SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

 

高精度な温度補償型マノメータのラインであるINFICON SKY CDG025Dキャパシタンスダイアフラムゲージは、厳しい製造装置環境で安定した性能を発揮するようデザインされています。高度なデジタル電子装置によって、ゲージ性能を強化し、ワンプッシュボタンでゼロ点設定、設定値調整など、容易に操作できる機能を提供します。耐腐食性に優れたセラミックセンサはゼロ点の安定性を向上させ、空気圧変化によるバーストを含む数百万回の圧力サイクルという長寿命を提供します。このユニークなセンサシールド(特許申請中)がゲージをプロセス汚染から守ります。ロバストな機械デザインとデジタル電子工学が、EMC互換性、長期安定性と温度制御を向上させました。CDG025Dは、電源起動後のすばやい安定化と、大気圧からのすばやい回復に関して、新たな基準を定めました。

利点

  • 100 mTorrから 1000 Torrのフルスケールレンジ
  • 電源投入後にすばやく安定
  • 空気圧からのすばやい回復
  • 耐腐食性に優れたセラミックセンサー
  • 優れた長期信号安定性
  • 温度補正済み
  • 汚染からのセンサーを保護
  • ワンプッシュボタンでゼロ点設定
  • 広範囲の電源

標準的なアプリケーション

  • エッチング、CVD、PVD、ALD半導体製造装置
  • データストレージおよびディスプレイ製造装置
  • 工業用真空装置
  • 一般的な高精度圧力測定
  • CDG025D dimensions

仕様

タイプ 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
温度効果          
ゼロ点 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
計測スパン % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分解能 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
最大圧力 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
応答時間 (2) ms 30 30 30 130 130
最小読み取り値 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
推奨最小読み取り値 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
推奨最小制御圧 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
温度          
使用温度 (周囲) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
ベークアウト (フランジにおいて) (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
保存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
供給電圧 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
消費電力 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
出力信号 (アナログ) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
保護クラス IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標準          
CE 適合 EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認証 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
電気接続 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
セットポイント (4)          
セットポイント数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
リレー接点 30 30 30 30 30
ヒステリシス percent FS 1 1 1 1 1
接ガス材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容積          
1/2 in. チューブ cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
重量          
1/2 in. チューブ g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1)非リニア、ヒステリシス、再現性@25°Cの周囲動作温度、2時間の運転後に周囲動作温度は影響しない。

(2) 10 … 90パーセントのFS増加

(3)非動作時

(4) CDG025D-Sのみ

(5) 28% Ni、23% Co、49% Fe

(6) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe

CDG025D PN.png
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