤25 ≤25
運転時 W ≤18 ≤18
出力信号 (アナログ) V (dc) 0 … +10 0 … +10
応答時間 (2) ms 30 30
品質保護の程度 IP 40 IP 40
標準    
CE 適合 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認証 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 準拠 SEMI S2 SEMI S2
電気接続 D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
セットポイント    
セットポイント数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
リレー接点 ≤30 ≤30
ヒステリシス percent FS 1 1
診断ポート    
プロトコル RS232-C RS232-C
読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID
設定 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
内部容積    
内部容積 1/2 in. チューブ cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
内部容積 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量    
重量 1/2 in. チューブ g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
プロトコル EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通信標準 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
ノードアドレス Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
デジタル機能読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID
デジタル機能設定 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
メールボックス (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
プロセスデータ Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
EtherCAT コネクター 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
ケーブル shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
ケーブル長 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
Signal processing time ms 2 2
DeviceNet™    
プロトコル DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
データレート kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
ケーブル長さ 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
ケーブル長さ 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
ケーブル長さ 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
デジタル機能読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID
デジタル機能設定 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
仕様 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
デバイスタイプ ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I/O スレーブメッセージ polling only polling only
D-sub コネクタのゲージ用供給電圧 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
DeviceNet トランシーバ マイクロコネクタ用供給電圧 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 用コネクタ microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧 CDG、セットポイント) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP    
ボーレート 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
アドレス address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
デジタル機能読み取り pressure, status, ID pressure, status, ID
デジタル機能設定 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 用コネクター D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG 用コネクタ(アナログ出力、供給電圧、セットポイント) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1)非リニア、ヒステリシス、再現性@25°Cの周囲動作温度、2時間の運転後に周囲動作温度は影響しない。 

(2) 10 … 90パーセントのFS増加 

(3) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

(4)環境温度が40°Cを超えると、表面温度がSEMI S2コンプライアンスレベルを超える場合がある

CDG200D Sky PIM Ordering Information.png
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